技术总结
本发明提供了一种高硬度和高耐蚀性高熵合金氮化物涂层，其分子式为(AlCrTiZrNbV)N。本发明还提供了上述涂层的制备方法首先对基体进行清洗，然后进行离子清洗；将上述处理后的基体送到溅射室进行沉积TiN过渡层，Ti靶材由直流阴极控制，沉积100－200nm的TiN过渡层；然后在TiN过渡层上沉积TiAlN过渡层，在TiAlN过渡层上沉积(AlCrTiZrNbV)N层。本发明所得(AlCrTiZrNbV)N涂层不但具有超过35GPa的高硬度，而且具有优良的耐腐蚀性。该涂层生产工艺简单、沉积速度快、成本低等特点，并且具有生产效率高、能耗低，对设备要求较低的优点。
技术研发人员：冯利民;李伟
受保护的技术使用者：上海新弧源涂层技术有限公司
技术研发日：2018.01.30
技术公布日：2018.06.29