一种真空镀膜机用的可移出转架的制作方法

本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种改善作业环境，减轻劳动强度，提高工作效率的真空镀膜机用的可移出转架。

背景技术：

物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）技术，是在真空条件下，采用物理方法，将固体或液体材料源的表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）在基体表面沉积具有某种特殊功能薄膜的技术。

近年来，用物理气相沉积法所制备的薄膜涂层的硬度高，化学性能稳定，并且具有良好的摩擦性能等优势，故被广泛应用于刀具、模具、各种耐磨零件以及微电子等技术领域的加工制造中。在硬质涂层制备过程中，一般要在较高的温度中进行，并且涂层要有一定的厚度，这样就要求真空镀制很长时间，镀膜结束后还需降温，温度低于200℃时才能够开门取件，同时将待镀工件再装入到真空室内。现有的真空镀膜机，在装入和卸下装载有工件的转架时，每一套转架都需要通过人工手动将其取出，放置在一侧，然后再将下一套转架装入到真空镀膜机内。此种镀膜机在使用过程中，由于每次都需要人工将转架取出、置入、拿上拿下，不但增加操作人员的劳动强度，还严重影响设备的加工连续性，并且在高温环境中的作业，既费时间，还容易将操作人员烫伤，生产效率低，人工费用大。因此，需要对现有真空镀膜机用的转架进行改进。

技术实现要素：

本实用新型就是针对上述问题，提供一种改善作业环境，减轻劳动强度，提高工作效率的真空镀膜机用的可移出转架。

本实用新型所采用的技术方案是：该真空镀膜机用的可移出转架包括大齿轮机构，转盘机构，小齿轮和挂架杆，其技术要点是：所述大齿轮机构包括圆环形的大齿轮和圆盘形的大齿轮固定座，大齿轮固定座设置在真空室底板的中心位置，用来驱动转盘机构旋转的主轴穿过大齿轮固定座轴心的通孔，大齿轮设置在大齿轮固定座的上部，大齿轮与大齿轮固定座为分体式连接；所述转盘机构包括圆环形的转盘和圆盘形的转盘座，转盘座设置在大齿轮的上方，转盘座的中心与主轴的上端相连，转盘设置在转盘座的上部，转盘与转盘座同样为分体式连接，所述圆环形大齿轮的中间通孔的直径大于圆盘形转盘座的外径；所述转盘的外侧圆周上等间距的设置有若干个竖直布置的挂架杆，挂架杆伸出到转盘下部的一端设置有小齿轮，小齿轮与转盘下方的大齿轮相啮合；所述大齿轮固定座和所述转盘座的圆盘上均设置有U型开口，U型开口内设置有水平布置的偏心拨片，偏心拨片通过回转销轴与U型开口的两侧相连，偏心拨片的上部设置有限位挡块，限位挡块的两端分别与U型开口的两侧相连；所述大齿轮和所述转盘的下端面均设置有凹槽，凹槽的位置与其下部的偏心拨片的位置相对应，并且偏心拨片翘起的一端伸入到凹槽内。

所述大齿轮固定座和转盘座圆盘上设置的偏心拨片包括拨片主体，拨片主体的一端设置有水平段，水平段的端部设置有垂直向上的竖直段，竖直段的端部高于拨片主体的上表面；拨片主体与水平段的结合处设置有回转孔，水平段和竖直段构成钩形结构。以将偏心拨片上部设置的限位挡块布置在水平段和竖直段构成的钩形结构内，对偏心拨片进行限位，并依靠拨片主体向下的重力作用，使竖直段的端部向上翘起，伸入到大齿轮和转盘下端面分别设置的凹槽内。

所述大齿轮上表面的圆周上，等间距地设置有若干个导向销轴，导向销轴竖直向上布置；大齿轮上方的转盘的下表面，与导向销轴所在相同的圆周上等间距地设置有若干个导向卡槽，导向卡槽的位置与导向销轴的位置相对应。以确保大齿轮和转盘在移动和安放过程中的同轴度，便于定位，安装迅速。

所述沿大齿轮上表面圆周等间距布置的导向销轴的数量为四个、六个或八个。

本实用新型的有益效果：由于本实用新型采用由大齿轮和大齿轮固定座组成的大齿轮机构，大齿轮固定座设置在真空室底板的中心位置，大齿轮设置在大齿轮固定座的上部，大齿轮与大齿轮固定座为分体式连接；由转盘和转盘座组成的转盘机构，转盘座设置在大齿轮的上方，转盘设置在转盘座的上部，转盘与转盘座同样为分体式连接；转盘的外侧圆周上等间距的设置若干个竖直布置的挂架杆，挂架杆伸出到转盘下部的一端设置小齿轮，小齿轮与转盘下方的大齿轮相啮合；大齿轮固定座和转盘座的圆盘上均设置U型开口，U型开口内设置水平布置的偏心拨片，偏心拨片的上部设置限位挡块，大齿轮和转盘的下端面均设置凹槽，偏心拨片翘起的一端伸入到凹槽内的结构形式，所以其设计合理，结构紧凑，改善作业环境，有效降低劳动强度，移动方便，作业效率高。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图。

图2是图1的俯视图。

图3是图1的局部放大图。

图4是图3中的偏心拨片的一种结构示意图。

图5是图4的俯视图。

图中序号说明：1真空室、2升降叉齿、3大齿轮、4凹槽、5限位挡块、6回转销轴、7偏心拨片、8大齿轮固定座、9主轴、10轴承、11转盘座、12转盘、13导向销轴、14小齿轮、15挂架杆、16导向卡槽、17 U型开口、18移动升降车、19拨片主体、20回转孔、21水平段、22竖直段。

具体实施方式

根据图1～5详细说明本实用新型的具体结构。该真空镀膜机用的可移出转架包括由圆环形的大齿轮3和圆盘形的大齿轮固定座8组成的大齿轮机构，由圆环形的转盘12和圆盘形的转盘座11组成的转盘机构，小齿轮14以及挂架杆15，其中大齿轮机构的大齿轮固定座8固定连接在真空室1底板的中心位置，真空室1中心设置的用来驱动转盘机构旋转的主轴9，穿过大齿轮固定座8轴心处的通孔竖直向上布置；大齿轮3设置在大齿轮固定座8的上部，大齿轮3与大齿轮固定座8设计成分体式连接结构，通过相互配合的凸台和凹台相连接。转盘座11设置在大齿轮3的上方，转盘座11的中心与穿过大齿轮固定座8轴心处通孔的主轴9的上端相连接，转盘12设置在转盘座11的上部，转盘12与转盘座11同样设计成分体式连接结构，并通过相互配合的凸台和凹台相连接。圆环形大齿轮3中间的通孔的直径要大于其上方圆盘形转盘座11的外径，以确保在取出和安放该可移出转架时，圆环形大齿轮3的中心通孔能够顺利地通过圆盘形转盘座11外侧。圆环形转盘12的外侧圆周上等间距地设置有若干个竖直布置的挂架杆15，挂架杆15的上端向真空室的上部延伸，以吊挂待镀膜的工件；挂架杆15伸出到转盘12下部的一端则设置有小齿轮14，小齿轮14的轮齿与转盘12下方大齿轮固定座8上设置的大齿轮3的轮齿相啮合。

大齿轮固定座8和转盘座11的圆盘上均设置有U型开口17，U型开口17内侧设置有水平布置的偏心拨片7，偏心拨片7包括拨片主体19，拨片主体19的一端设置有水平段21，水平段21的端部设置有垂直向上的竖直段22，竖直段22的端部高于拨片主体19的上表面；拨片主体19与水平段21的结合处设置有用于布置回转销轴6的回转孔20，水平段21和竖直段22构成钩形结构；偏心拨片7通过回转孔20内设置的回转销轴6与U型开口17内部的两侧面相连接，限位挡块5布置在偏心拨片7的水平段21和竖直段22构成的钩形结构内，限位挡块5的两端分别与U型开口17内部两侧的上部相连接。圆环形的大齿轮3和转盘12的下端面、与其下部的偏心拨片7的位置相对应处均设置有凹槽4；依靠偏心拨片7的拨片主体19向下的重力作用，使大齿轮固定座8和转盘座11上分别设置的偏心拨片7的竖直段22的端部自然向上翘起，以伸入到大齿轮3和转盘12下端面分别设置的凹槽4内，防止大齿轮3与大齿轮固定座8、转盘12与转盘座11产生相对旋转，妨碍转架的平稳转动，影响整体镀膜质量。

为了确保分体式的大齿轮3和转盘12在整个可移出转架移动和安放过程中的同轴度，在大齿轮3上表面的圆周上、等间距地设置若干个竖直向上布置的导向销轴13，并且在大齿轮3上方的转盘12的下表面、与导向销轴13所在相同的圆周上等间距地设置有与导向销轴13数量对应的导向卡槽16，导向卡槽16的位置与下方的导向销轴13的位置相对应。当升降叉齿2带动大齿轮3上升时，大齿轮3上的导向销轴13就插入到上方转盘12下表面的导向卡槽16内，以便于大齿轮3和转盘12的整体定位和快速安装。根据应用需要，沿大齿轮3上表面圆周等间距布置的导向销轴13的数量可以是四个、六个或八个。

使用时，准备至少两套可移出转架，其中一套装好待镀膜工件的转架设置在真空室内，驱动真空室底部中心设置的主轴9旋转，带动与主轴9上端相连的转盘座11以及其上的转盘12一起转动，从而使转盘12的外侧圆周上等间距设置的挂架杆15以及挂架杆15上吊挂的待镀膜工件绕主轴9的回转中心公转；由于挂架杆15伸出到转盘12下部的一端设置的小齿轮14，与转盘12下方固定在大齿轮固定座8上的大齿轮3相啮合，所以在挂架杆15绕主轴9公转的同时，挂架杆15还通过齿轮的啮合，绕着自身的回转轴线自转；然后，依次进行加热、抽真空、镀膜等工序，在真空室内的待镀膜工件的表面镀制所需薄膜。将另外一套装好待镀膜工件的可移出转架设置在保温箱内预加热，为镀制薄膜做准备。

当真空室内可移出转架上的工件镀膜完成，并降温至可出炉温度时，打开真空室门，将移动升降车18两侧的升降叉齿2分别插入到大齿轮3下部的两侧，升起升降叉齿2，使大齿轮3与大齿轮固定座8分离。当大齿轮3上升到其上的导向销轴13插入到上方转盘12下表面的导向卡槽16内时，大齿轮3就开始托举转盘12以及转盘12上的挂架杆15和工件一起向上运动。大齿轮3中间的通孔通过固定的转盘座11外侧，继续上升到大齿轮3的下端面与转盘座11的上表面离开足够的安全移出距离时，停止升降叉齿2的上升，并驱动移动升降车18向真空室的外侧移动，将大齿轮3以及其上部的转盘12一起拉到特定位置，将工件转移到下一道工序进行加工。

然后，利用移动升降车18的升降叉齿2从另外一套装好待镀膜工件、并已完成预加热的可移出转架上，将大齿轮3以及转盘12和挂架杆15上的工件取下，送入到真空室内。驱动移动升降车18和升降叉齿2，使大齿轮3和其上部的转盘12位于真空室内转盘座11的正上方，且轴线相重合；此时，驱动升降叉齿2下降，使大齿轮3和转盘12依次分别落到大齿轮固定座8和转盘座11上，并且导向销轴13与导向卡槽16分离，以不干扰转盘机构的转动，将移动升降车18和升降叉齿2移出真空室，关闭真空室门。当主轴9带动转盘座11以及其上的转盘12和挂架杆15上吊挂的待镀膜工件一起转动时，如果转盘12与转盘座11、大齿轮3与大齿轮固定座8之间产生相对转动时，大齿轮3和转盘12下端面分别设置的凹槽4，一旦运转到大齿轮固定座8和转盘座11上设置的偏心拨片7的位置，偏心拨片7翘起一端就会进入到凹槽4内，以使大齿轮3与大齿轮固定座8连接成一体固定不动，并实现转盘12与转盘座11连接成一体旋转，确保可移出转架的平稳转动，保证整体镀膜质量。随后，进行加热、抽真空、镀膜等工序，为待镀膜工件的表面镀制所需薄膜。

当镀膜结束、工件出炉时，重复上述驱动移动升降车18的升降叉齿2插入到大齿轮3下端面，升降叉齿2上升，大齿轮3和转盘12分别与固定的大齿轮固定座8及转盘座11脱离，将大齿轮3以及其上部的转盘12一起运到特定位置，利用移动升降车18的升降叉齿2将另外一套可移出转架的大齿轮3、以及转盘12和挂架杆15上的工件送入到真空室内等步骤，进行连续性作业，既减轻了操作者的工作强度，又提高了工作效率。