一种薄膜在线监测装置的制作方法

文档序号:12232673阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种薄膜在线监测装置,其特征在于:包括一膜层分析装置以及分别与膜层分析装置电性连接的至少一膜层测量仪探头、至少一红外测温探头,该膜层测量仪探头用于检测镀膜时玻璃芯片的镀膜参数模拟值,该红外测温探头用于检测镀膜时玻璃芯片的表面温度模拟值,膜层分析装置用于根据所述镀膜参数模拟值、表面温度模拟值计算并且显示镀膜参数。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜在线监测装置,其特征在于:所述膜层分析装置设置有显示屏。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜在线监测装置,其特征在于:所述镀膜参数模拟值包括膜层的厚度、透过率、折射率、反射率、消光系数中的一种或多种。

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