技术特征：
技术总结
本发明属于超精密加工技术领域，具体涉及一种金属平面研磨装置，为解决两块大口径金属块贴合后的配合不平而导致的漏气问题，本方案采用小研磨头配合摆动研磨大口径器件的方法，将磨头误差均布到整个平面上，误差呈圆对称分布；大口径黏性金属平面研磨装置由转台、研磨盘、高速转动装置以及摆动装置组成，使用本装置研磨处理过的磨具金属平面平面度最低可以到0.002mm，双平面配合后气密性好，可有效减小注塑产品毛边，提高产品的合格率。
技术研发人员：任建锋;倪颖;黄启泰;王毅
受保护的技术使用者：苏州大学
技术研发日：2018.04.26
技术公布日：2018.08.10