真空镀膜机均匀性挡板调整装置的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机均匀性挡板调整装置。

背景技术：

二十一世纪是光的世纪，光学薄膜一直在光学领域默默地扮演者重要角色。不论是在传统光学、激光光学、还是在光线通信技术中，光学薄膜都发挥着不可替代的作用。由于光学技术的飞速发展，带动了光学薄膜技术的迅速发展，同时也对它提出了越来越严格的要求。

膜厚均匀性包括两方面的意思：一是指所有基片在同一炉的镀制中应尽可能有相近的膜厚分布，这有利于提高成品率；另一是指同一基片面积上只能存在允许范围内的膜厚误差分布，这保证膜系光学特性不会随表面位置而变化。膜厚的非均匀性会导致滤光片的光学特性随表面位置发生变化。对于窄带和超窄带滤光片，厚度均匀性误差使滤光片各个位置上的中心波长不一致，从而使整个滤光片的半宽度增大，峰值透射率降低。同时对于陡度很高的截止滤光片，均匀性不好会使过滤特性严重恶化。特别是对于大面积基片光学薄膜的镀制，膜厚均匀性差会严重影响其整体光学特性。

正因为如此，寻求最大面积、最佳膜厚均匀性的均匀性调整方法和装置是每个镀膜工作者的使命。传统的均匀性修正板都是通过经验积累，通过手动修正。需要多次试验，反复不断修正，这很大程度上依赖镀膜工作者的经验，而且精度不高，且调整的方向不可修复。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的不足，提供一种真空镀膜机均匀性挡板调整装置。

本实用新型为实现上述目的采用的技术方案是：真空镀膜机均匀性挡板调整装置，包括固定基板和调节片，所述固定基板呈半圆弧形，其上设有两组匹配安装孔，在匹配安装孔的上方设有调节刻度，所述调节片设有两组，其上设有与固定基板上的匹配安装孔对应的连接孔，所述调节片通过连接孔和匹配安装孔固定连接到所述固定基板的下表面，所述调节片上和固定基板上均设有以匹配安装孔为圆心的调节孔。

进一步，所述调节片和固定基板之间通过螺栓固定连接，且调节片围绕匹配安装孔能够左右旋转摆动，调节片和固定基板之间可通过调节孔和螺栓进行紧固。

进一步，所述固定基板的右端设有安装孔，通过安装孔将固定基板固定安装在真空镀膜机中的真空室内。

进一步，所述调节片的旋转摆动角度为向左向右各15°，且以穿过固定基板上匹配安装孔中心的竖直线为摆动角度测量基准。

进一步，所述调节片的弧度半径至少为450mm，根据真空镀膜机的镀制尺寸，不同规格的调节片的弧度半径以50mm的范围增加。

本实用新型的优点在于克服镀膜机均匀性调整需要依靠镀膜者经验，同时耗时又精度不高问题。

附图说明

图1本实用新型整体结构示意图；

图2本实用新型对称设置的调节片结构示意图；

图3本实用新型固定基板结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型进行详细说明：

真空镀膜机均匀性挡板调整装置，包括固定基板1和调节片2，所述固定基板1呈半圆弧形，其上设有两组匹配安装孔11，在匹配安装孔11的上方设有调节刻度12，所述调节片2设有两组，其上设有与固定基板1上的匹配安装孔11对应的连接孔21，所述调节片2通过连接孔21和匹配安装孔11固定连接到固定基板1的下表面，调节片上2和固定基板1上均设有以匹配安装孔11为圆心的调节孔22。

调节片2和固定基板1之间通过螺栓固定连接(螺栓穿过调节片上的连接孔和固定基板上的匹配安装孔)，且调节片2围绕匹配安装孔11能够左右旋转摆动，调节2片的旋转摆动角度为向左向右各15°，且以穿过固定基板1上匹配安装孔11中心的竖直线为摆动角度测量基准。在匹配安装孔11上方的调节刻度12，左右对称设置，对称轴线处为0°，左右分别均匀延伸至15°。调节片2和固定基板1之间可通过调节孔22和螺栓进行紧固(使用螺栓穿过固定基板和调节孔上的向邻近的调节孔，进行紧固)。

固定基板1的右端设有安装孔13，通过安装孔13将固定基板1固定安装在真空镀膜机中的真空室内。

调节片2的弧度半径为450mm，根据真空镀膜机的镀制尺寸，当半径为450mm的调节片2不能够满足镀制要求是，可以采用其他规格的调节片2进行替换，而其他规格的调节片2其半径的增加，按照50mm的大小进行增加，即不同规格的调节片2的大小可以为450mm，500mm，550mm，600mm，650mm等，每个不同规格且规格相邻的调节2片，半径相差50mm。

本实用新型的使用方法是，使用时，需要通过固定基板1右侧的安装孔13将本实用新型安装之真空镀膜机内部真空室内左右电子枪的上方(根据镀制工艺和镀制要求，进行位置选择)，并通过螺栓将调节片2和固定基板1安装在一起，保证调节片2和固定基板1之间可以保持相对转动，并通过调节孔22转动调节片2适当角度，当转动角度符合镀制工艺要求时，停止转动调节片2，并且使用螺栓穿过固定基板1和调节片2上的调节孔22，将两者进行固定，形成均匀性挡板。

上述实施例只是为了说明本实用新型的技术构思及特点，其目的是在于让本领域内的普通技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡是根据本

技术实现要素：
的实质所作出的等效的变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。