喷嘴的制作方法

本实用新型涉及有机电致发光器件制备领域，更具体涉及一种喷嘴。

背景技术：

有机电致显示(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件由于同时具备自发光、不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广、构造及制作过程较简单等优异的特性，被认为是下一代的平面显示器的新兴应用技术。

OLED器件在制作过程中，线性蒸发源将有机材料进行加热，材料分子在受热后通过内板(Inner plate)均一化后，经过线性蒸发源的喷嘴(Nozzle)将其蒸镀到低温多晶硅(LTPS)基板上。传统技术中由于线性蒸发源的坩埚加热的温度均匀性不好，坩埚顶部温度高于底部温度，而坩埚顶部的加热丝在加热过程中加热喷嘴的底部位置，坩埚底部的加热丝在加热过程中加热喷嘴的顶部位置，喷嘴顶部又靠近冷却板，这样导致喷嘴顶部的温度相对低，图1A、图1B分别为线性蒸发源的喷嘴的侧视图和俯视图。温度过低会导致材料经过喷嘴顶部时发生材料粘贴在喷嘴内壁上的现象，时间长就会导致喷嘴堵塞。目前由于喷嘴堵塞造成的线性蒸发源故障的频率在10％～15％左右。喷嘴堵塞后导致坩埚内部压强发生变化，蒸镀形成的有机材料薄膜厚度均一性变差，影响器件性能。

另外，目前线性蒸发源为10个有机蒸镀腔室，共19个线性坩埚，每个坩埚上面至少有9个喷嘴，并且是在在线工作Inline状态下所有腔室一起蒸镀，如有一个坩埚上的一个喷嘴发生堵塞，解决喷嘴阻塞(Nozzle Clogging)问题时需要同时停止其他腔室中的喷嘴，其他腔室中喷嘴的利用率严重下，造成资源的浪费。并且处理喷嘴堵塞需要降温开腔后处理再升温抽成真空，目前对于该问题的处理至少需要12小时，严重影响了工作效率和产品的制作效率。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是如何提高蒸镀喷嘴喷头部位的温度。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种喷嘴，所述喷嘴包括喷射件以及温度维持部件，所述温度维持部件设置在所述喷射件的外侧或内侧，所述温度维持部件用于将所述喷射件向外辐射的热量反射回所述喷射件，以提高所述喷射件的喷射部位的温度，或者通过热传导的方式将喷射件底部的热量传导到所述喷射件的喷射部位，以提高所述喷射件的喷射部位的温度。

优选地，所述温度维持部件设置在所述喷射件的外侧，与所述喷射件不接触，并且所述温度维持部件为筒状结构。

优选地，所述温度维持部件与所述喷射件同轴。

优选地，所述温度维持部件与所述喷射件等高。

优选地，所述温度维持部件包括多个外径不同的筒状结构。

优选地，所述温度维持部件的每个所述筒状结构的厚度均为0.1～1mm。

优选地，所述喷射件为不锈钢喷射件。

优选地，所述喷射件为筒状结构，并且所述喷射件的内壁设置有导热膜。

优选地，所述喷射件为铜喷射件。

优选地，温度维持部件为不锈钢温度维持部件。

优选地，所述喷射件为筒状结构，所述温度维持部件为设置在所述喷射件的内壁的金属薄膜。

优选地，所述喷射件的内壁设置有铜薄膜。

优选地，所述铜薄膜的厚度为0.5～5mm。

本实用新型提供了一种喷嘴，该喷嘴包括喷射件和温度维持部件，温度维持部件设置在喷射件的外侧或内侧，温度维持部件用于将喷射件向外辐射的热量反射回喷射件，以提高喷射件的喷射部位的温度，或者通过热传导的方式将喷射件底部的热量传导到喷射件的喷射部位，以提高喷射件的喷射部位的温度，从而避免了喷射物冷却粘贴在喷射件的喷射部位(即喷头位置)而造成堵塞和因喷射件(或喷嘴)，阻塞造成的线性蒸发源利用率下降，从提高了工作效率和产品的制作效率，同时由于喷嘴的受热均匀，因此提高了蒸镀形成的蒸镀膜厚度的均一性，从而保证了器件的性能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1A是现有技术中线性蒸发源喷嘴的侧视图；

图1B是现有技术中线性蒸发源喷嘴的俯视图；

图2是本实用新型的实施例一的喷嘴的侧视图；

图3是本实用新型的实施例三的喷嘴的侧视图；

图4为本实用新型的实施例四的喷嘴的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

一种喷嘴，所述喷嘴包括喷射件以及温度维持部件，所述温度维持部件设置在所述喷射件的外侧或内侧，所述温度维持部件用于将所述喷射件向外辐射的热量反射回所述喷射件，以提高所述喷射件的喷射部位的温度，或者通过热传导的方式将喷射件底部的热量传导到所述喷射件的喷射部位，以提高所述喷射件的喷射部位的温度，从而避免了喷射物冷却粘贴在喷射件的喷射部位(即喷头位置)而造成堵塞和因喷射件(或喷嘴)阻塞造成的线性蒸发源利用率下降，从而提高了工作效率和产品的制作效率，同时由于喷嘴受热均匀，提高了蒸镀形成的蒸镀膜厚度的均一性，从而保证了器件的性能。

进一步地，温度维持部件设置在所述喷射件的外侧，与所述喷射件不接触，并且所述温度维持部件为筒状结构，此种结构的喷嘴能够利用温度维持部件将所述喷射件向外辐射的热量反射回所述喷射件，以提高所述喷射件的喷射部位的温度。另外，将所述喷射件设计为筒状结构。筒状的结构使喷射件对其内部材料的压力均一，从而使喷射出去的材料的均更加均匀，从而进一步提高了形成的蒸镀膜的厚度发热均一性。

进一步地，为保证温度维持部件反射回喷射件的热量更加均匀，将所述温度维持部件设计为与所述喷射件同轴，从而实现均匀的提高喷射件喷射部位的温度。为进一步提高温度维持部件反射回喷射件的热量均匀性，将所述反射件与所述喷射件等高设置。例如可将温度维持部件和喷射件设置为等高、同轴的圆筒状结构。优选地，所述温度维持部件为不锈钢温度维持部件。

为了进一步地提高喷射件喷射部位的温度，避免喷射物粘贴，将所述温度维持部件设计为包括多个外径不同并且同轴的筒状结构。优选地，每个所述筒状结构的厚度可以为0.1～1mm。外径不同的多个筒状结构可以将透过内层的筒状结构的热能被外层筒状结构反射回喷射件，从而达到进一步提高喷射件喷射部位的温度的目的。

进一步地，所述喷射件为不锈钢喷射件，为了提高喷射件的热均匀性，在喷射件的内壁设置有导热性能好的导热膜，例如金属薄膜，优选地，喷射件的内壁设置有铜薄膜，从而有效提高喷射件内部的温度以及喷射件不同部位的热均匀性。其中所述铜薄膜的厚度可以为0.5～5mm。

另外，所述喷射件可以为铜喷射件，进一步地提高了喷射件的导热性，从而实现将喷射件底部的热量很好的传导到喷射件的喷射部，达到提高喷射件喷射部位温度的目的。

进一步地，所述温度维持部件为设置在所述喷射件的内壁的金属薄膜，其中喷射件为筒状结构，优选地，在所述喷射件的内壁设置铜薄膜，通过利用金属薄膜的良好的热传导性将将喷射件底部的热量很好的传导到喷射件的喷射部，提高喷射件喷射部位温度。

下面通过几个具体的实施例对上述喷嘴进行详细介绍。

实施例一：

如图2所示，本实施例的喷嘴包括喷射件1以及设置在所述喷射件外部的温度维持部件2，所述温度维持部件2将所述喷射件1向外辐射的热量反射回所述喷射件1，从而提高了所述喷射件1的喷射部位的温度。

本实施例中，喷射件采用导热性能更好的Cu材质，为圆筒状。如图2所示，温度维持部件为多个同轴、等高、直径不同的圆筒状，并且与喷射件同轴等高。温度维持部件采用不锈钢SUS材质，厚度为0.5mm。温度维持部件的作用是将热量传递给Cu喷射件，温度维持部件设置为多个同轴、半径不同并且互不接触的圆筒状设置，其作用是可以更加有效的将喷射件辐射的热量以及透过反射件辐射出去的热量重新反射回喷射件，从而可以更加有效的提高喷射件喷射部位(即提高Cu喷射件顶部)以及整个喷射件的温度，顶部温度升高后喷射材料不容易粘贴在喷射件内壁上，不会引起喷嘴堵塞。另外，Cu材质的喷射件的直径可以是现有技术中的喷嘴的直径的一半，最外围的反射件的直径与现有技术中的喷嘴的直径相等，从而使本实施例中的喷嘴的直径与现有技术中喷嘴的直径相等。

本实施例中的喷嘴利用温度维持部件2将喷射件1辐射出来的热量重新反射回喷射件1，从而可以提高喷射件喷射部位的温度，避免了由于喷射件喷射部位温度冷却快造成的喷射物冷却粘贴在喷射件的喷射部位，造成堵塞和线性蒸发源利用率下降的问题。同时利用温度维持部件2将喷射件1的辐射出来的热量反射回喷射件可以提高热量的利用率，节省由于保持或提高反射件的温度所消耗的资源。

实施例二：

本实施例与实施例一的区别在于，本实施例的喷射件的材质为不锈钢SUS。相比于实施例一本实施例的喷射件的导热性不够好，但是由于设置了多个同轴、等高、直径不同的筒状的温度维持部件，同样可以有效的将喷射件辐射的热量以及透过内层温度维持部件辐射出去的热量重新反射回喷射件，从而可以有效的提高喷射件喷射部位以及整个喷射件的温度，从而使使材料不容易粘贴在冷却的喷射件内壁上，避免引起喷嘴堵塞。

实施例三：

在实施例二的基础上为了提高喷射件的导热性，本实施例在喷射件1的内壁上镀一层铜质薄膜3，作为导热膜，如图3所示，其中薄膜的厚度为2mm，通过铜的良好的导热性，可以将喷射件顶部以下的部分的热量有效的传导到喷射件的喷射顶部，从而可以进一步地提高喷射件顶部的温度，从而使喷射材料不容易粘贴在喷射件内壁上引起喷嘴堵塞。

实施例四：

本实施例的喷嘴的温度维持部件为设置在所述喷射件的内壁的金属薄膜4，如图4所示，并且该金属薄膜4选用价格低导热性能好的铜薄膜，其中铜薄膜的厚度设置为0.5～5mm之间，例如，可以为2mm，单独在喷射件的内壁设置导热性能好的铜薄膜，同样可以实现将喷射件底部的热量传导到喷射件的喷射部位，达到提高喷射件喷射部位温度的目的，从而使喷射材料不容易粘贴在喷射件内壁上引起喷嘴堵塞。

本实用新型的喷嘴通过设计温度维持部件来提高喷射件喷射部位的温度，温度维持部件的作用是给喷射件传递热量，使喷射件能够受到温度维持部件传递的热量，来保证喷射件受到的热量均匀。由于加热丝加热对喷嘴来说，各个位置受到的热量是有差异的，因此优选地采用铜质喷射件或内壁镀铜的喷射件来提高喷射件的导热性，达到提高喷射件热均匀性、提高喷射件顶部温度的目的。另外可以使用多圈温度维持部件的方法来实现喷射件顶部温度的提高，避免由于喷射件受热不均导致的喷嘴堵塞，材料浪费以及最终导致的蒸镀膜厚不均匀的问题，本实用新型能够有效的提高喷射件内壁的温度，防止喷嘴堵塞，提高量产产能，保证器件性能。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明的说明书中，说明了大量具体细节。然而能够理解的是，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。类似地，应当理解，为了精简本发明公开并帮助理解各个发明方面中的一个或多个，在上面对本发明的示例性实施例的描述中，本发明的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的方法解释呈反映如下意图：即所要求保护的本发明要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如权利要求书所反映的那样，发明方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本发明的单独实施例。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。本发明并不局限于任何单一的方面，也不局限于任何单一的实施例，也不局限于这些方面和/或实施例的任意组合和/或置换。而且，可以单独使用本发明的每个方面和/或实施例或者与一个或更多其他方面和/或其实施例结合使用。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。