一种金属靶材绑定喷砂装置的制作方法

本实用新型涉及靶材制造技术领域，具体涉及一种金属靶材喷砂装置。

背景技术：

集成电路、液晶面板、光伏产业中均有镀膜制程，镀膜制程又分为磁控溅射、化学沉积、蒸镀等工艺，而在磁控溅射工艺中，需要用到金属靶材，常用靶材包括铝靶、钼靶、铜靶、银靶、ITO（氧化铟锡，具有金属特性）或是几种金属的混合靶材，如钼铝钼靶材；靶材制造是将上述金属粉末经高温熔化后喷涂到基体上或背板上（如铜背板），因此基体表面应具体较大的粗糙度以更好的附着熔化后的粉末材料。现有的基体表面粗糙度处理一般采用人工处理，具有操作安全风险大，工作量大，粉尘大、效率低、喷砂不均匀等问题。

中国专利公开号CN206326516U提供了一种靶材喷砂装置，其将靶材放置在壳体内的辊道上，从壳体的四周对靶材进行喷砂作业，由于靶材放置在一个封闭的空间内，并通过壳体底部来回收喷砂，进而解决了人工喷砂存在的问题。然而，由于喷砂从四周喷射而出，而靶材受到外力的作用下容易位置偏移，影响其喷砂效果；并且需要安装较多的喷砂嘴，靶材上面存有砂料时，也会影响喷砂效果。

中国专利公开号CN206937106公开了一种靶材喷砂装置，包括壳体、铰接在壳体上端的密封盖和固定连接在壳体下端的回收罐，回收罐的下端设置有回收槽；壳体四周贯穿设置有多个喷砂管，喷砂管伸出壳体的一端连接有送风机构和储砂罐，壳体内悬空设置有靶材放置台，靶材放置台位于喷砂管的下方且其四周设有固定件，靶材放置台设置有若干网格板，其内设有与网格板相连通的抽气管，抽气管通过真空管与外部的真空泵相连。通过真空泵抽真空将靶材固定在靶材放置台上，送风机构和储砂罐相配合提供高速的砂粒对靶材进行喷砂作业，砂粒落入回收罐内，并通过回收槽回收。整个喷砂过程中靶材不会移动，避免靶材移位引起的喷砂效率不佳问题。此实用新型虽然可以解决靶材移位引起的喷砂效率不佳问题，但是壳体四周贯穿设置有多个喷砂嘴，对喷砂的均匀性会有影响，影响喷砂效果。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的是针对现有技术的不足，一种金属靶材绑定喷砂装置，特别是一种即可以除尘，增加操作安全性，又可以提高喷砂均匀性的金属靶材绑定喷砂装置。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种金属靶材绑定喷砂装置，包括喷砂机与除尘装置，所述喷砂机包括储砂罐、喷砂管、进气口，所述除尘装置包括从上到下依次设置的送风机构、操作室、回收罐、回收车，所述操作室与回收罐之间设置网格板，所述网格板上面设置工作台，所述工作台包括驱动装置、支架、传动轴，所述驱动装置设置在支架侧面，驱动装置包括设置在传动轴两端的齿轮一，设置在所述齿轮一下面并与齿轮一咬合的传动杆,设置在传动杆一端的齿轮二，与齿轮二通过皮带转动连接的往复步进电机，所述传动轴设置在支架上端；所述操作室壳体设置喷砂管接接口，所述喷砂管接口与操作室设置的喷砂嘴连接，喷砂管接口外部与所述喷砂管连接。

进一步的，所述工作台一侧设置压缩空气喷嘴，所述压缩空气喷嘴与操作室壳体外压缩空气连通。

进一步的，所述传动轴两端设置可调位置的定位轮，所述定位轮之间设置滚轮，所述定位轮及滚轮均与传动轴套接。

进一步的，所述驱动装置外侧设置壳体。

进一步的，所述回收罐壳设置抽气孔，所述抽气孔上设置防尘过滤网。

进一步的，所述操作室内的工作台有两个。

进一步的，所述喷砂机的进气口与储砂罐之间的管道一设置油气分离器及阀门二，所述管道一设置有管道二，管道二与喷砂管连通，管道二设置阀门三，所述喷砂管与储砂罐底部连通，之间设置阀门一。

本实用新型的有益效果是：

1、一种金属靶材绑定喷砂装置，包括喷砂机与除尘装置，除尘装置包括从上到下依次设置的送风机构、操作室、回收罐、回收车，操作室与回收罐之间设置网格板，网格板上面设置工作台，工作台包括驱动装置、支架、传动轴，驱动装置设置在支架侧面，驱动装置包括设置在传动轴两端的齿轮一，设置在所述齿轮一下面并与齿轮一咬合的传动杆,设置在传动杆一端的齿轮二，与齿轮二通过皮带转动连接的往复步进电机，传动轴设置在支架上端；操作室壳体设置喷砂管接接口，喷砂管接口与操作室设置的喷砂嘴连接。此结构不需要人工操作，操作安全；送风机构，增加了除尘及回收效果，工作台驱动装置使用往复步进电机，可以让传动轴做往复运动，可以增加喷砂的均匀性。

2、工作台一侧设置压缩空气喷嘴，喷嘴与操作室壳体外压缩空气连通，压缩空气喷嘴可以吹去靶材表面的砂料，提高喷砂效果。

3、传动轴两端设置可调位置的定位轮，定位轮之间设置滚轮，定位轮与滚轮与传动轴套接，定位轮保证放置在滚轮上的靶材不偏移。

4、驱动装置外侧设置壳体，用来保护驱动装置不受喷砂砂料影响。

5、回收罐壳设置抽气孔，抽气孔上设置防尘过滤网，抽气孔可以用来安装吸尘器，增加除尘效果；在有循环风的无尘车间，不安装吸尘器也可以保证除尘效果。

6、操作室内的工作台有两个，用来提高工作效率。

7、喷砂机的进气口与储砂罐之间的管道一设置油气分离器及阀门二，所述管道一设置有管道二，管道二与喷砂管连通，管道二设置阀门三，所述喷砂管与储砂罐底部连通，之间设置阀门一，此喷砂机可以满足手动操作。

附图说明

图1为本实用新型实施例1的除尘装置结构示意图。

图2为本实用新型实施例1的喷砂机结构示意图。

图3为本实用新型实施例1的操作室内部结构示意图。

图4为本实用新型实施例1的驱动装置结构示意图。

图5为本实用新型实施例2的操作室内部结构示意图。

图中：1-喷砂机，2-除尘装置，3-送风机构，4-操作室，5-回收罐，6-回收车，7-喷砂管接口，8-工作台，9-网格板，10-齿轮一，11-传动杆，12-往复步进电机，13-齿轮二，14-皮带，15-喷砂管，16-阀门一，17-喷砂嘴，18-卸料口，19-油气分离器，20-进气口，21-阀门二，22-传动轴，23-驱动装置，24-靶材，25-喷嘴，26-阀门三，27-储砂罐，28-抽气孔，29-送风机，30-定位轮，31-支架，32-管道一，33-管道二。

具体实施方式

下面结合附图来进一步说明本实用新型的具体实施方式：

实施例1

一种金属靶材绑定喷砂装置，包括喷砂机1与除尘装置2，喷砂机1包括储砂罐27、喷砂管15、进气口20，喷砂机1的进气口20与储砂罐27之间的管道一设置油气分离器19及阀门二21，管道一32设置管道二33，管道二33与喷砂管15连通，管道二33设置阀门三26，喷砂管15与储砂罐27底部连通，之间设置阀门一16，阀门一16使用球阀，阀门二21、阀门三26使用高压气体球阀；除尘装置包括从上到下依次设置的送风机构3、操作室4、回收罐5、回收车6，操作室4与回收罐5之间设置金属网格板9，金属网格板9上面设置一个工作台8，工作台8包括驱动装置23、支架31、多个传动轴22，驱动装置23设置在支架31侧面，驱动装置23包括设置在传动轴22两端的齿轮一10，设置在所述齿轮一10下面并与齿轮一10咬合的传动杆11,设置在传动杆11一端的齿轮二13，与齿轮二13通过皮带14转动连接的往复步进电机12，驱动装置23外侧设置壳体；传动轴22设置在支架31上端，传动轴22两端设置可调位置的定位轮30，定位轮30之间设置滚轮，所述定位轮30与滚轮与传动轴22套接；操作室4壳体设置喷砂管接接口7，喷砂管接口7与操作室4设置的喷砂嘴17连接，工作台8一侧设置压缩空气喷嘴25，喷嘴25与操作室4壳体外压缩空气连通，回收罐5壳设置抽气孔28，抽气孔28上设置防尘过滤网。

喷砂时，把定位轮30调整到合适的间距，将靶材24放置在传动轴22上的滚轮上，往复步进电机12带动传动杆11及传动轴22做往复运动；将喷砂管15与喷砂管接口7连接，通过进气口20接入压缩空气，打开阀门一16、阀门二21、阀门三26即可进行喷砂操作。打开送风机29可以开启送风机构，将浮尘通过金属网格板9回收到回收罐5内；同时开启接通压缩空气的喷嘴25可以将靶材表面的砂料吹落。喷砂完成后，打开卸料口18将砂料回收到回收车6内。

实施例2

实施例2与实施例1结构基本上相同，不同之处在于：如图5所示，操作室4内安装两个工位的工作台8，工作时，同时对两个靶材进行喷砂，可以提高工作效率。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。