一种坩埚及其坩埚护板的制作方法

文档序号:10364019阅读:406来源:国知局
一种坩埚及其坩埚护板的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及多晶铸锭技术领域,更具体地说,涉及一种坩祸及其坩祸护板。
【背景技术】
[0002]目前,随着多晶铸锭技术的发展,一部分厂家的铸锭炉热场结构从G5热场结构时代走向G6热场结构时代,但是由于热场结构技改的成本问题,一部分厂家仍然使用G5热场结构,一部分厂家更换为G6热场结构,然而,G5热场结构与G6热场结构由于i甘祸尺寸不同,导致使用的坩祸护板尺寸不同,对于同时使用G5和G6坩祸的厂家来说,G5坩祸和G6坩祸的不通用导致其互换性和利用率都降低。同时,随着对硅片产品要求提高,大多数厂家开始引进大尺寸樹祸来消除娃片的红边,正常G6i甘祸的尺寸通常为长度范围在1040mm-1050mm,而大尺寸G6i甘祸的尺寸通常为长度范围为1050mm-1065mm之间,大尺寸G6i甘祸的增加,导致正常G6坩祸的护板上腰形孔不能满足使用。提高了互换性和利用率。
[0003]综上所述,如何有效地解决在热场结构的更换中,坩祸护板的使用率和互换性低的问题,是目前本领域技术人员急需解决的问题。
【实用新型内容】
[0004]为解决上述技术问题,本实用新型提供一种坩祸护板,能够提高坩祸护板的利用率以及普适性。
[0005]为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
[0006]一种坩祸护板,设置于坩祸的外侧面,包括:沿所述坩祸四周布置的四个板体,所述板体一侧的表面上设置有至少两排安装孔,所述至少两排安装孔均在与所述坩祸底边垂直的方向上排列,所述板体另一侧的端面上设置有用于与相邻板体的一排安装孔固定连接的螺纹孔。
[0007]优选的,在上述坩祸护板中,所述板体一侧的表面上设置有与所述板体另一侧距离范围为880mm-1040mm的第一排安装孔、与所述板体另一侧距离范围为1040mm-1050mm的第二排安装孔,与所述板体另一侧距离范围为1050mm-1065mm的第三排安装孔。
[0008]优选的,在上述坩祸护板中,所述安装孔为腰型孔。
[0009]优选的,在上述坩祸护板中,所述第一排安装孔、第二排安装孔与所述第三排安装孔平行设置。
[0010]优选的,在上述坩祸护板中,所述第一排安装孔、第二排安装孔与所述第三排安装孔相错设置。
[0011]本实用新型还提供一种坩祸,包括如上述任一项所述的坩祸护板。
[0012]从上述技术方案可以看出,本实用新型所提供的一种坩祸护板,设置于坩祸的外侧面,包括:沿所述坩祸四周布置的四个板体,所述板体一侧的表面上设置有至少两排安装孔,所述至少两排安装孔均在与所述坩祸底边垂直的方向上排列,所述板体另一侧的端面上设置有用于与相邻板体的一排安装孔固定连接的螺纹孔。在使用本实用新型提供的坩祸护板时,四个板体两两相邻连接将坩祸四周包围,针对不同尺寸的坩祸,在板体表面设置有不同的安装孔,一排安装孔对应一种尺寸的坩祸,随着坩祸大小的更换,无需更换板体,只需要利用板体上不同的安装孔即可,使得同一坩祸护板能够应用于不同坩祸,提高了坩祸护板的利用率以及普适性。
【附图说明】
[0013]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0014]图1为本实用新型实施例提供的一种坩祸护板的结构示意图;
[0015]图2为本实用新型实施例提供的一种坩祸结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0017]请参阅图1,图1为本实用新型实施例提供的一种坩祸护板的结构示意图。
[0018]在一种【具体实施方式】中,提供一种坩祸护板,设置于坩祸的外侧面,包括:沿所述坩祸四周布置的四个板体01,所述板体01—侧的表面上设置有至少两排安装孔02,所述至少两排安装孔02均在与所述坩祸底边垂直的方向上排列,所述板体01另一侧的端面上设置有用于与相邻板体的一排安装孔固定连接的螺纹孔03。具体的,四块板体01首尾两两相连,如第一块板体一侧的表面的一排安装孔02与相邻的第二块板体的一侧端面的螺纹孔03相配合,第二块板体另一侧的安装孔02与第三块板体的螺纹孔03配合,第三块板体另一侧的安装孔02与第四块板体的螺纹孔03配合,第四块板体另一侧的安装孔02与第一块板体的螺纹孔03连接。如此,四块板将坩祸四周包围,针对不同尺寸的坩祸,在板体表面设置有不同的安装孔,一排安装孔对应一种尺寸的坩祸,随着坩祸大小的更换,无需更换板体,只需要利用板体上不同的安装孔即可,使得同一坩祸护板能够应用于不同坩祸,提高了坩祸护板的利用率以及普适性。
[0019]需要指出的是,坩祸护板上的螺纹孔03无论是哪一排的安装孔均是通用的,考虑到螺纹孔03的通用性,螺纹孔03的数量应该大于或者等于任一排的安装孔02数量,并且与每一排的安装孔--对应。
[0020]进一步的,在上述坩祸护板中,所述板体01—侧的表面上设置有与所述板体01另一侧距离范围为880mm-1040mm的第一排安装孔、与所述板体另一侧距离范围为1040mm-1050mm的第二排安装孔,与所述板体01另一侧距离范围为1050臟-10651111]1的第三排安装孔。由于现有的坩祸种类大体分为G5坩祸、G6正常尺寸坩祸以及G6大尺寸坩祸,其中G5坩祸底边宽的范围为880mm-1040mm,G6正常尺寸坩祸底边宽的范围为1040mm-1050mm,G6大尺寸坩祸1050mm-1065mm,因此将安装孔与不同尺寸坩祸进行对应,使得坩祸护板可以同时使用在G5和G6坩祸的安装上,从而提高G5和G6坩祸护板的通用性和互换性。
[0021]进一步的,所述安装孔02为腰型孔。为了使板体01相互位置达到理想的位置或为了便于板体OI的位置的调整,安装孔02优选采用腰形孔设计。当然,安装孔02可以根据需要选择其它类型的安装孔,均在保护范围之内。
[0022]请参阅图2,图2为本实用新型实施例提供的一种坩祸结构示意图。
[0023]进一步的,所述第一排安装孔、第二排安装孔与所述第三排安装孔平行设置。例如,第一排安装孔的第一个安装孔与第二排安装孔的第一个安装孔以及第三排安装孔的第一个安装孔平行,在同一直线上,以此类推其它安装孔。也可以为第一排安装孔中第一个安装孔与第三排安装孔的第一个安装孔平行,与第二排安装孔中的第一个安装孔不在一条直线上。
[0024]进一步的,所述第一排安装孔、第二排安装孔与所述第三排安装孔相错设置。如图2所示,第二排安装孔与第三排安装孔的每一个安装孔相互错位,即相互穿插,第二排安装孔的第一个安装孔下为第三排安装孔的第一个安装孔,依次类推,不再赘述。
[0025]需要指出的是,安装孔02的设置包括但不局限上述的平行或者错位以及安装孔02之间的间距可以根据需要任意设置,均在保护范围之内。
[0026]本实用新型还提供一种坩祸,包括如上述任一项所述的坩祸护板01。坩祸包括坩祸盖板04、坩祸护板01以及坩祸底板03,坩祸盖板设置于坩祸的顶部,坩祸护板01设置于坩祸四周外侧面,坩祸底板05设置于坩祸底部,坩祸护板01可设置于坩祸底板05上。同一坩祸护板01能够应用于不同坩祸,提高了坩祸护板01的利用率以及普适性。
[0027]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
[0028]对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
【主权项】
1.一种坩祸护板,设置于坩祸的外侧面,其特征在于,包括:沿所述坩祸四周布置的四个板体,所述板体一侧的表面上设置有至少两排安装孔,所述至少两排安装孔均在与所述坩祸底边垂直的方向上排列,所述板体另一侧的端面上设置有用于与相邻板体的一排安装孔固定连接的螺纹孔。2.如权利要求1所述的坩祸护板,其特征在于,所述板体一侧的表面上设置有与所述板体另一侧距离范围为880mm-1040mm的第一排安装孔、与所述板体另一侧距离范围为1040mm-1050mm的第二排安装孔,与所述板体另一侧距离范围为1050mm-1065mm的第三排安装孔。3.如权利要求2所述的坩祸护板,其特征在于,所述安装孔为腰型孔。4.如权利要求2至3任一项所述的坩祸护板,其特征在于,所述第一排安装孔、所述第二排安装孔与所述第三排安装孔平行设置。5.如权利要求2至3任一项所述的坩祸护板,其特征在于,所述第一排安装孔、所述第二排安装孔与所述第三排安装孔相错设置。6.一种坩祸,其特征在于,包括如权利要求1至5任一项所述的坩祸护板。
【专利摘要】本申请公开了一种坩埚护板,设置于坩埚的外侧面,包括:沿所述坩埚四周布置的四个板体,所述板体一侧的表面上设置有至少两排安装孔,所述至少两排安装孔均在与所述坩埚底边垂直的方向上排列,所述板体另一侧的端面上设置有用于与相邻板体的一排安装孔固定连接的螺纹孔。在使用本实用新型提供的坩埚护板时,四个板体两两相邻连接将坩埚四周包围,针对不同尺寸的坩埚,在板体表面设置有不同的安装孔,一排安装孔对应一种尺寸的坩埚,随着坩埚大小的更换,无需更换板体,只需要利用板体上不同的安装孔即可,使得同一坩埚护板能够应用于不同坩埚,提高了坩埚护板的利用率以及普适性。本申请还公开了一种具有上述坩埚护板的坩埚。
【IPC分类】C30B28/06
【公开号】CN205275777
【申请号】CN201520881972
【发明人】陈伟, 陈志军, 肖贵云, 金浩
【申请人】晶科能源有限公司, 浙江晶科能源有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年11月6日
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1