一种真空镀膜机的制作方法

本实用新型涉及一种真空镀膜设备领域，更具体地说，它涉及一种真空镀膜机。

背景技术：

真空镀膜机腔体内金属或陶瓷粉尘比较多、粒径分布广，从数毫米至纳米级，对镀膜产品品质影响，虽然目前市场上的真空镀膜机在镀膜前会进行除尘操作，但难以避免还会存在残留的粉尘杂质，抽真空时，粉尘杂质会被吸入到抽真空装置中，易对抽真空装置造成磨损，损坏抽真空装置。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种在抽真空时能起到过滤效果的真空镀膜机。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种真空镀膜机，包括镀膜腔室、抽真空装置，镀膜腔室和抽真空装置通过气管连接，其特征是：所述气管上设有过滤装置，过滤装置包括与气管连通的外壳体、置于外壳体内的第一基架和包覆于第一基架上的第一涤纶网层，第一基架包括第一环形架、第二环形架和第三环形架，第一环形架、第二环形架和第三环形架相互交错连接形成呈球形的保持腔，保持腔内设有加强环，加强环分别与第一支架、第二支架和第三支架相连接，保持腔内设有若干与第一基架相连接的加强筋，保持腔内填充有涤纶纤维。

通过采用上述技术方案，外壳体的两端可与气管连通，第一基架包括第一环形架、第二环形架和第三环形架，第一环形架、第二环形架和第三环形架均为圆环，且相互交错连接呈球形，外壳体的内壁上设有球形的限位槽，第一基架可与限位槽适配，第一基架的球形外壁上包覆有第一涤纶网层，加强环对第一基架起到加强定型的作用，提高第一基架的结构强度，加强筋为多根置于保持腔内，且两端可与第一基架的任一部位连接，起到支撑加强的作用，涤纶纤维填充于保持腔内且呈丝团状，加强筋可穿插与丝团状涤纶纤维内，能对涤纶纤维起到支撑作用，降低涤纶纤维受力压缩的可能，使涤纶纤维蓬松，增加涤纶纤维的透气性，第一涤纶网层也能降低涤纶纤维从保持腔中脱离出来的可能，当抽真空装置对镀膜腔室进行抽气时，镀膜腔室内残留的粉尘杂质会附着在第一涤纶网层上，且第一涤纶网层包覆于第一基架上时会呈球形，附着面积更大，从而过滤效果更好，且当抽气时，气流会对涤纶纤维产生扰动，涤纶纤维之间摩擦会产生静电，静电具有良好的吸附能力，从而进一步吸附气流中的粉尘杂质，提高过滤效果，且第一基架在外壳体的限位槽内转动不受限制，从而球面可附着杂质的量更大，延长更换时间，提高使用使命。

本实用新型进一步设置为：所述过滤装置还包括第二基架和第三基架，第二基架和第三基架相抵触并均卡合于外壳体上，第二基架和第三基架均置于第一基架和抽真空装置之间，第二基架和第三基架均呈网状，第二基架和第三基架之间设有第二涤纶网层。

通过采用上述技术方案，第二基架和第三基架对第二涤纶网层起到定型加强的作用，第二涤纶网层可以起到二次过滤的效果，且第二基架、第三基架和第二涤纶网层均可以降低涤纶纤维进入抽真空装置中的可能。

本实用新型进一步设置为：所述第一涤纶网层和第二涤纶网层均包括经线和纬线，经线和纬线十字交织，第一涤纶网层和第二涤纶网层上还均设有第一加强线和第二加强线，第一加强线和第二加强线相互垂直，第一加强线与经线呈45度夹角，且第一加强线依次连接于经线和纬线的连接端上，第二加强线也依次连接于经线和纬线的连接端上，经线和纬线均由若干涤纶长丝相互缠绕连接而成。

通过采用上述技术方案，第一加强线和第二加强线均可增加第一涤纶网层和第二涤纶网层的结构强度，降低第一涤纶网层和第二涤纶网层产生脱线的可能，经线和纬线均由若干涤纶长丝相互缠绕连接而成，可进一步增加结构强度，提高使用寿命。

本实用新型进一步设置为：所述第二涤纶网层的孔隙小于第一涤纶网层的孔隙。

通过采用上述技术方案，第二涤纶网层和第二涤纶网层均具有网孔，而第二涤纶网层的孔隙小于第一涤纶网层的孔隙，起到精过滤的效果，且对可能脱线的涤纶纤维起到更好的阻挡作用。

附图说明

图1为本实用新型一种真空镀膜机实施例的结构示意图。

图2为本实用新型一种真空镀膜机实施例中第一基架的结构示意图。

图3为本实用新型一种真空镀膜机实施例中第二涤纶网层的结构示意图。

图中附图标记为，1-镀膜腔室，2-抽真空装置，3-气管，4-外壳体，5-第一基架，6-第一涤纶网层，11-第一环形架，12-第二环形架，13-第三环形架，14-保持腔，15-加强环，16-加强筋，21-第二基架，22-第三基架，23-第二涤纶网层，31-经线，32-纬线，33-第一加强线，34-第二加强线。

具体实施方式

参照图1至图3对本实用新型一种真空镀膜机实施例做进一步说明。

一种真空镀膜机，包括镀膜腔室1、抽真空装置2，镀膜腔室1和抽真空装置2通过气管3连接，其特征是：所述气管3上设有过滤装置，过滤装置包括与气管3连通的外壳体4、置于外壳体4内的第一基架5和包覆于第一基架5上的第一涤纶网层6，第一基架5包括第一环形架11、第二环形架12和第三环形架13，第一环形架11、第二环形架12和第三环形架13相互交错连接形成呈球形的保持腔14，保持腔14内设有加强环15，加强环15分别与第一支架、第二支架和第三支架相连接，保持腔14内设有若干与第一基架5相连接的加强筋16，保持腔14内填充有涤纶纤维。

通过采用上述技术方案，外壳体4的两端可与气管3连通，第一基架5包括第一环形架11、第二环形架12和第三环形架13，第一环形架11、第二环形架12和第三环形架13均为圆环，且相互交错连接呈球形，外壳体4的内壁上设有球形的限位槽，第一基架5可与限位槽适配，第一基架5的球形外壁上包覆有第一涤纶网层6，加强环15对第一基架5起到加强定型的作用，提高第一基架5的结构强度，加强筋16为多根置于保持腔14内，且两端可与第一基架5的任一部位连接，起到支撑加强的作用，涤纶纤维填充于保持腔14内且呈丝团状，加强筋16可穿插与丝团状涤纶纤维内，能对涤纶纤维起到支撑作用，降低涤纶纤维受力压缩的可能，使涤纶纤维蓬松，增加涤纶纤维的透气性，第一涤纶网层6也能降低涤纶纤维从保持腔14中脱离出来的可能，当抽真空装置2对镀膜腔室1进行抽气时，镀膜腔室1内残留的粉尘杂质会附着在第一涤纶网层6上，且第一涤纶网层6包覆于第一基架5上时会呈球形，附着面积更大，从而过滤效果更好，且当抽气时，气流会对涤纶纤维产生扰动，涤纶纤维之间摩擦会产生静电，静电具有良好的吸附能力，从而进一步吸附气流中的粉尘杂质，提高过滤效果，且第一基架5在外壳体4的限位槽内转动不受限制，从而球面可附着杂质的量更大，延长更换时间，提高使用使命。

本实用新型进一步设置为：所述过滤装置还包括第二基架21和第三基架22，第二基架21和第三基架22相抵触并均卡合于外壳体4上，第二基架21和第三基架22均置于第一基架5和抽真空装置2之间，第二基架21和第三基架22均呈网状，第二基架21和第三基架22之间设有第二涤纶网层23。

通过采用上述技术方案，第二基架21和第三基架22对第二涤纶网层23起到定型加强的作用，第二涤纶网层23可以起到二次过滤的效果，且第二基架21、第三基架22和第二涤纶网层23均可以降低涤纶纤维进入抽真空装置2中的可能。

本实用新型进一步设置为：所述第一涤纶网层6和第二涤纶网层23均包括经线31和纬线32，经线31和纬线32十字交织，第一涤纶网层6和第二涤纶网层23还均设有第一加强线33和第二加强线34，第一加强线33和第二加强线34相互垂直，第一加强线33与经线31呈45度夹角，且第一加强线33依次连接于经线31和纬线32的连接端上，第二加强线34也依次连接于经线31和纬线32的连接端上，经线31和纬线32均由若干涤纶长丝相互缠绕连接而成。

通过采用上述技术方案，第一加强线33和第二加强线34均可增加第一涤纶网层6和第二涤纶网层23的结构强度，降低第一涤纶网层6和第二涤纶网层23产生脱线的可能，经线31和纬线32均由若干涤纶长丝相互缠绕连接而成，可进一步增加结构强度，提高使用寿命。

本实用新型进一步设置为：所述第二涤纶网层23的孔隙小于第一涤纶网层6的孔隙。

通过采用上述技术方案，第二涤纶网层23和第二涤纶网层23均具有网孔，而第二涤纶网层23的孔隙小于第一涤纶网层6的孔隙，起到精过滤的效果，且对可能脱线的涤纶纤维起到更好的阻挡作用。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行通常的变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。