技术总结
提供了一种供应系统，该供应系统能够将固体材料前体或液体材料前体以指定浓度或更高但不是大于必需浓度的浓度供应至后面工艺。供应系统1包括：容器11，其用于储存前体材料；容器加热单元，其用于在设定温度下加热该容器；载气加热单元，其被布置在引入管线L1中并且用于加热载气；主测量单元，其被布置在排出管线L2中并且用于获得与前体气体相关的数据；以及载气温度控制部分，其用于基于该主测量单元的测量结果控制该载气加热单元的温度。
技术研发人员：中川利幸;森本孝贵;柳田和孝;亀冈崇史;熊本佑规;铃木一马;后藤三树夫
受保护的技术使用者：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
技术研发日：2017.03.28
技术公布日：2018.10.23