技术总结
本发明提供了一种具有二硼化钛‑金刚石复合涂层的工件,包括工件基体,以及依次设置于所述工件基体表面的二硼化钛涂层和金刚石涂层。本发明通过在金刚石涂层与工件基体之间设置二硼化钛涂层,提高了金刚石涂层与工件基体之间的结合力,解决了金刚石涂层与基体结合力不足,金刚石薄膜形核密度低和沉积速度慢的问题。本发明还提供一种具有二硼化钛‑金刚石复合涂层的工件的制备方法。
技术研发人员:唐永炳;王陶;张松全;蒋春磊;陈光海
受保护的技术使用者:中国科学院深圳先进技术研究院
文档号码:201611194326
技术研发日:2016.12.21
技术公布日:2017.06.13