吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备的制作方法

本发明涉及蒸镀设备技术领域，具体而言，涉及一种吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备。

背景技术：

在有机材料的蒸镀过程中，有机材料会沉积在蒸镀腔的腔壁上。在抽气充气的过程，这些沉积在腔壁上的有机材料粉末将再次悬浮，形成杂质颗粒，影响器件的性能。传统方式是添加带有涂层的遮挡板，定期进行更换，但是仍然不能有效的防止沉积材料粉末的飞升。

技术实现要素：

本发明的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种能够有效吸附有机材料粉末并防止其飞升的吸附遮挡装置。

本发明的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种具有上述吸附遮挡装置的蒸镀设备。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

根据本发明的一个方面，提供一种吸附遮挡装置，包括盒体、多片翻转片以及连动机构。所述盒体一面具有开口。多片所述翻转片相互平行地排列于所述开口，每片所述翻转片的正面设有吸附膜。所述联动机构设于所述盒体且连接于各所述翻转片，用以驱动各所述翻转片同步翻转，使所述吸附遮挡装置在一吸附状态和一遮挡状态之间转换。吸附状态下，各所述翻转片的正面朝外，并封闭所述开口，遮挡状态下，各所述翻转片的反面朝外，并封闭所述开口。

根据本发明的其中一个实施方式，所述联动机构包括两条齿条、多个齿轮以及驱动组件。两条所述齿条平行间隔地设于所述开口。多个齿轮分别成对地设于多片所述翻转片的两侧，每对所述齿轮分别与两条所述齿条啮合。所述驱动组件连接于所述齿条，用以驱动所述齿条移动，而使所述齿条带动各所述翻转片同步翻转。

根据本发明的其中一个实施方式，所述驱动组件包括记忆合金弹片以及加热装置。所述记忆合金弹片连接于所述盒体与所述齿条的一端部之间。所述加热装置用以加热所述记忆合金弹片。其中，所述加热装置能够加热所述记忆合金弹片使其伸长，所述加热装置不工作时，所述记忆合金弹片回复为原始长度，所述记忆合金弹片通过伸缩带动所述齿条移动。

根据本发明的其中一个实施方式，所述记忆合金弹片的最大伸长长度等于所述齿轮的周长的一半。

根据本发明的其中一个实施方式，所述驱动组件包括分别连接于两条所述齿条的至少两个记忆合金弹片，所述加热装置同时加热两个所述记忆合金弹片，以使两个所述记忆合金弹片的温度同步转变，而使两条所述齿条同步移动。

根据本发明的其中一个实施方式，所述记忆合金弹片呈片状结构或螺旋状结构；和/或，所述记忆合金弹片的材质为铜锌铝合金。

根据本发明的其中一个实施方式，所述吸附膜朝向于所述翻转片的一面为壁虎绒毛仿生膜；和/或，所述吸附膜反向于所述翻转片的一面为pi绒毛薄膜。

根据本发明的其中一个实施方式，所述吸附遮挡装置在吸附状态下和遮挡状态下，每两个相邻的所述翻转片部分重叠。

根据本发明的另一个方面，提供一种蒸镀设备，包括蒸镀腔，所述蒸镀腔内设有以上实施方式所述的吸附遮挡装置。其中，所述蒸镀设备进行蒸镀作业时，所述吸附遮挡装置转换为吸附状态，所述蒸镀设备完成蒸镀作业时，所述吸附遮挡装置转换为封闭状态。

根据本发明的其中一个实施方式，所述吸附遮挡装置的所述盒体由所述蒸镀腔的腔壁凹陷形成。

由上述技术方案可知，本发明提出的吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备的优点和积极效果在于：

本发明提出的吸附遮挡装置，通过连动机构带动多片翻转片同步翻转的设计，使吸附遮挡装置能够在吸附状态和遮挡状态之间转换。吸附状态下，各翻转片的正面朝外且封闭盒体的开口，以利用翻转片正面的吸附膜吸附有机材料粉末。遮挡状态下，各翻转片的反面朝外且封闭盒体的开口，以将吸附状态下吸附到的有机材料粉末遮挡在盒体中，避免有机材料粉末的飞升。

本发明提出的蒸镀设备，通过将本发明提出的吸附遮挡装置设置在蒸镀设备的蒸镀腔内，能够在蒸镀作业时，利用吸附遮挡装置吸附作业过程中的有机材料粉末，同时在完成蒸镀作业时，利用吸附遮挡装置将吸附到的有机材料粉末遮挡在盒体内，避免有机材料粉末在蒸镀设备的其他制程中飞升而造成二次污染。

进一步地，在本发明的其中一个实施方式中，当采用相互配合的齿条和齿轮组成联动机构时，能够实现多片翻转片的同步翻转，且结构简单，便于布置和维护。

进一步地，在本发明的其中一个实施方式中，当采用记忆合金弹片和加热装置组成驱动组件时，能够利用记忆合金弹片受热形变的特性和加热装置的加热，实现驱动齿条移动的功能。

附图说明

通过结合附图考虑以下对本发明的优选实施方式的详细说明，本发明的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本发明的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：

图1是根据一示例性实施方式示出的一种吸附遮挡装置的主视图；

图2是图1示出的吸附遮挡装置的侧视图；

图3是图1示出的吸附遮挡装置的一片翻转片的立体结构图。

其中，附图标记说明如下：

100.盒体；

200.翻转片；

210.pi绒毛薄膜；

220.壁虎绒毛仿生膜；

310.齿条；

320.齿轮；

331.记忆合金弹片。

具体实施方式

体现本发明特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本发明。

在对本发明的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，所述附图形成本发明的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本发明的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本发明范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“上端部”、“下端部”、“之间”、“侧”等来描述本发明的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本发明的范围内。

吸附遮挡装置实施方式

参阅图1，图1中代表性地示出了能够体现本发明的原理的吸附遮挡装置的主视图。在该示例性实施方式中，本发明提出的吸附遮挡装置是以应用于蒸镀设备为例，进一步地，是以用于在蒸镀设备中吸附并遮挡有机材料粉末为例进行说明的。本领域技术人员容易理解的是，为将该吸附遮挡装置应用于其他设备，或将该吸附遮挡装置用于吸附并遮挡其他物质，而对下述的具体实施方式做出多种改型、添加、替代、删除或其他变化，这些变化仍在本发明提出的吸附遮挡装置的原理的范围内。

如图1所示，在本实施方式中，本发明提出的吸附遮挡装置主要包括盒体100、多片翻转片200以及连动机构。配合参阅图2和图3，图2中代表性地示出了吸附遮挡装置的侧视图，图3中代表性地示出了吸附遮挡装置的一片翻转片200(包括翻转片200两侧的齿轮320)的立体结构图。以下结合上述附图，对本发明提出的吸附遮挡装置的个主要组成部分的结构、连接方式和功能关系进行详细说明。

如图1所示，在本实施方式种，盒体100一面具有开口。其中，在本实施方式中，开口完全涵盖盒体100该面的全部位置，即盒体100的该面为开放结构。据此，以图1示出的盒体100该面大致呈长方形为例，开口的形状即大致呈长方形。

在其他实施方式中，盒体100该面亦可设计为其他形状，即开口的形状亦可为相对应的其他形状。再者，开口的形状并不限于与盒体100该面的形状完全相同，且开口的尺寸亦可小于盒体100该面的尺寸，均不以此为限。

如图1所示，在本实施方式种，多片翻转片200相互平行地排列于开口，每片翻转片200的正面设有吸附膜。具体而言，在本实施方式中，吸附膜的朝向于翻转片200的一面(即吸附膜与翻转片200的贴合面)优选采用壁虎绒毛仿生膜220，其能够真空环境中吸附在翻转片200上，并方便更换。并且，吸附膜的反向于翻转片200的一面(即暴露在外界环境中的吸附面)优选采用pi绒毛薄膜210(基于polyimidefilm，聚酰亚胺薄膜)，其能够吸附例如有机材料粉末等物质。另外，pi绒毛薄膜210具有优良的耐高低温性、电气绝缘性、粘结性、耐辐射性、耐介质性，能在-269℃-280℃的温度环境中长期使用，且可在400℃的高温环境中短时使用。

在其他实施方式中，翻转片200的正面和反面的材质并不限于本实施方式中的上述薄膜类型，且本实施方式中的两种薄膜亦不限于共同使用。

进一步地，在本实施方式中，pi绒毛薄膜210的绒毛直径可以优选为50μm～1000μm，绒毛长度可以优选为0.1㎜～1㎜，均不以此为限。

进一步地，在本实施方式中，吸附遮挡装置在吸附状态下和遮挡状态下，每两个相邻的翻转片200部分重叠。即，以翻转片200相对于壳体翻转的转轴与翻转片200的中心线重合(即齿轮320设于翻转片200一侧的中心位置)为例，翻转片200的宽度(即垂直于中心线方向的另一方向上的尺寸)略大于相邻两片翻转片200中心线的间距(即相邻翻转片200的间隔)。据此，能够消除吸附遮挡装置在遮挡状态(同时包括吸附状态)下，相邻翻转片200之间的缝隙，进一步减少有机材料粉末的飞升现象。

在本实施方式种，联动机构设于盒体100内且连接于各翻转片200，用以驱动各翻转片200同步翻转，使吸附遮挡装置在吸附状态和遮挡状态之间转换。其中，吸附遮挡装置在吸附状态下，联动机构驱动各翻转片200的正面朝外，并封闭开口。即各翻转片200上的pi绒毛薄膜210相对盒体100朝外暴露，以吸附外界环境中的例如有机材料粉末等物质。吸附遮挡装置在遮挡状态下，联动机构驱动各翻转片200的反面朝外，并封闭开口。即各翻转片200上的pi绒毛薄膜210相对朝向盒体100的内腔，以避免pi绒毛薄膜210已吸附到的有机材料粉末再次散落至外界环境中，而产生粉末飞升的现象，避免二次污染的发生。

具体而言，如图1至图3所示，在本实施方式中，联动机构主要包括两条齿条310、多个齿轮320以及驱动组件。具体而言，两条齿条310平行间隔地设于开口。多个齿轮320分别成对地设于多片翻转片200的两侧，每对齿轮320分别与两条齿条310啮合。驱动组件连接于齿条310，用以驱动齿条310移动，而使齿条310带动各翻转片200同步翻转。承上，当采用相互配合的齿条310和齿轮320组成联动机构时，能够实现多片翻转片200的同步翻转，且结构简单，便于布置和维护。

在其他实施方式中，基于齿条310与齿轮320配合的设计，齿条310的数量亦可为一条，且设于多片翻转片200的其中一侧。相应地，多个齿轮320的布置可采用分别设置在多片翻转片200对应于齿条310的一侧的方式。即，通过齿条310与各片翻转片200相同一侧的各齿轮320的啮合，实现利用齿条310移动带动各翻转片200同步翻转的功能。此时，各翻转片200未设置齿轮320的另一侧可以例如通过轴件等方式可转动地连接于壳体，并不以此为限。

进一步地，基于齿条310与齿轮320的设计，由于盒体100开口的对应于齿轮320的位置无法被翻转片200遮挡，在本实施方式中，盒体100的开口可保留对应于两列齿轮320上方的盒体100该面的部分结构。即，两列齿轮320(包括齿条310)并不露出于开口，开口的尺寸和形状与各翻转片200同步翻转至正面或反面时的重叠后的尺寸和形状相同。据此，能够基本杜绝吸附遮挡装置在遮挡状态下有机材料粉末的飞升现象。

如图1和图2所示，在本实施方式中，驱动组件主要包括记忆合金弹片331以及加热装置。具体而言，记忆合金弹片331连接于盒体100与齿条310的一端部之间。加热装置用于加热记忆合金弹片331。承上，利用记忆合金弹片331受热变形的特性(即加热时恢复高温相形状，冷却后恢复低温相形状)，当加热装置对记忆合金弹片331进行加热时，记忆合金弹片331由原始长度伸长至一预设工作长度，当加热装置不工作时，记忆合金弹片331降温并回复为原始长度。据此，利用加热装置控制记忆合金弹片331伸缩而带动齿条310移动，从而实现多片翻转片200的同步翻转。在本实施方式中，记忆合金弹片331可以优选为两个，且分别连接于两条齿条310的端部与盒体100之间。另外，加热装置可为一个或分别对应两个记忆合金弹片331的两个，且应优先考虑两个记忆合金弹片331的受热一致性。

在其他实施方式中，当仅设置一条齿条310时，基于记忆合金弹片331与加热装置的设计，记忆合金弹片331相应地仅需设置一个。另外，驱动组件亦可采用其他装置或组件，以驱动齿条310移动，并不以本实施方式中的上述设计为限。

进一步地，在本实施方式中，记忆合金弹片331的最大伸长长度(即预设工作长度与原始长度的长度差值)等于齿轮320的周长的一半。据此，基于记忆合金弹片331受热伸长而产生的齿条310移动距离，是等于齿轮320的周长的一半，即记忆合金弹片331受热伸长至最大长度(预设工作长度)后，齿轮320刚好由齿条310带动旋转半周，翻转片200则刚好为正面相对盒体100朝外，反之亦然。

驱动组件包括分别连接于两条齿条310的两个记忆合金弹片331，加热装置同时加热两个记忆合金弹片331(亦可利用两个加热装置分别加热两个记忆合金弹片331)，以使两个记忆合金弹片331的温度同步转变，而使两条齿条310同步移动。当采用记忆合金弹片331和加热装置组成驱动组件时，能够利用记忆合金弹片331受热形变的特性和加热装置的加热，实现驱动齿条310移动的功能。

进一步地，如图1和图2所示，在本实施方式中，记忆合金弹片331可以优选为呈片状结构。在其他实施方式中，记忆合金弹片331亦可选用例如螺旋状结构(即记忆合金弹簧)的其他结构。

进一步地，在本实施方式中，记忆合金弹片331的材质可以优选为铜锌铝合金，即cu-zn-al，其转变温度范围为65℃-85℃，属于较容易实现的温度范围。在其他实施方式中，记忆合金弹片331的材质亦可选择其他种类的合金，且具体材质可根据所需的转变温度范围灵活选择，例如fe-pt、ti-ni、ti-ni-pd、ti-nb、u-nb、fe-mn-si、au-cd、ag-cd、cu-zn、cu-zn-sn、cu-zn-al、cu-zn-si、cu-sn、cu-zn-ga、in-ti、au-cu-zn和nial等，以上材质的转变温度范围大致涵盖了50℃-600℃的温度范围。

进一步地，在本实施方式中，加热装置由控制器控制(可将加热装置连接于控制器)。该控制器可以整合在蒸镀设备的控制系统中，且可通过控制系统的外部操作界面进行控制操作，以控制加热设备。在其他实施方式中，亦可设置单独的外部操作界面，用于控制加热装置，并不以此为限。

综上所述，本发明提出的吸附遮挡装置，通过连动机构带动多片翻转片同步翻转的设计，使吸附遮挡装置能够在吸附状态和遮挡状态之间转换。吸附状态下，各翻转片的正面朝外且封闭盒体的开口，以利用翻转片正面的吸附膜吸附有机材料粉末。遮挡状态下，各翻转片的反面朝外且封闭盒体的开口，以将吸附状态下吸附到的有机材料粉末遮挡在盒体中，避免有机材料粉末的飞升。

在此应注意，附图中示出而且在本说明书中描述的吸附遮挡装置仅仅是能够采用本发明原理的许多种吸附遮挡装置中的一个示例。应当清楚地理解，本发明的原理绝非仅限于附图中示出或本说明书中描述的吸附遮挡装置的任何细节或吸附遮挡装置的任何部件。

蒸镀设备实施方式

在本实施方式中，本发明提出的蒸镀设备是以应用于oled发光层制作工艺中的蒸镀设备为例进行说明的。本领域技术人员容易理解的是，为将该蒸镀设备应用于其他制作工艺或领域中，而对下述的具体实施方式做出多种改型、添加、替代、删除或其他变化，这些变化仍在本发明提出的蒸镀设备的原理的范围内。

在本实施方式中，本发明提出的蒸镀设备主要包括蒸镀腔和吸附遮挡装置。具体而言，蒸镀腔内设有本发明提出的吸附遮挡装置。据此，当蒸镀设备进行蒸镀作业时，吸附遮挡装置转换为吸附状态，对蒸镀作业中产生的有机材料粉末进行吸附。当蒸镀设备完成蒸镀作业时，吸附遮挡装置转换为封闭状态，将在蒸镀作业中吸附到的有机材料粉末遮挡在盒体内腔中，避免蒸镀设备进行其他制程时产生有机材料粉末飞升的现象。

进一步地，在本实施方式中，吸附遮挡装置的盒体可以优选为经由蒸镀腔的腔壁凹陷形成。据此，吸附遮挡装置的多个翻转片、联动机构和驱动组件是设于蒸镀腔的腔壁所形成的凹陷结构中。在其他实施方式中，亦可为吸附遮挡装置设置独立于蒸镀腔或其他使用环境的盒体，并将盒体安装到蒸镀腔的腔壁。

另外，在本实施方式中，吸附遮挡装置位于蒸镀腔的例如侧壁和顶部等多个可选择的位置。对于吸附遮挡装置在蒸镀腔内的设置位置的选择，可综合考虑吸附遮挡装置不与蒸镀设备的其他结构干涉并实现较佳的吸附效果等因素。

综上所述，本发明提出的蒸镀设备，通过将本发明提出的吸附遮挡装置设置在蒸镀设备的蒸镀腔内，能够在蒸镀作业时，利用吸附遮挡装置吸附作业过程中的有机材料粉末，同时在完成蒸镀作业时，利用吸附遮挡装置将吸附到的有机材料粉末遮挡在盒体内，避免有机材料粉末在蒸镀设备的其他制程中飞升而造成二次污染。

在此应注意，附图中示出而且在本说明书中描述的蒸镀设备仅仅是能够采用本发明原理的许多种蒸镀设备中的一个示例。应当清楚地理解，本发明的原理绝非仅限于附图中示出或本说明书中描述的蒸镀设备的任何细节或蒸镀设备的任何部件。

以上详细地描述和/或图示了本发明提出的吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备的示例性实施方式。但本发明的实施方式不限于这里所描述的特定实施方式，相反，每个实施方式的组成部分和/或步骤可与这里所描述的其它组成部分和/或步骤独立和分开使用。一个实施方式的每个组成部分和/或每个步骤也可与其它实施方式的其它组成部分和/或步骤结合使用。在介绍这里所描述和/或图示的要素/组成部分/等时，用语“一个”、“一”和“上述”等用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等。术语“包含”、“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。

虽然已根据不同的特定实施例对本发明提出的吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备进行了描述，但本领域技术人员将会认识到可在权利要求的精神和范围内对本发明的实施进行改动。