一种有机真空蒸发源的制作方法

文档序号:11647644阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种有机真空蒸发源,包括:加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统和连接组件;加热系统中电热丝通电对金属导热体进行加热,达到有机物蒸发温度蒸发产生气相分子,通过控制系统旋转挡板的旋转闭合实现对镀膜过程的开始与结束,冷却系统始终处于工作状态,以免加热温度过高及实现金属导热体腔内坩埚的均匀受热,测温系统的电偶丝直接测量金属导热体温度进而反馈有机物的加热温度,连接组件的合理连接保证整个设备正常工作。

技术研发人员:郭方准;李红娟;臧侃;董华军;张晓敏;郑研
受保护的技术使用者:大连交通大学
技术研发日:2017.05.17
技术公布日:2017.07.28
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1