一种坩埚的制作方法

本文涉及但不限于蒸镀技术，尤指一种坩埚。

背景技术：

现有的坩埚包括埚体和埚盖，埚体和埚盖均呈矩形状，坩埚的任一侧边上均锁紧有多个螺栓，螺栓用于锁紧埚体和埚盖在一起。由于坩埚的使用温度较高，故在埚体和埚盖之间不能设置诸如硅胶、橡胶等的密封垫进行密封，当前采用的密封方式为：埚体的口沿的平面与埚盖的下端面相压紧实现密封，这就要求螺栓的锁紧力较大。

其中，螺栓的螺帽直接抵压在埚盖上，当用力拧螺栓时，螺栓的螺帽与埚盖产生摩擦，随着拆装次数的增加，螺栓会将埚盖上的穿插孔(圆形状)的上端面压凹陷而向穿插孔内侧凸起(穿插孔的孔壁发生变形而呈非圆形状)，此种情况下螺栓不容易完全穿过穿插孔，也就是螺旋不能在埚体上旋紧到位，这时埚体和埚盖之间就会出现缝隙而导致泄漏，进而发生宕机问题。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题中的至少之一，本文提供了一种坩埚，能够更好地封堵住埚体和埚盖之间的缝隙，避免随着拆装次数的增加而在埚体和埚盖之间出现泄漏的问题，其实用性更好。

为了达到本文目的，本实用新型提供了一种坩埚，包括：具有埚口的埚体；埚盖，盖装在所述埚口处、并通过螺栓与所述埚体锁紧连接在一起；和可发生热膨胀的金属件，设置于所述埚体和所述埚盖之间，并在受热时通过自身膨胀来消除所述埚体和所述埚盖之间的缝隙。

可选地，所述埚体上设置有容纳槽，所述埚盖同时还覆盖所述容纳槽的槽口，所述金属件位于所述容纳槽内；其中，所述金属件受热膨胀时同时压紧所述容纳槽的槽壁和所述埚盖。

可选地，所述金属件和所述容纳槽均呈环形状。

可选地，所述金属件与所述埚盖为一体式结构。

可选地，所述埚盖上设置有T形的插槽，所述埚体的外侧面上凸出有两插筋，所述埚体通过两所述插筋可推拉地插装于所述插槽内，所述金属件位于所述插筋和所述插槽的槽壁之间；其中，所述金属件受热膨胀时同时压紧所述插筋和所述插槽的槽壁。

可选地，所述埚口位于所述埚体的上部，所述金属件设置于所述插筋的下端面与所述插槽的槽壁之间；其中，所述金属件受热膨胀时同时压紧所述插筋和所述插槽的槽壁，以使得所述埚口的口沿压紧在所述埚盖的下端面上。

可选地，所述金属件上设置有供所述螺栓穿过的通孔。

可选地，所述坩埚还包括：金属垫片，设置于所述螺栓的螺帽和所述埚体之间。

可选地，所述埚体和所述埚盖均呈矩形状，所述金属垫片呈长条形状。

可选地，所述金属件的材质为铝合金，所述金属垫片的材质为白钢。

与现有技术相比，本实用新型提供的坩埚，埚体和埚盖之间设置有可发生热膨胀的金属件，金属件在受热时通过自身的膨胀来挤压埚体和埚盖，以此来消除埚体和埚盖之间的缝隙，使得埚体和埚盖更好地实现密封，避免出现泄漏的问题，防止宕机；另外坩埚在锁紧螺栓时螺栓的锁紧力也不需要特别大，更方便于组装，同时还能够减少埚盖与螺帽因旋紧挤压而带来的磨损，而蒸镀时螺栓会通过金属件的膨胀对锁紧力进行提升补偿、来保证密封，其实用性更好。

而且，坩埚在冷却后进行拆卸时，金属件也因冷却而收缩，螺栓的螺帽受到的推力减小，更容易拧松拆卸下来。

本文的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本文而了解。本文的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本文技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本文的技术方案，并不构成对本文技术方案的限制。

图1为本实用新型一个实施例所述的坩埚的结构示意图；

图2为本实用新型另一个实施例所述的坩埚的结构示意图；

图3为本实用新型再一个实施例所述的坩埚的结构示意图；

图4为图2所示的坩埚中金属垫片的结构示意图。

其中，图1至图4中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

1埚体，2埚盖，3螺栓，4金属件，5容纳槽，6插槽，7插筋，8金属垫片，9连接管嘴。

具体实施方式

为使本文的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本文的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本文，但是，本文还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施，因此，本文的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面结合附图描述本文一些实施例的坩埚。

本实用新型提供的坩埚，如图1至图3所示，包括：具有埚口的埚体1；埚盖2，盖装在所述埚口处、并通过螺栓3与所述埚体1锁紧连接在一起；和可发生热膨胀的金属件4，设置于所述埚体1和所述埚盖2之间，并在受热时通过自身膨胀来消除所述埚体1和所述埚盖2之间的缝隙。

本实用新型提供的坩埚，埚体1和埚盖2之间设置有可发生热膨胀的金属件4，金属件4在受热时通过自身的膨胀来挤压埚体1和埚盖2，以此来消除埚体1和埚盖2之间的缝隙，使得埚体1和埚盖2更好地实现密封，避免在蒸镀时发生泄漏，防止出现宕机问题；另外坩埚在锁紧螺栓3时螺栓3的锁紧力也不需要特别大，更方便于组装，同时还能够减少埚盖2与螺帽因旋紧挤压而带来的磨损，而蒸镀时螺栓会通过金属件4的膨胀对锁紧力进行提升补偿、来保证密封，其实用性更好。

而且，坩埚在冷却后进行拆卸时，金属件4也因冷却而收缩，会减少对埚体1和埚盖2的挤压力，螺栓3的螺帽受到的推力减小，更容易拧松拆卸下来。

本实用新型的一个实施例中，如图1和图2所示，所述埚体1上设置有容纳槽5，所述埚盖2同时还覆盖所述容纳槽5的槽口，所述金属件4位于所述容纳槽5内；其中，所述金属件4受热膨胀时同时压紧所述容纳槽5的槽壁和所述埚盖2，对埚盖2的下表面和埚体1的埚口的口沿之间的缝隙进行封堵，避免蒸镀时在该缝隙处发生泄漏，更好地确保蒸镀工艺正常进行，防止出现宕机问题，容纳槽5的深度优选为5mm、6mm或7mm。

具体地，埚体1的埚口朝上，容纳槽5设置在埚口的口沿上，埚盖2盖装在埚体1上、并同时覆盖容纳槽5，金属件4设置于容纳槽5内，然后再旋紧好螺栓3。金属件4和容纳槽5均呈环形状，金属件4受热后发生膨胀，胀满容纳槽5，金属件4的上端因膨胀而压紧在埚盖2的下端面上，以此种方式实现封堵住埚体1和埚盖2之间的缝隙。

当然，金属件4与埚盖2也可以设置为一体式结构，也可实现本申请的目的，其宗旨未脱离本实用新型的设计思想，在此不再赘述，也应属于本申请的保护范围内。

本实用新型的另一个实施例中，如图3所示，所述埚盖2上设置有T形的插槽6，所述埚体1的外侧面上凸出有两插筋7，所述埚体1通过两所述插筋7可推拉地插装于所述插槽6内，所述金属件4位于所述插筋7和所述插槽6的槽壁之间；其中，所述金属件4受热膨胀时同时压紧所述插筋7和所述插槽6的槽壁，以此来消除所述埚体1和所述埚盖2之间的缝隙。

如：埚口位于埚体1的上部，金属件4呈板状、并覆盖在埚体1的埚口处(此方案图中未示出)，金属件4受热时膨胀而压紧在埚体1的口沿和埚盖2的下端面之间，以此种方式来封堵埚体1和埚盖2之间的缝隙。

还可以是：如图3所示，所述埚口位于所述埚体1的上部，所述金属件4呈长条形状、且设置于所述插筋7的下端面与所述插槽6的槽壁之间；其中，所述金属件4受热膨胀时同时压紧所述插筋7和所述插槽6的槽壁，以使得所述埚口的口沿压紧在所述埚盖2的下端面上，实现消除所述埚体1和所述埚盖2之间的缝隙，防止在蒸镀时出现坩埚泄漏问题。

其中，所述金属件4和所述插筋7上均设置有供所述螺栓3穿过的通孔，以在锁紧螺栓3时供螺栓3穿过，同时螺栓3会对金属件4起到定位的作用，防止金属件4受热膨胀后发生错位降低坩埚密封性。

本实用新型的再一个实施例中，如图2和图4所示，所述坩埚还包括：金属垫片8，设置于所述螺栓3的螺帽和所述埚体1之间，金属垫片8的刚性较好，而且相对于螺帽与埚盖2的接触面积较大，这样锁紧螺栓3时就不会损坏埚盖2上的穿插孔，至多导致金属垫片8变形或损坏，此种情况下可通过维修或者是更换金属垫片8的方式来确保坩埚正常使用。

其中，所述埚体1和所述埚盖2均呈矩形状，所述金属垫片8呈长条形状、且包括对称设置的两个，为了保证坩埚各个位置均不出现泄漏问题，坩埚的两侧均设置有多个螺栓3，金属垫片8上对应设置有多个供螺栓3穿过的孔或缺口。所述埚盖2的上端面上设置有定位金属垫片8的台阶结构。

较好地，所述金属件4的材质优选为铝合金，其熔点较高、热膨胀性较好，所述金属垫片8的材质优选为白钢，其强度较好。

较好地，如图1至图3所示，所述埚盖2上设置有连接管嘴(即：Nozzle)。

综上所述，本实用新型提供的坩埚，埚体和埚盖之间设置有可发生热膨胀的金属件，金属件在受热时通过自身的膨胀来挤压埚体和埚盖，以此来消除埚体和埚盖之间的缝隙，使得埚体和埚盖更好地实现密封，避免出现泄漏的问题，防止宕机；另外坩埚在锁紧螺栓时螺栓的锁紧力也不需要特别大，更方便于组装，同时还能够减少埚盖与螺帽因旋紧挤压而带来的磨损，而蒸镀时螺栓会通过金属件的膨胀对锁紧力进行提升补偿、来保证密封，其实用性更好。

而且，坩埚在冷却后进行拆卸时，金属件也因冷却而收缩，螺栓的螺帽受到的推力减小，更容易拧松拆卸下来。

在本文的描述中，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本文中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本文的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

虽然本文所揭露的实施方式如上，但所述的内容仅为便于理解本文而采用的实施方式，并非用以限定本文。任何本文所属领域内的技术人员，在不脱离本文所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化，但本文的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。