用于真空镀膜设备的冷凝装置制造方法

文档序号:4927567
用于真空镀膜设备的冷凝装置制造方法
【专利摘要】一种用于真空镀膜设备的冷凝装置,包含有一进气管、一出气管,以及一介于进气管与出气管之间的冷阱组件,冷阱组件具有一第一弧形弯管及一第二弧形弯管,第一弧形弯管与进气管之间、第一、第二弧形弯管之间,以及第二弧形弯管与出气管之间分别藉由一个冷阱管而两两连接在一起,各冷阱管内设有一障板组,各障板组具有多数个相互并排的倾斜障板及一贴抵于各倾斜障板的冷却水管,藉此,来自腔体内的蒸气在通过冷阱组件的过程中会顺利凝结在各倾斜障板的表面,并能避免对第一弧形弯管及第二弧形弯管造成腐蚀损坏。
【专利说明】用于真空镀膜设备的冷凝装置
【技术领域】
[0001]本实用新型与真空镀膜设备有关,特别是指一种用于真空镀膜设备的冷凝装置。【背景技术】
[0002]简单来说,所谓的真空镀膜是藉由一真空泵抽出腔体内的残余气体,使腔体的内部维持真空状态,接着把一待镀物(例如基板)放到腔体内,最后再将一蒸镀源(例如硒)加热至汽化升华的状态,使蒸镀源的气体附着至待镀物的表面而形成一层薄膜。
[0003]然而,腔体内的残余气体除了一般水蒸气及其它高沸点蒸气之外,同时也可能含有些许的腐蚀性蒸气,为了避免真空泵吸入过多的腐蚀性蒸气而影响使用寿命,腔体与真空泵之间通常会设置一冷阱组件(cold trap),冷阱组件主要是利用低温冷凝效应来捕集腔体内的残余气体,使腔体内具有良好的真空度。就冷阱组件的现有技术来说,如美国公告第6,161,575号专利案所揭露的T型冷阱组件会影响蒸气流通的顺畅度,如此容易导致蒸气内的固体粒子聚集在T型冷阱组件的内部而产生局部腐蚀的现象。

【发明内容】

[0004]本实用新型的主要目的在于提供一种用于真空镀膜设备的冷凝装置,其能增加蒸气流通的顺畅度,以提升捕集蒸气的效率。
[0005]为了达成上述目的,本实用新型的冷凝装置设置在一腔体与一真空泵之间,并且包含有一连接该腔体的进气管、一连接该真空泵的出气管,以及一介于该进气管与该出气管之间的冷阱组件。该冷阱组件具有一第一弧形弯管、一第二弧形弯管,以及三冷阱管,该第一弧形弯管与该进气管之间、该第一、第二弧形弯管之间,以及该第二弧形弯管与该出气管之间分别藉由一该冷阱管而连接在一起,而且,该第一、第二弧形弯管之间具有相反的弯曲方向,使得该第一、第二弧形弯管在连接之后形成一 S形通道,此外,该冷阱组件具有三障板组,各个障板组设于一该冷阱管内且具有多数个呈并排设置且间隔排列的倾斜障板及一冷却水管,各个冷却水管具有多数条接触段,各个接触段贴抵于一该倾斜障板的一侧面,用以提供降温效果给各个倾斜障板,使来自该腔体内的蒸气在碰到各个倾斜障板时会确实凝结在各个该倾斜障板的表面。
[0006]藉此,本实用新型的冷凝装置藉由该冷阱组件的第一、第二弧形弯管的设计,让蒸气能够顺畅地从该进气管朝该出气管的方向流动而不易产生粒子沉积,同时藉由该冷阱组件的多数个倾斜障板的并排设计,可以达到提升捕集蒸气效率的目的。
【专利附图】

【附图说明】
[0007]图1为本实用新型的结构外观示意图。
[0008]图2为本实用新型的结构剖面示意图。
[0009]图3为本实用新型的局部立体剖视图,主要显示倾斜障板与冷却水管之间的关系O[0010]图4为本实用新型的局部平面剖视图,主要显示倾斜障板与冷却水管之间的关系O
【具体实施方式】
[0011]请参阅图1及图2,本实用新型冷凝装置10安装于真空镀膜设备的一腔体12与一真空泵14之间,并且包含有一连接腔体12的进气管20、一连接真空泵14的出气管30,以及一位于进气管20与出气管30之间的冷阱组件40。
[0012]冷阱组件40具有一第一弧形弯管41及一第二弧形弯管42。第一弧形弯管41与进气管20之间、第一、第二弧形弯管41、42之间,以及第二弧形弯管42与出气管30之间分别藉由一个冷阱管43而两两连接在一起,而且,第一、第二弧形弯管41、42之间具有相反的弯曲方向,使得第一、第二弧形弯管41、42在连接之后形成一 S形通道。再者,冷阱组件40具有六障板组44,该些障板组44两两成对地设于一个冷阱管43内,并且分别具有多数个倾斜障板45及一冷却水管47,这些倾斜障板45沿着冷阱管43之径向呈并排设置且间隔排列,如图3及4所示,而且,两障板组44的倾斜障板45之间呈镜射对称而具有相对的倾斜方向,各冷却水管47具有多数条相互平行的接触段472与多数条相互平行的穿置段474,各冷却水管47的接触段472贴抵于一个倾斜障板45的一侧面,各冷却水管47的穿置段474连接在相邻两穿置段474之间且穿置于一个倾斜障板45内,使得冷却水在流经各冷却水管47时能够提供降温效果给各倾斜障板45。此外,冷阱组件40更具有一液体回收管48,液体回收管48的一端连接第二弧形弯管42,液体回收管48的另一端连接一液体回收装置50。
[0013]经由上述结构可知,腔体12内的蒸气会从进气管20依序通过冷阱组件40的第一、第二弧形弯管41、42之后,接着再由出气管30进入真空泵14内,在整个过程中,如图2所示,一旦蒸气碰触到冷阱组件40的倾斜障板45时,藉由各冷却水管47提供给各倾斜障板45的冷却效果,使得蒸气会在各倾斜障板45的倾斜表面凝结成液体,冷凝后的液体会再沿着各倾斜障板45的倾斜表面流至第一、第二弧形弯管41、42内,接着再沿着第一、第二弧形弯管41、42的内管壁流往液体回收管48,最后再经由液体回收管48流至液体回收装置50进行后续处理。
[0014]综上所陈,本实用新型冷凝装置10藉由冷阱组件40的第一、第二弧形弯管41、42的设计,使蒸气的流动顺畅度可以大为提升而不易产生粒子沉积,以避免腐蚀性蒸气对冷阱组件40造成结构上的损坏,另外同时藉由冷阱组件40的各倾斜障板45的并排间隔配置,可以有效提升捕集蒸气的效率,以达到本实用新型的目的。
【权利要求】
1.一种用于真空镀膜设备的冷凝装置,其特征在于,该真空镀膜设备包含有一腔体及一真空泵,该冷凝装置包含有: 一进气管,用以连接该腔体; 一出气管,用以连接该真空泵;以及 一冷阱组件,位于该进气管与该出气管之间,并且具有一第一弧形弯管、一第二弧形弯管、三冷阱管及至少三障板组,该第一弧形弯管与该进气管之间、该第一、第二弧形弯管之间及该第二弧形弯管与该出气管之间分别藉由一该冷阱管而连接在一起,且该第一、第二弧形弯管之间具有相反的弯曲方向,各个冷阱管内设有至少一该障板组,各个障板组具有多数个呈并排设置且间隔排列的倾斜障板及一冷却水管,该冷却水管具有多数条接触段,各个接触段贴抵于一该倾斜障板的一侧面。
2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的冷凝装置,其特征在于,各个冷阱管内所设的至少一该障板组的数量为二个,设于各个冷阱管内的二该障板组的倾斜障板之间呈镜射对称。
3.根据权利要求1或2所述的用于真空镀膜设备的冷凝装置,其特征在于,该冷却水管更具有多数条穿置段,各个穿置段连接于相邻两该接触段之间且穿置于一该倾斜障板内。
4.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的冷凝装置,其特征在于,该多数个倾斜障板沿着该冷阱管的径向依序排列。
5.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的冷凝装置,其特征在于,该冷阱组件更具有一液体回收管,该液体回收管连接该第二弧形弯管。
【文档编号】B01D8/00GK203440441SQ201320263770
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年5月13日 优先权日:2013年5月13日
【发明者】黄世壬, 廖科峰, 赵亨文, 赖文波, 任常宝, 陈官璧, 汪宇炎, 曾昭隆 申请人:生阳新材料科技(宁波)有限公司
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