微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统的制作方法

文档序号:12347482阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统,其特征在于:它包括底座(15)、固定电极组件、移动电极组件和真空陶瓷电极组件;所述的固定电极组件包括固定端立柱(1)、固定端大电极(2)、固定端小电极(3)及三根热丝(4);所述的移动电极组件包括移动板(6)、移动端小电极(7)、支撑板(10)、移动端立柱(11)、四个吊环螺钉(5)、两个拉伸弹簧(8)及两个弹簧固定安装块(9),所述的两个弹簧固定安装块(9)分别是弹簧固定安装块一(9-1)和弹簧固定安装块二(9-2);

所述的固定端立柱(1)的下端可拆卸固定于底座(15)上,所述的固定端大电极(2)可拆卸固定于固定端立柱(1)上端,所述的固定端小电极(3)可拆卸固定于固定端大电极(2)上端;所述的移动端立柱(11)与固定端立柱(1)相对设置,移动端立柱(11)的下端可拆卸固定于底座(15)上,移动端立柱(11)的上端固定有支撑板(10),所述的弹簧固定安装块二(9-2)可拆卸固定于支撑板(10)上,所述的移动板(6)滑动设置在支撑板(10)上,且移动板(6)与固定端小电极(3)相对设置,所述的弹簧固定安装块一(9-1))可拆卸固定在移动板(6)上,所述的移动端小电极(7)与弹簧固定安装块一(9-1)可拆卸固定连接,两个弹簧固定安装块(9)相对设置,所述的两个拉伸弹簧(8)水平并列设置在两个弹簧固定安装块(9)之间,每个拉伸弹簧(8)的两端各通过一个吊环螺钉(5)与两个弹簧固定安装块(9)的相对侧面固定连接,所述的三根热丝(4)的其中一根热丝(4)的一端与固定端小电极(3)可拆卸固定连接,三根热丝(4)的另两根热丝(4)的一端均与固定端大电极(2)可拆卸固定连接,三根热丝(4)的另一端均与移动端小电极(7)可拆卸固定连接,三根热丝(4)呈现空间平行排布;所述的真空陶瓷电极组件分别与固定端小电极(3)及移动端小电极(7)电连接。

2.根据权利要求1所述的微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统,其特征在于:所述的三根热丝(4)在垂直面上的投影呈现等腰三角形排布。

3.根据权利要求1所述的微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统,其特征在于:所述的固定端小电极(3)的上端面沿三根热丝(4)的排布方向设置有半圆形导槽一(3-1),所述的固定端大电极(2)的上端面沿三根热丝(4)的排布方向设置有两个半圆形导槽二(2-1),所述的移动端小电极(7)的上端面沿三根热丝(4)的排布方向设置有三个半圆形导槽三(7-1)。

4.根据权利要求1、2或3所述的微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统,其特征在于:所述的固定端小电极(3)和移动端小电极(7)均由钼材料制成。

5.根据权利要求1所述的微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统,其特征在于:所述的固定端立柱(1)由氮化硼陶瓷材料制成。

6.根据权利要求1所述的微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统,其特征在于:所述的真空陶瓷电极组件包括真空陶瓷电极(12)、两条云母高温线(13)和四个压接端子(14);所述的两条云母高温线(13)的两端分别固定有一个压接端子(14),两条云母高温线(13)的其中一条云母高温线(13)的一端通过压接端子(14)与固定端小电极(3)电连接,该其中一条云母高温线(13)的另一端通过压接端子(14)与真空陶瓷电极(12)一端电连接,两条云母高温线(13)的另一条云母高温线(13)的一端通过压接端子(14)与移动端小电极(7)电连接,该另一条云母高温线(13)的另一端通过压接端子(14)与真空陶瓷电极(12)另一端电连接。

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