真空电弧离子镀膜方法与流程

文档序号:17014900发布日期:2019-03-02 02:24阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空电弧离子镀膜方法,其特征在于,用于对结构复杂的内机匣焊接组件进行真空电弧离子镀铬处理,包括以下步骤:

(1)预处理:待镀件用金相砂纸打磨后清洗;

(2)装炉:将待镀件安装在镀膜室内的转盘上,镀膜室抽真空,并对待镀件加热,加热完成后通入氩气;

(3)离子轰击:对待镀件施加轰击负偏压进行离子轰击;

(4)镀膜:对待镀件施加负偏压180V~250V,调节铬靶弧源的工作电流为80A~110A,镀铬10min~30min;降低负偏压至120V~180V,镀铬10min~30min;继续降低负偏压至80V~120V,镀铬180min~420min,其中,当负偏压降低至80V~120V后,每镀铬60min~180min,提高负偏压至350V~450V对待镀件进行离子轰击;

(5)出炉:将待镀件从镀膜室内取出。

2.根据权利要求1所述的真空电弧离子镀膜方法,其特征在于,

所述步骤(2)具体为:将待镀件安装在镀膜室内的转盘上,镀膜室抽真空,当镀膜室的压力为5×10-3Pa~8×10-3Pa时,对待镀件进行加热,加热至温度为200℃~400℃;加热完成后通入氩气,使镀膜室的压力升高至0.6Pa~1.0Pa。

3.根据权利要求1所述的真空电弧离子镀膜方法,其特征在于,

所述步骤(3)中,进行离子轰击的步骤为:施加轰击负偏压960V~1050V,轰击时间为3min~5min;降低轰击负偏压至700V~900V,引弧启动铬靶弧源,轰击3min~5min;继续降低轰击负偏压至500V~700V,轰击5min~10min;再次降低轰击负偏压至350V~450V,轰击时间为15min~30min。

4.根据权利要求3所述的真空电弧离子镀膜方法,其特征在于,

所述步骤(3)中,进行离子轰击的步骤为:施加轰击负偏压1000V,轰击时间为4min;降低轰击负偏压至800V,引弧启动铬靶弧源,轰击4min;继续降低轰击负偏压至600V,轰击8min;再次降低轰击负偏压至400V,轰击时间为20min。

5.根据权利要求1所述的真空电弧离子镀膜方法,其特征在于,

所述步骤(4)具体为:对待镀件施加负偏压200V,调节铬靶弧源的工作电流为90A,镀铬15min;降低负偏压至150V,镀铬15min;继续降低负偏压至100V,镀铬360min,其中,当负偏压降低至100V后,每镀铬90min,提高负偏压至400V对待镀件进行离子轰击,轰击时间为5min。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的真空电弧离子镀膜方法,其特征在于,

所述步骤(4)中,镀膜室内实际的镀膜温度为300℃~600℃。

7.根据权利要求1~5中任一项所述的真空电弧离子镀膜方法,其特征在于,

所述步骤(4)镀膜后,待镀件表面膜层厚度为5μm~10μm。

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