精细掩膜板支撑框架、精细掩膜板及其制备方法与流程

本发明涉及显示器制备技术领域，尤其涉及一种精细掩膜板支撑框架、精细掩膜板及其制备方法。

背景技术：

目前oled(organiclight-emittingdiode，有机发光二极管)采用真空蒸镀技术制备有机发光层。在器件制备过程中，有机材料通过高温蒸镀淀积在位于蒸发源上方的基板上，为使有机材料按照设计蒸镀到特定的位置上，在基板下方需使用高精度金属掩膜板，掩膜板(即高精度金属掩膜板)上留有预先设计好的有效开口区域，通过该有效开口区域，有机材料沉积到背板上面，形成预设图形。金属掩膜板上有效开口区域的尺寸、位置的变化会直接影响镀膜的精度。

如图1所示，目前精细掩膜板的制作是在掩膜板框架01上分别焊接横向的遮挡条02和竖向的支撑条03，再在焊有遮挡条02和支撑条03的掩膜板框架01上焊接掩膜条04。遮挡条02的作用是遮挡各个掩膜条04之间的缝隙，支撑条03主要起支撑掩膜条04的作用。

目前的遮挡条和支撑条的焊接都是在掩膜条焊接之前完成的，并且焊接它们时不需要对掩膜框架使用挤压力，但是在焊接掩膜条的时候，需要用外力使得掩膜条上的开口05达到合适的精度，相应的需要使用挤压力作用在掩膜板框架上，使得掩膜条焊接后仍然可以受到与焊接前相同的拉力(该拉力为掩膜板框架恢复形变时对其上焊接的掩膜条所产生的力)，以保证掩膜条焊接之前和焊接之后有效开口区域不变，但是实际生产中设定的对掩膜板框架的挤压力总是在过大或者过小中波动，导致焊接之前和焊接之后的有效开口区域位置精度不同，焊接之后的有效开口区域有时候向内缩(挤压力设定的过小)，也有时候向外扩张(挤压力设定的过大)。同时随着精细掩膜板使用时间越长，已经焊接成型的掩膜条越松弛，精细掩膜板的有效开口区域变形越大，导致采用该精细掩膜板形成的膜层精度较低。

技术实现要素：

本发明实施例提供了一种精细掩膜板支撑框架、精细掩膜板及其制备方法，用以提高掩膜板的开口区域的位置精度，进而提高掩膜精度。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

本发明实施例提供了一种精细掩膜板支撑框架，包括：多个边框，多个所述边框围成掩膜区域，至少一对相对设置的两个边框上设有调节开口，每个所述调节开口上设有至少一个调节件，所述调节件用于调节对应的所述调节开口的形状以调节所述掩膜区域的形变。

本发明提供的精细掩膜板支撑框架，通过设置的调节开口和调节件可以便于改变调节开口的形变，通过改变调节开口的形状可以调节掩膜区域的形变。掩膜条在放置在精细掩膜板支撑框架上之前会受到一个拉力，为了使得掩膜条被固定在支撑框架上后，仍可以受到与其被固定前一样的拉力，会预先给支撑框架一个挤压力，使得掩膜条固定前和固定后受到的拉力不变。在焊接掩膜条过程中，随着精细掩膜板所受的挤压力逐渐减小，精细掩膜板支撑框架将恢复形变，此时精细掩膜板支撑框架会对其上焊接的掩膜条施加拉力，当精细掩膜板支撑框架给掩膜条的拉力与掩膜条在被固定前受到的拉力不平衡时，通过改变调节开口的形状可以调节掩膜区域的形变，进而可以调节固定在精细掩膜板支撑框架上的掩膜条所受到的拉力，使得掩膜条在被固定前和固定后所受的拉力相等，进而可以保证掩膜条上的开口的位置精度在焊接前和焊接后相同，提高掩膜板的开口区域的位置精度，进而可以提高掩膜精度。

在一些可选的实施方式中，每个所述调节件包括：螺杆和一个锁紧螺母，所述螺杆的两端分别与所述调节开口的第一侧壁和第二侧壁连接，所述锁紧螺母位于所述调节开口内且套装于所述螺杆，其中所述第一侧壁上设有螺纹孔、所述第二侧壁上设有孔，所述第一侧壁的长度方向、所述第二侧壁的长度方向均与所述调节开口的长度方向相同。通过旋转螺母可以实现第一侧壁和第二侧壁中靠近掩膜区域的一侧壁内凹或外张，以实现其上覆盖的掩膜条所受的拉力，调节起来较方便。

在一些可选的实施方式中，每个所述调节件包括：螺杆和两个锁紧螺母，所述螺杆的两端分别与所述调节开口的第一侧壁和第二侧壁连接，两个所述锁紧螺母位于所述调节开口内且套装于所述螺杆，其中所述第一侧壁和所述第二侧壁上均设有孔，所述第一侧壁的长度方向、所述第二侧壁的长度方向均与所述调节开口的长度方向相同。通过旋转两个螺母可以实现第一侧壁和第二侧壁中靠近掩膜区域的一侧壁内凹或外张，以实现其上覆盖的掩膜条所受的拉力，调节起来较方便。

在一些可选的实施方式中，每个所述调节件包括：螺钉，所述螺钉穿过所述调节开口的第一侧壁与所述调节开口的第二侧壁相抵，其中所述第一侧壁上设有与所述螺钉配合的螺纹孔，所述第一侧壁的长度方向、所述第二侧壁的长度方向均与所述调节开口的长度方向相同，所述第一侧壁相对所述第二侧壁远离所述掩膜区域。通过旋转螺钉可以实现第一侧壁和第二侧壁内凹或外张，调节较方便。

在一些可选的实施方式中，每个所述调节件包括：螺钉，所述螺钉穿过所述调节开口的第一侧壁与所述调节开口的第二侧壁插合连接，其中所述第一侧壁上设有与所述螺钉配合的螺纹孔，所述第二侧壁上设有盲孔，所述第一侧壁的长度方向、所述第二侧壁的长度方向均与所述调节开口的长度方向相同，所述第一侧壁相对所述第二侧壁远离所述掩膜区域。通过旋转螺钉可以实现第一侧壁和第二侧壁内凹或外张，调节较方便。

在一些可选的实施方式中，每个所述调节件包括：螺钉，所述螺钉穿过所述调节开口的第一侧壁与所述调节开口的第二侧壁螺纹连接，其中所述第一侧壁上设有与所述螺钉配合的通孔，所述第二侧壁上设有螺纹孔，所述第一侧壁的长度方向、所述第二侧壁的长度方向均与所述调节开口的长度方向相同，所述第一侧壁相对所述第二侧壁远离所述掩膜区域。通过旋转螺钉可以实现第一侧壁和第二侧壁内凹或外张，调节较方便。

在一些可选的实施方式中，每个所述调节开口的长度大于等于其所在的边框的长度的二分之一且小于等于其所在的边框的长度的九分之七。

本发明还提供了一种精细掩膜板，包括：上述任一项所述的精细掩膜板支撑框架，以及覆盖于所述精细掩膜板支撑框架的掩膜区域上的掩膜条，所述掩膜条与所述精细掩膜板支撑框架相对固定。由于上述精细掩膜板支撑框架可以提高掩膜板的开口区域的位置精度，故本发明实施例提供的精细掩膜板具有较高的掩膜精度。

在一些可选的实施方式中，所述调节开口的长度方向与所述掩膜条的长度方向垂直。这样调节起来效果较明显，调节较方便。

在一些可选的实施方式中，每个所述调节开口上设有的所述调节件的个数与所述掩膜条的个数相同。

本发明还提供了一种精细掩膜板的制备方法，包括：

提供一如上述任一项所述的精细掩膜板支撑框架；

对所述精细掩膜板支撑框架施加作用力；

将施加有第一拉力的掩膜条固定于所述精细掩膜板支撑框架；

调节所述调节件以调节对应的所述调节开口的形状，以使所述掩膜条被固定前和固定后所受到的拉力相同。

在一些可选的实施方式中，在所述提供一上述任一项所述的精细掩膜板支撑框架和所述对所述精细掩膜板支撑框架施加作用力之间还包括：

通过所述调节件对所述调节开口靠近所述掩膜区域的侧壁施加挤压力。

附图说明

图1为现有技术中的精细掩膜板的一种结构示意图；

图2为本发明实施例提供的精细掩膜板支撑框架的第一种结构示意图；

图3a为本发明实施例提供的精细掩膜板支撑框架的第二种结构的一种状态示意图；

图3b为本发明实施例提供的精细掩膜板支撑框架的第二种结构的另一种状态示意图；

图4a为本发明实施例提供的精细掩膜板支撑框架的第三种结构的一种状态示意图；

图4b为本发明实施例提供的精细掩膜板支撑框架的第三种结构的另一种状态示意图；

图5a为本发明实施例提供的精细掩膜板支撑框架的第四种结构的一种状态示意图；

图5b为本发明实施例提供的精细掩膜板支撑框架的第四种结构的另一种状态示意图；

图6a为本发明实施例提供的精细掩膜板支撑框架的第五种结构的一种状态示意图；

图6b为本发明实施例提供的精细掩膜板支撑框架的第五种结构的另一种状态示意图；

图7为本发明实施例提供的精细掩膜板的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的精细掩膜板的制备流程图。

附图标记：

01-掩膜板框架02-遮挡条

03-支撑条04-掩膜条

05-开口11-边框

12-掩膜区域13-调节开口

14-调节件141-螺杆

142-螺母143-螺钉

2-遮挡条3-支撑条

4-掩膜条5-开口

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明专利保护的范围。

如图2所示，本发明实施例提供了一种精细掩膜板支撑框架，包括：多个边框11，多个边框11围成掩膜区域12，至少一对相对设置的两个边框11上设有调节开口13，每个调节开口13上设有至少一个调节件14，调节件14用于调节对应的调节开口13的形状以调节掩膜区域12的形变。

本发明提供的精细掩膜板支撑框架，通过设置的调节开口13和调节件14可以便于改变调节开口13的形变，通过改变调节开口13的形状可以调节掩膜区域12的形变。掩膜条在放置在精细掩膜板支撑框架上之前会受到一个拉力，为了使得掩膜条被固定在支撑框架上后，仍可以受到与其被固定前一样的拉力，会预先给精细掩膜板支撑框架一个挤压力，使得掩膜条固定前和固定后受到的拉力不变。在焊接掩膜条过程中，随着精细掩膜板所受的挤压力逐渐减小，精细掩膜板支撑框架将恢复形变，此时精细掩膜板支撑框架会对其上焊接的掩膜条施加拉力，当精细掩膜板支撑框架给掩膜条的拉力与掩膜条在被固定前受到的拉力不平衡时，通过改变调节开口13的形状可以调节掩膜区域12的形变，进而可以调节固定在精细掩膜板支撑框架上的掩膜条所受到的拉力，使得掩膜条在被固定前和固定后所受的拉力相等，进而可以保证掩膜条上的开口的位置精度在焊接前和焊接后相同，提高掩膜板的开口区域的位置精度，进而可以提高掩膜精度。

上述调节件14的具体结构可以有多种：

一种可选的实施方式中，如图3a和图3b所示，每个调节件14包括：螺杆141和一个锁紧螺母142，螺杆141的两端分别与调节开口13的第一侧壁和第二侧壁连接，锁紧螺母142位于调节开口13内且套装于螺杆141，其中第一侧壁上设有螺纹孔、第二侧壁上设有孔，第一侧壁的长度方向和第二侧壁的长度方向均与调节开口13的长度方向相同。通过旋转螺母142可以实现第一侧壁和第二侧壁中靠近掩膜区域12的一侧壁内凹或外张，以实现其上覆盖的掩膜条所受的拉力的改变，调节起来较方便。

另一种可选的实施方式中，如图4a和图4b所示，每个调节件14包括：螺杆141和两个锁紧螺母142，螺杆141的两端分别与调节开口的第一侧壁和第二侧壁连接，两个锁紧螺母142位于调节开口内且套装于螺杆141，其中第一侧壁和第二侧壁上均设有孔，第一侧壁的长度方向和第二侧壁的长度方向均与调节开口13的长度方向相同。当固定后的掩膜条处于收缩状态时，即掩膜条被固定前的拉力大于精细掩膜板支撑框架恢复形变时给其上焊接的掩膜条的拉力时，如图4a所示，可以通过调节两个锁紧螺母142使得调节开口13宽度变窄，使得掩膜区域12与调节开口13相邻的两侧(即图示方位的左右两侧)向外扩张(而上下两侧向内收缩)，此时精细掩膜板支撑框架会给其上固定的掩膜板一个向外拉的拉力(拉力的方向如图4a中箭头所示方向)，使得掩膜条被固定前所受到的拉力和被固定后所受的拉力相同。相反的，当固定后的掩膜条处于拉伸状态时，即掩膜条被固定前的拉力小于精细掩膜板支撑框架恢复形变时给其上焊接的掩膜条的拉力时，如图4b所示，可以通过调节两个锁紧螺母142使得调节开口13宽度变宽，使得掩膜区域12与调节开口13相邻的两侧(即图示方位的左右两侧)向内收缩(而上下两侧向外扩张)，此时精细掩膜板支撑框架会给其上固定的掩膜板一个向内的松弛力(松弛力的方向如图3b中箭头所示方向)，使得掩膜条的左右两侧收缩，掩膜条松弛，使得掩膜条被固定前所受到的拉力和被固定后所受的拉力相同。通过上述调节可以提高掩膜板的开口区域的位置精度，进而可以提高掩膜精度。

又一种可选的实施方式中，如图5a和图5b所示，每个调节件14包括：螺钉143，螺钉143穿过调节开口的第一侧壁与调节开口的第二侧壁相抵，其中第一侧壁上设有与螺钉143配合的螺纹孔，第一侧壁的长度方向和第二侧壁的长度方向均与调节开口13的长度方向相同，第一侧壁相对第二侧壁远离掩膜区域。当固定后的掩膜条处于收缩状态时，即掩膜条被固定前的拉力大于精细掩膜板支撑框架恢复形变时给其上焊接的掩膜条的拉力时，如图5a所示，可以通过旋松螺钉143，螺钉143与第二侧壁相抵的作用力减小，使得第二侧壁向外扩张，使得掩膜区域12与调节开口13相邻的两侧(即图示方位的左右两侧)向外扩张(而上下两侧向内收缩)，此时精细掩膜板支撑框架会给其上固定的掩膜板一个向外拉的拉力(拉力的方向如图5a中箭头所示方向)，使得掩膜条被固定前所受到的压力和被固定后所受的压力相同。相反的，当固定后的掩膜条处于拉伸状态时，即掩膜条被固定前的拉力小于精细掩膜板支撑框架恢复形变时给其上焊接的掩膜条的拉力时，如图5b所示，可以通过旋紧螺钉143，使得螺钉143对第二侧壁的作用力增大，第二侧壁向内扩张，掩膜区域12与调节开口13相邻的两侧(即图示方位的左右两侧)向内收缩(而上下两侧向外扩张)，此时精细掩膜板支撑框架会给其上固定的掩膜板一个向内的松弛力(松弛力的方向如图5b中箭头所示方向)，使得掩膜条收缩，掩膜条松弛，使得掩膜条被固定前所受到的拉力和被固定后所受的拉力相同。通过上述调节可以提高掩膜板的开口区域的位置精度，进而可以提高掩膜精度。

又一种可选的实施方式中，每个调节件14包括：螺钉143，螺钉143穿过调节开口的第一侧壁与调节开口的第二侧壁插合连接，其中第一侧壁上设有与螺钉143配合的螺纹孔，第二侧壁上设有盲孔，第一侧壁的长度方向和第二侧壁的长度方向均与调节开口13的长度方向相同，第一侧壁相对第二侧壁远离掩膜区域。当固定后的掩膜条处于收缩状态时，即掩膜条被固定前的拉力大于精细掩膜板支撑框架恢复形变时给其上焊接的掩膜条的拉力时，如图6a所示，可以通过旋松螺钉143，螺钉143会给第二侧壁一个向外的拉力，使得第二侧壁向外扩张，使得掩膜区域12与调节开口13相邻的两侧(即图示方位的左右两侧)向外扩张(而上下两侧向内收缩)，此时精细掩膜板支撑框架会给其上固定的掩膜板一个向外拉的拉力(拉力的方向如图6a中箭头所示方向)，使得掩膜条被固定所受到的拉力和被固定后所受的拉力相同。相反的，当固定后的掩膜条处于拉伸状态时，即掩膜条被固定前的拉力小于精细掩膜板支撑框架恢复形变时给其上焊接的掩膜条的拉力时，如图6b所示，可以通过旋紧螺钉143，使得螺钉143挤压第二侧壁，使得调第二侧壁向内扩张，使得掩膜区域12与调节开口13相邻的两侧(即图示方位的左右两侧)向内收缩(而上下两侧向外扩张)，此时精细掩膜板支撑框架会给其上固定的掩膜板一个向内的松弛力(松弛力的方向如图6b中箭头所示方向)，使得掩膜条收缩，使得掩膜条被固定前所受到的拉力和被固定后所受的拉力相同。通过上述调节可以提高掩膜板的开口区域的位置精度，进而可以提高掩膜精度。

再一种可选的实施方式中，每个调节件14包括：螺钉143，螺钉143穿过调节开口的第一侧壁与调节开口的第二侧壁螺纹连接，其中第一侧壁上设有与螺钉143配合的通孔，第二侧壁上设有螺纹孔，第一侧壁的长度方向和第二侧壁的长度方向均与调节开口13的长度方向相同，第一侧壁相对第二侧壁远离掩膜区域。具体的调节过程如上，通过旋转螺钉143可以实现第一侧壁和第二侧壁内凹或外张，调节较方便。

上述任一实施方式中，调节件14在调节时，也可以只让第一侧壁和第二侧壁中靠近掩膜区域12的一侧壁发生形变，而远离掩膜区域12的一侧壁不产生形变。

为可使得调节开口13实现更好的调节作用，可以预先给调节件14施加一定的作用力，这样可以通过作用力的增加和减小来更好的达到效果。

为了使得调节时掩膜区域12形变明显些，两个调节开口13的长度方向与精细掩膜板支撑框架上固定的掩膜条的长度方向垂直。

为了便于调节，每个调节开口上设有的调节件14的个数与掩膜条的个数相同。

优选的，每个调节开口的长度大于等于其所在的边框的长度的二分之一且小于等于其所在的边框11的长度的九分之七。可以在保证精细掩膜板支撑框架的支撑强度的同时，提高精细掩膜板支撑框架的调节方便性。

需要说明的是两个调节开口沿其排列方向上的宽度可以根据需要设定，为了保证精细掩膜板支撑框架的支撑强度，该宽的设置的相对小一些较好，若调节件14包括螺母，调节开口的宽度设置可以容纳螺母并预留一些螺母调节时需要的间隙即可。

如图7所示，本发明还提供了一种精细掩膜板，包括：上述任一项所述的精细掩膜板支撑框架，以及覆盖于精细掩膜板支撑框架的掩膜区域12上的掩膜条4，掩膜条4与精细掩膜板支撑框架相对固定。由于上述精细掩膜板支撑框架可以提高掩膜板的开口区域的位置精度，故本发明实施例提供的精细掩膜板具有较高的掩膜精度。

上述精细掩膜板一般还包括：分别焊接在精细掩膜板支撑框架的横向上的遮挡条2和竖向的支撑条3，掩膜条上设有多个开口5。

为了使得调节时掩膜区域12形变明显些，两个调节开口13的长度方向与掩膜条的长度方向垂直。

为了便于调节，每个调节开口上设有的调节件14的个数与掩膜条的个数相同。

如图8所示，本发明还提供了一种精细掩膜板的制备方法，包括：

步骤s801：提供一精细掩膜板支撑框架，该精细掩膜板支撑框架采用上述任一项所述的精细掩膜板支撑框架。

步骤s802：对精细掩膜板支撑框架施加作用力；

步骤s803：将施加有第一拉力的掩膜条固定于精细掩膜板支撑框架；

步骤s804：调节调节件14以调节对应的调节开口的形状，以使掩膜条被固定前和固定后所受到的拉力相同。

上述作用力可以为挤压力也可以为拉力，当为挤压力时，外界施力装置将力作用在调节开口远离掩膜区域的侧壁上，当为拉力时，外界施力装置将力作用在调节开口靠近掩膜区域的侧壁上。

上述调节件14在调节调节开口时，可以是在所用掩膜条均固定后再调节，也可以每固定一掩膜条便调节一次。

进一步的，在步骤s801提供一如上述任一项所述的精细掩膜板支撑框架和步骤s802对所述精细掩膜板支撑框架施加作用力之间还包括：

通过调节件14对调节开口靠近掩膜区域的侧壁施加挤压力。通过预先施加的挤压力可以使得精细掩膜板支撑框架预先产生一个形变，使得当需要减小或增大掩膜板所受拉力时，便于调节精细掩膜板支撑框架的形变，提高调节方便性。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。