一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置的制作方法

文档序号:12223643阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置,其特征在于:包括支架(1)、无头皮带(2)、主动轮(3)、从动轮(4),所述主动轮(3)、从动轮(4)通过轴承固定在支架(1)上,所述无头皮带(2)绕过主动轮(3)、从动轮(4)并被主动轮(3)和从动轮(4)绷紧,所述支架(1)上连接有用于驱动主动轮(3)转动的驱动电机(5),所述无头皮带(2)水平设置且在位于上层的无头皮带(2)和位于下层的无头皮带(2)之间设置有支撑平台(6),所述支撑平台(6)通过支撑杆固定在支架(1)上,所述支撑平台(6)的上表面为光滑的平面,所述位于上层的无头皮带(2)与支撑平台(6)的上表面相接触,所述支撑平台(6)的两个端面为内凹的弧面,所述支撑平台(6)的上方设置有喷砂装置(7),所述喷砂装置(7)包括导料管(701)、N个喷砂头(702),N为偶数,所述导料管(701)的前端连接有料斗(703),所述导料管(701)上连接气管(704),所述气管(704)的一端连接有空气压缩机(705),另一端为出气口且出气口与导料管(701)连通,所述气管(704)内的气体从出气口喷出时的方向与导料管(701)的中心轴线之间的夹角小于90°,所述气管(704)内气体的压力为0.05-0.1个标准大气压,所述N个喷砂头(702)沿无头皮带(2)的移动方向依次设置,砂从喷砂头(702)喷出后喷在无头皮带(2)上的区域为喷砂区域,所述相邻的两个喷砂头(702)在无头皮带(2)上的喷射区域无缝连接;

所述导料管(701)的末端连接有一个第一级喷砂管(706),所述第一级喷砂管(706)的末端连接有两个第二级喷砂管(707),一个第一级喷砂管(706)与两个第二级喷砂管(707)组成“人”字形结构,每个第二级喷砂管(707)末端连接有两个第三级喷砂管(708),一个第二级喷砂管(707)与两个第三级喷砂管(708)组成“人”字形结构,依次类推,第三级喷砂管(708)的末端连接有第四级喷砂管(709),第四级喷砂管(709)的末端连接有第五级喷砂管,…,第n-1级喷砂管的末端连接有第n级喷砂管,n≥2,第n级喷砂管的数量与喷砂头(702)的数量相同,每个第n级喷砂管的末端都与一个喷砂头(702)相连,并且第n-1级喷砂管的内径是第n级喷砂管内径的两倍;

所述支架(1)上设置有用于输送硅片的多个输送滚轮(8),相邻的输送滚轮(8)之间通过传动机构相连,靠近从动轮(4)的输送滚轮(8)与从动轮(4)之间通过传动机构相连,所述无头皮带(2)、多个输送滚轮(8)沿位于上层的无头皮带(2)的运行方向依次设置,且每个输送滚轮(8)的最高位置与位于上层的无头皮带(2)的上表面位于同一水平面,所述输送滚轮(8)的上方设置有两个限位滚轮(9),两个限位滚轮(9)与下方的其中两个相邻的输送滚轮(8)一一对应,限位滚轮(9)与输送滚轮(8)之前的间隙宽度与硅片的厚度相匹配,两个限位滚轮(9)之间以及与两个限位滚轮(9)对应的输送滚轮(8)之间均设置有气刀发生装置(10),所述气刀发生装置(10)产生的气刀吹向限位滚轮(9)与输送滚轮(8)之间的硅片。

2.如权利要求1所述的多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置,其特征在于:所述主动轮(3)、从动轮(4)沿无头皮带(2)的运行方向依次设置,所述从动轮(4)的外侧下方设置有气刀发生装置(10),所述气刀发生装置(10)的产生的气刀斜向上吹向无头皮带(2)。

3.如权利要求2所述的多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置,其特征在于:所述气刀发生装置(10)包括喷管(1001),所述喷管(1001)的两端密封,所述喷管(1001)水平设置且垂直于无头皮带(2)的运行方向,所述喷管(1001)的表面沿轴向方向开有气刀缝隙(1002),所述喷管(1001)上连接有进气管(1003),进气管(1003)的另一端与空气压缩机(705)相连。

4.如权利要求3所述的多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置,其特征在于:所述气刀缝隙(1002)上连接有具有夹层空间的导流夹板(1004),所述导流夹板(1004)与竖直方向的夹角大于0度且小于90度,所述气刀沿导流夹板(1004)的夹层空间喷出的方向与硅片的移动方向之前的夹角大于90度。

5.如权利要求4所述的多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置,其特征在于:所述料斗(703)位于输送滚轮(8)下方,且从动轮(4)位于料斗(703)上方。

6.如权利要求5所述的多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置,其特征在于:所述料斗(703)内设置有导料板(11),所述导料板(11)的一端延伸至料斗(703)的出料口,一端延伸至料斗(703)边缘。

7.如权利要求6所述的多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置,其特征在于:所述气管(704)内气体的压力为0.08个标准大气压。

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