减少断线率的多晶硅棒的切割工装的制作方法

文档序号:1865089阅读:365来源:国知局
专利名称:减少断线率的多晶硅棒的切割工装的制作方法
技术领域
本实用新型涉及硅材料加工领域,特别涉及一种减少断线率的多晶硅棒切割工装。
背景技术
随着我国工业现代化进程的发展,硅晶体材料的应用日益广泛。在硅晶材料的各种加工方法中,切割加工占很重要的地位。现有的切割工艺中,一块切割工装上放置一块大小相同或略小的方形多晶硅棒,切割线锯成弓形,先对方形的多晶硅棒的两角进行切割,在切割多晶硅时,由于快速摩擦切割会使切割线的温度很高,温度升高后使切割线容易变形或者容易断线。尤其是切割两角的部位更加容易变形,而使线弓过大。切割线变形对多晶硅棒的切割带来很大的切损,影响生产质量,并且断线后还需更换切割线,所需的换线时间较长,一般为3-5小时,换线时如果没有备用的设备则生产将暂停,给企业带来很大的经济损失。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种减少断线率的多晶硅棒切割工装。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种减少断线率的多晶硅棒切割工装,具有底板和玻璃隔板,所述的底板上表面与玻璃隔板的下表面通过胶水固定连接,所述的玻璃隔板上具有至少一个可拆卸的长方形薄片,所述的长方形薄片宽度为 lmm-3mm0本实用新型减少断线率的多晶硅棒切割工装,在玻璃隔板上设置长方形薄片,可以控制放置在玻璃隔板上的多晶硅棒之间的间距,一般控制间距为3mm-5mm。为了将多晶硅棒固定,保证切割效果,多晶硅棒下表面通过胶水固定在玻璃隔板的上表面上。本实用新型的有益效果是,本实用新型减少断线率的多晶硅棒切割工装,减小每个多晶硅棒的长度,在一块玻璃隔板上放置至少两个多晶硅棒并且在每个多晶硅棒之间空有一定的间隙,减少跳线率,延长切割线的使用寿命,从而延长更换周期,提高生产效率。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。


图1是本实用新型减少断线率的多晶硅棒切割工装最优实施例的结构示意图。图中1、底板,2、玻璃隔板,3、多晶硅棒,4、长方形薄片。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图, 仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。[0011]如
图1所示,本实用新型减少断线率的多晶硅棒切割工装最优实施例的结构示意图。一种减少断线率的多晶硅棒切割工装,具有底板1和玻璃隔板2,底板1上表面与玻璃隔板2的下表面通过胶水固定连接,玻璃隔板2上具有至少一个可拆卸的长方形薄片4, 长方形薄片4宽度为1mm。在玻璃隔板2上放置三个并排紧靠的长方形薄片4,即薄片的总宽度为3mm ;多晶硅棒3紧靠在长方形薄片4两边,则两个多晶硅棒3之间的间距为3mm ;放置好多晶硅棒3 之后将长方形薄片4拆除。为了将多晶硅棒3固定,保证切割效果,多晶硅棒3下表面通过胶水固定在玻璃隔板2的上表面上。以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
权利要求1. 一种减少断线率的多晶硅棒切割工装,其特征在于具有底板(1)和玻璃隔板0), 所述的底板(1)上表面与玻璃隔板O)的下表面通过胶水固定连接,所述的玻璃隔板O) 上具有至少一个可拆卸的长方形薄片G),所述的长方形薄片宽度为lmm-3mm。
专利摘要本实用新型减少断线率的多晶硅棒切割工装,具有底板和玻璃隔板,底板上表面与玻璃隔板的下表面通过胶水固定连接,玻璃隔板上具有至少一个可拆卸的长方形薄片,长方形薄片宽度为1mm-3mm。本实用新型减少断线率的多晶硅棒切割工装,在玻璃隔板上设置长方形薄片,可以控制放置在玻璃隔板上的多晶硅棒之间的间距,一般控制间距为3mm-5mm;减小每个多晶硅棒的长度,在一块玻璃隔板上放置至少两个多晶硅棒并且在每个多晶硅棒之间空有一定的间隙,减少跳线率,延长切割线的使用寿命,从而延长更换周期,提高生产效率。
文档编号B28D5/04GK202147321SQ20112027272
公开日2012年2月22日 申请日期2011年7月29日 优先权日2011年7月29日
发明者周静, 孙志兰, 李长喜 申请人:江苏兆晶光电科技发展有限公司
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