一种新型半导体硅片割圆技术设备的制作方法

文档序号:12214348阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型半导体硅片割圆技术设备,其特征在于:包括底座(1)和非标工作台(2);

所述底座(1)上设有行程调节轴(3),所述行程调节轴(3)上一侧活动连接有电机(4),另一侧固定连接有箱体(5);所述箱体(5)内设有转轴(6),所述转轴(6)下端伸出所述箱体(5)连接有非标刀头(7);所述箱体(5)一侧连接有进给操作手轮(8);

所述非标工作台(2)固定在所述底座(1)上,且位置正对所述非标刀头(7)下端;所述非标工作台(2)中间活动连接有硅片吸盘(9),所述硅片吸盘(9)周围依次间隔设置有若干非标定制入刀槽(10)和密封圈(11)。

2.根据权利要求1所述的一种新型半导体硅片割圆技术设备,其特征在于:所述非标工作台(2)与所述底座(1)之间设有若干立柱(12),所述立柱(12)一端连接所述非标工作台(2),另一端连接所述底座(1)。

3.根据权利要求1或2所述的一种新型半导体硅片割圆技术设备,其特征在于:所述硅片吸盘(9)与所述底座(1)之间设有弹性件(13),所述弹性件(13)内部设有真空泵管(14);所述真空泵管(14)一端连接所述硅片吸盘(9)。

4.根据权利要求3所述的一种新型半导体硅片割圆技术设备,其特征在于:所述硅片吸盘(9)位于所述非标工作台(2)台面的几何中心;所述硅片吸盘(9)为圆形,其直径为4-8cm。

5.根据权利要求3所述的一种新型半导体硅片割圆技术设备,其特征在于:所述弹性件(13)为弹簧。

6.根据权利要求1所述的一种新型半导体硅片割圆技术设备,其特征在于:所述非标定制入刀槽(10)和密封圈(11)的横截面形状均为环形; 所述非标定制入刀槽(10)横截面环形宽度大于所述密封圈(11)的横截面环形宽度;所述非标定制入刀槽(10)和密封圈(11)的数量均为5个。

7.根据权利要求1所述的一种新型半导体硅片割圆技术设备,其特征在于:所述非标刀头(7)横截面为圆形;所述非标刀头(7)下端正对所述硅片吸盘(9),且两者间距为20-45cm;所述非标刀头(7)刀片表面镀有400号金刚砂,刀片厚度为0.2-0.5mm。

8.根据权利要求1所述的一种新型半导体硅片割圆技术设备,其特征在于:所述转轴(6)平行于所述行程调节轴(3);所述非标工作台(2)横截面为圆形,其直径大于等于所述底座(1)宽度;所述非标工作台(2)的直径为20-30cm。

9.根据权利要求1所述的一种新型半导体硅片割圆技术设备,其特征在于:所述底座(1)上表面设有冷却液回收孔(15);所述冷却液回收孔(15)位于所述非标工作台(2)和所述行程调节轴(3)之间;所述箱体(5)上面固定连接有保护罩(16),所述保护罩(16)一侧外表面设有冷却水出口、真空泵开关(17)和电机开关(18),所述冷却水出口连接有冷却水管(19);所述保护罩(16)下面连接所述电机(4)。

10.根据权利要求9所述的一种新型半导体硅片割圆技术设备,其特征在于:所述冷却水管(19)末端连接有冷却水喷嘴,所述冷却水喷嘴紧邻所述非标刀头(7)。

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