一种银铝合金晶振片镀膜装置的制作方法

本实用新型涉及一种镀膜装置，特别涉及一种银铝合金晶振片镀膜装置。

背景技术：

在石英片上镀上金属导电膜层，用作金属导电膜层的材料主要是金、银、铝和铜，用铝作导电层的晶振片具有最好的抗应力效果，但是铝这种材质过于柔软，易刮伤和氧化，而且对比金、银和铜，铝的阻抗大，其导电率和热导率都较低。

采用银铝合金既提高了晶振片的抗应力效果，又克服了铝晶振片中阻抗较大，电导率和热导率都较低的不足，传统的银铝合金镀膜工艺是把银和铝按一定比例放在钼舟或坩埚中加热在真空环境中蒸镀在石英片上，但是，在放置或拿取过程中，真空仓内会进入灰尘，并且在镀膜过程中温度过高，容你发生危险。为此，我们提出一种银铝合金晶振片镀膜装置。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的在于提供一种银铝合金晶振片镀膜装置，通过真空机，可有效的抽取真空仓内的空气，通过冷却机，可有效的降低真空仓内的温度，提高安全效率，通过空气净化机，可有效的提高真空仓内优质缓解，提高良品率，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种银铝合金晶振片镀膜装置，包括真空仓、固定架、托板、固定槽、蒸发舟、加热棒、电机、挡板和保护罩，所述真空仓内腔顶部固定设置有固定架，所述固定架底部一侧活动设置有托板，且托板通过固定槽与固定架连接，所述真空仓底部固定设置有蒸发舟，且蒸发舟与托板相对应，所述蒸发舟两侧均固定设置有加热棒，所述真空仓内壁底部固定设置有保护罩，且保护罩固定设置有电机，所述电机顶部固定设置有挡板，且挡板通过转轴与电机连接，所述真空仓外壁顶部一侧固定设置有真空机，所述真空机一侧固定设置有连接管，所述真空仓外壁底部一侧固定设置有冷却机，所述真空仓外壁底部另一侧固定设置有空气净化机，所述真空仓内壁表面固定设置有循环管。

进一步地，所述真空仓顶部设置有控制器。

进一步地，所述冷却机通过出水管与循环管一端连接，所述冷却机通过进水管与循环管另一端连接。

进一步地，所述空气净化机通过进气管与真空仓内部连接，所述空气净化机通过出气管与真空仓内部连接，所述连接管、进气管和出气管一端均固定设置有防渗透器。

进一步地，所述加热棒、电机、真空机、冷却机和空气净化机均通过导线与控制器电性连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.通过真空仓，可有效的为银铝合金晶振片镀膜装置提供坚实的外壳，保护内部的设备安全运行，通过固定架和固定槽，可有效的固定托板。

2.通过托板，可有效的为晶振片提供附着点，使得晶振片在镀膜过程中更加稳固，通过空气净化机、进气管和出气管，可有效的对真空仓内的空气进行净化除尘，为晶振片镀膜提供优质的环境。

3.通过真空机，可有效的抽取真空仓内的气体，使得真空仓内为真空，通过电机，可有效的控制电机将挡板移动到蒸发舟上方。

4.通过加热棒，可有效的加热蒸发舟，蒸发舟在达到足够的动能时，离子在蒸发舟和挡板之间运动，当离子有足够的能量时，控制电机移动挡板，使得对托板上的晶振片进行镀膜，使得镀膜更加均匀，提高良品率。

5.通过冷却机、出水管、进水管和循环管，可有效的对真空仓内降温，保护了真空仓内镀膜过程的安全，通过控制器，可有效的控制电器设备的运行，通过防渗透器，可有效的防止气体回流，保持了真空仓内为真空，进一步的提高镀膜良品率。

附图说明

图1为本实用新型用于一种银铝合金晶振片镀膜装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型用于一种银铝合金晶振片镀膜装置的固定架结构示意图。

图中：1、真空仓；2、固定架；3、托板；4、固定槽；5、蒸发舟；6、加热棒；7、电机；8、挡板；9、控制器；10、真空机； 11、连接管；12、防渗透器；13、冷却机；14、出水管；15、进水管；16、空气净化机；17、进气管；18、出气管；19、保护罩；20、循环管。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-2所示，一种银铝合金晶振片镀膜装置，包括真空仓 1、固定架2、托板3、固定槽4、蒸发舟5、加热棒6、电机7、挡板8和保护罩19，所述真空仓1内腔顶部固定设置有固定架2，所述固定架2底部一侧活动设置有托板3，且托板3通过固定槽4 与固定架2连接，所述真空仓1底部固定设置有蒸发舟5，且蒸发舟5与托板3相对应，所述蒸发舟5两侧均固定设置有加热棒 6，所述真空仓1内壁底部固定设置有保护罩19，且保护罩19固定设置有电机7，所述电机7顶部固定设置有挡板8，且挡板8 通过转轴与电机7连接，所述真空仓1外壁顶部一侧固定设置有真空机10，所述真空机10一侧固定设置有连接管11，所述真空仓1外壁底部一侧固定设置有冷却机13，所述真空仓1外壁底部另一侧固定设置有空气净化机16，所述真空仓1内壁表面固定设置有循环管20。

其中，所述真空仓1顶部设置有控制器9。

其中，所述冷却机13通过出水管14与循环管20一端连接，所述冷却机13通过进水管15与循环管20另一端连接。

其中，所述空气净化机16通过进气管17与真空仓1内部连接，所述空气净化机16通过出气管18与真空仓1内部连接，所述连接管11、进气管17和出气管18一端均固定设置有防渗透器 12。

其中，所述加热棒6、电机7、真空机10、冷却机13和空气净化机16均通过导线与控制器9电性连接。

需要说明的是，本实用新型为一种银铝合金晶振片镀膜装置，工作时，通过真空仓1，可有效的为银铝合金晶振片镀膜装置提供坚实的外壳，保护内部的设备安全运行，通过固定架2和固定槽4，可有效的固定托板3，通过托板3，可有效的为晶振片提供附着点，使得晶振片在镀膜过程中更加稳固，通过空气净化机16、进气管17和出气管18，可有效的对真空仓1内的空气进行净化除尘，为晶振片镀膜提供优质的环境，通过真空机10，可有效的抽取真空仓1内的气体，使得真空仓1内为真空，通过电机7，可有效的控制电机7将挡板8移动到蒸发舟5上方，通过加热棒 6，可有效的加热蒸发舟5，蒸发舟5在达到足够的动能时，离子在蒸发舟5和挡板8之间运动，当离子有足够的能量时，控制电机7移动挡板8，使得对托板3上的晶振片进行镀膜，使得镀膜更加均匀，提高良品率，通过冷却机13、出水管14、进水管15 和循环管20，可有效的对真空仓1内降温，保护了真空仓1内镀膜过程的安全，通过控制器9，可有效的控制电器设备的运行，通过防渗透器12，可有效的防止气体回流，保持了真空仓1内为真空，进一步的提高镀膜良品率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。