一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备的制作方法

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别涉及一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备。

背景技术：

目前镀膜基板多以TFT贴盒玻璃为主，通常先在5代及更高世代线生产完成TFT-array玻璃和CF玻璃制程以后，再经过贴合及切割成3.5代线大小，送至减薄厂减薄，减薄后送至触摸屏厂进行Oncell触控sensor制程。现有的Oncell采用以TFT液晶显示玻璃(包括array面板玻璃和CF玻璃)贴盒减薄好后的CF玻璃背面制造触摸功能，实现液晶显示和触摸传感器的双重作用，该方法简单，成本较低，近年来受到人们的普遍关注。但减薄后的玻璃基板边缘一般都存在肉眼观察不到的微小裂纹，质地相对较脆，镀膜过程中一旦受热极易破裂，而破裂后的部分玻璃碎片不可避免会掉落在端头与真空腔体门板之间的绝缘块上，由于玻璃碎片上含有导电膜层，会使绝缘块烧毁，引起设备短路，不利于镀膜过程的安全进行。此外，镀膜过程中部分导电靶材会发生脱落形成粉尘，靶材粉尘飘落至绝缘块上也会致使绝缘块失效，引起设备短路，进而影响其正常工作。

技术实现要素：

本实用新型为了解决上述技术问题，提供了一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备，该设备通过在绝缘块上方配设用于阻挡靶材粉尘的绝缘治具，使其在与绝缘块保持一定间隙的同时还能够阻挡靶材粉尘在绝缘块上的集落，一定程度降低了靶材粉尘引起设备短路的概率，利于延长设备的使用寿命。此外，上述具有绝缘块保护功能的镀膜设备还在真空腔体门板上安装有向下倾斜的挡块，挡块位于绝缘块及绝缘治具的上方，用于驱使破裂后的玻璃碎片顺着倾斜的挡块滑下，避免玻璃碎片掉落在绝缘块上致使设备短路，进而提高了镀膜过程的安全性。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备，包括镀膜机及绝缘治具，所述镀膜机内部设有真空腔体，真空腔体内壁装有真空腔体门板，真空腔体内还设有端头，端头上方竖直安装有靶材，靶材可旋转运动，所述端头与真空腔体门板之间设有绝缘块，绝缘块上方配设有用于阻挡靶材粉尘的绝缘治具，所述绝缘治具与端头固定连接。

进一步的，所述绝缘治具包括固定块与挡板，所述固定块一端与端头相接，另一端与挡板相连。

进一步的，所述真空腔体门板在与绝缘块相同的一侧设有向下倾斜的挡块，所述挡块位于绝缘块及绝缘治具的上方。

进一步的，所述挡块与真空腔体门板之间的夹角分布在40-50°之间。

进一步的，所述挡块长为20cm，宽为5cm。

进一步的，所述挡块为铁块。

进一步的，所述绝缘治具与绝缘块之间的距离分布在4-6mm之间。

进一步的，所述绝缘治具与绝缘块之间的距离为5mm。

与现有技术相比较，本实用新型所起到的有益技术效果如下：

（1）本实用新型公开的一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备通过在绝缘块上方配设用于阻挡靶材粉尘的绝缘治具，使其在与绝缘块保持一定间隙的同时还能够阻挡靶材粉尘在绝缘块上的集落，一定程度降低了靶材粉尘引起设备短路的概率，利于延长设备的使用寿命。

（2）此外，本实用新型公开的一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备还在真空腔体门板上安装一向下倾斜的挡块，挡块位于绝缘块及绝缘治具的上方，用于驱使破裂后的玻璃碎片顺着倾斜的挡块下滑，避免镀膜过程玻璃碎片掉落在绝缘块上引起设备短路，提高了镀膜过程的安全性。

附图说明

图1为改造前端头、真空腔体门板及绝缘块的结构示意图。

图2为改造前端头、真空腔体门板及绝缘块的俯视图。

图3为改造后端头、真空腔体门板、绝缘块及绝缘治具的结构示意图。

图4为改造后端头、真空腔体门板、绝缘块、绝缘治具及挡块的结构示意图。

附图标记说明：

1-端头，2-靶材，3-真空腔体门板，4-绝缘块，5-固定块，6-挡板，7-挡块。

附图仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制；为了更好说明本实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的；相同或相似的标号对应相同或相似的部件；附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征更易被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围作出更为清楚的界定。

实施例1：

如图3所示，本实施例提供了一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备，包括镀膜机及绝缘治具，所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体由筒体、底座及顶盖组成，所述真空腔体的筒体内壁安装有真空腔体门板3，真空腔体内的底座上设有端头1，端头1上方竖直安装有靶材2，靶材2可围绕其自身的轴线进行旋转。所述端头1与真空腔体门板3之间设有绝缘块4，绝缘块4一侧与端头1相连，另一侧与真空腔体门板3相连。绝缘块4上方配设有用于阻挡靶材粉尘的绝缘治具，所述绝缘治具为L型结构，所述绝缘治具一端与端头1固定连接，另一端位于绝缘块4上方，绝缘治具位于绝缘块4上方的部分与绝缘块4上表面之间存在间隙，一般绝缘治具与绝缘块4之间的距离分布在4-6mm之间，优选5mm。上述绝缘治具可以一体成型也可以为组合结构。本实施例中，绝缘治具为组合结构，其具体包括固定块5与挡板6，所述固定块5一端与端头1相接，另一端与挡板6相连。

本实施例公开的一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备通过在绝缘块4上方配设用于阻挡靶材粉尘的绝缘治具，使其在与绝缘块4保持一定间隙的同时还能够阻挡靶材粉尘在绝缘块4上的集落，一定程度降低了由于靶材粉尘积累而引起设备短路的概率，利于延长设备的使用寿命。

实施例2：

如图4所示，本实施例与实施例1类似，进一步的，所述真空腔体门板3在与绝缘块4相同的一侧设有向下倾斜的挡块7，所述挡块7位于绝缘块4及绝缘治具的上方，挡块7的一端与真空腔体门板3固定连接，挡块7的另一端悬空设置在绝缘治具与绝缘块4相背的一侧。挡块7的设置驱使破裂后的玻璃碎片顺着挡块7下滑，避免掉落在绝缘块4上。其中，挡块7与真空腔体门板3之间的夹角分布在40-50°之间，优选45°，所述挡块7的大小以覆盖绝缘块4及绝缘治具为最佳，本实施例中，挡块7的长为20cm，宽为5cm。上述挡块7选用与镀膜玻璃碎片不发生反应的材质即可。本实施例中，选用铁块作为挡块7。

本实施例公开的一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备通过在真空腔体门板3上安装一向下倾斜的挡块7，挡块7位于绝缘块4及绝缘治具的上方，用于驱使破裂后的玻璃碎片顺着倾斜的挡块7下滑，避免镀膜过程玻璃碎片掉落在绝缘块4上引起设备短路，提高了镀膜过程的安全性。

与改造前的镀膜机相比较（如图1和图2所示），本实用新型通过在镀膜机上增设绝缘治具以及挡块7，有效避免了绝缘粉尘、玻璃碎片对绝缘块4的破坏，经过长时间的生产验证，绝缘块4被烧毁的概率大大降低，镀膜机的使用寿命进一步得到延长。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。