技术总结
一种真空镀膜的修正挡板结构，涉及一种修正挡板结构，包括真空镀膜室（4）、旋转基片台（5）和蒸发源（6），在真空镀膜室（4）内设有蒸发源（6），在蒸发源（6）的上部设有旋转基片台（5），在真空镀膜室（4）的外部设有旋转组件（3），在旋转组件（3）的中心处设有穿过真空镀膜室（4）的转轴（2），在转轴（2）上设有修正挡板（1）；本实用新型通过设置旋转组件驱动转轴上的修正挡板旋转，实现了真空镀膜更均匀的目的。
技术研发人员：邹杨;孙蕾;杨宜珍;邹松东;孙凌
受保护的技术使用者：洛阳奥尔材料科技有限公司
文档号码：201620784026
技术研发日：2016.07.25
技术公布日：2016.12.14