技术总结
本实用新型公开了一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备,包括真空室和箱体,所述箱体位于真空室外部一侧,所述真空室内部上侧设有高能离子源,所述高能离子源一侧设有低能离子源,所述真空室底部连接加温室,所述加温室内部上侧连接加温管道,所述加温管道底部设有暖风机。本实用新型通过设置真空度检测仪和滑动板,有效的避免真空室中空气的就进入,有效的营造良好的真空环境,通过设置暖风机和加温管道,有效的帮助离子束在沉积的过程中起到加温蒸发的作用,有效的提升离子束辅助沉积光通信薄膜设备的工作效率,通过设置减震器,有效的减少暖风机在工作时产生的震动。
技术研发人员:罗国星;华秀菊;周培
受保护的技术使用者:深圳正和捷思科技有限公司
技术研发日:2018.03.19
技术公布日:2018.11.20