一种无损分离的酸性蚀刻液在线循环再生系统的制作方法

文档序号:12393958阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种无损分离的酸性蚀刻液在线循环再生系统,其特征在于:它包括蚀刻线(1),溶解再生缸(3)、过滤器A(10)、酸性蚀刻液循环再生系统(6)、废液收集罐(13)、废液中转罐(14)和过滤器B(15),所述的蚀刻线(1)、废液收集罐(13)、废液中转罐(14)、过滤器B(15)和酸性蚀刻液循环再生系统(6)顺次通过管道连通,且构成一封闭的回路,所述的蚀刻线(1)还通过管道连接溶解再生缸(3),且在该管道上设置有废液提升泵(2),所述的溶解再生缸(3)与过滤器A(10)通过管道连接,且在该管道上设置有蚀刻液提升泵(11),所述的过滤器A(10)与蚀刻线(1)连通。

2.根据权利要求1所述的一种无损分离的酸性蚀刻液在线循环再生系统,其特征在于:所述的溶解再生缸(3)通过管道还连通有母液罐(4),所述的母液罐(4)通过管道与酸性蚀刻液循环再生系统(6)连通,且在该管道上设置有母液提升泵(5),所述的酸性蚀刻液循环再生系统(6)与提铜装置(12)连接。

3.根据权利要求1所述的一种无损分离的酸性蚀刻液在线循环再生系统,其特征在于:所述的酸性蚀刻液循环再生系统(6)通过管道连接有再生液储存罐(8),且在该管道上设置有循环再生液提升泵(7),所述的再生液储存罐(8)通过管道与溶解再生缸(3)连通,且在该管道上设置有再生液提升泵(9)。

4.根据权利要求1所述的一种无损分离的酸性蚀刻液在线循环再生系统,其特征在于:所述的酸性蚀刻液循环再生系统(6)通过耐强氧化性管道与溶解再生缸(3)连接。

5.根据权利要求1所述的一种无损分离的酸性蚀刻液在线循环再生系统,其特征在于:所述的酸性蚀刻液循环再生系统(6)内设置有离子膜。

6.根据权利要求1所述的一种无损分离的酸性蚀刻液在线循环再生系统,其特征在于:所述的酸性蚀刻液循环再生系统(6)内设置有隔膜。

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