技术总结
本实用新型涉及磁控溅射技术领域，公开了一种磁控溅射屏蔽罩和磁控溅射设备，用以提高磁控溅射屏蔽罩拆卸和安装的方便性。一种磁控溅射屏蔽罩，包括：第一本体和第二本体，第一本体和第二本体拆卸连接以形成可罩扣在阴极靶上的罩体，且第一本体和第二本体均与阴极靶可拆卸连接；上盖板，上盖板可盖合罩体的一端，且上盖板上设有允许阴极靶穿过的通孔；下导流环，下导流环可拆卸连接于罩体的另一端。本实用新型提供的磁控溅射屏蔽罩，通过将罩体设置为包括第一本体和第二本体的分体式结构，可以在安装时，先分别将第一本体和第二本体包裹在阴极靶的外表面，然后再固定。可见，本实用新型提供的磁控溅射屏蔽罩，具有较好的拆卸和安装的方便性。
技术研发人员：赵鑫;任明冲;张林;谷士斌;王智坚;赵冠超;杨荣;李立伟;孟原;郭铁
受保护的技术使用者：新奥光伏能源有限公司
文档号码：201621182904
技术研发日：2016.11.03
技术公布日：2017.05.24