硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备的制作方法

本实用新型涉及光伏发电技术领域，特别涉及一种硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备。

背景技术：

CIGS(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池由于材料有近似最佳的光学能隙、吸收率高、杭辐射能力强和长期的稳定性等特点，被国际上称为最有希望获得大规模应用的太阳能电池之一。

在利用蒸镀法生产CIGS薄膜太阳能电池的过程中，在镀膜机中的特定位置设置一个或多个铜、铟、镓、硒靶材蒸发源，然后对靶材加热，使其产生蒸汽，蒸汽会在镀膜腔室中以预定的速度、浓度沉积到待镀组件的预定位置。因此，对靶材的蒸镀速度和蒸汽的沉积位置的把控非常重要。目前，通常采用两个硒蒸发源为一组，蒸发源采用坩埚加热使硒气化，坩埚内的硒蒸汽进入硒分配管，硒分配管将硒蒸汽分配至镀膜腔室的预定位置。

存在的问题是，即使两个坩埚的加热功率相同，两个坩埚中的硒蒸发情况也可能会存在蒸发量不同的情况，而硒蒸汽会由蒸发量多的坩埚扩散至蒸发量少的坩埚内，这就会导致不方便掌握每个蒸发源实际的蒸发量，从而不方便掌握每个蒸发源的功率与实际硒蒸发量之间的关系，不方便对工艺参数进行调整。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备，以解决现有技术中的不方便掌握每个硒蒸发源实际蒸发量的技术问题。

本实用新型提供一种硒分配管，包括管本体以及设置在所述管本体内的分隔体，所述分隔体将所述管本体分隔成至少两个腔室，每个所述腔室均设置有进气口和出气口。

进一步地，所述分隔体包括与所述管本体的内壁固定连接的固定隔板。

进一步地，所述固定隔板与所述管本体采用相同材质。

进一步地，所述分隔体包括隔离流体，所述管本体上设置有流体出入口。

进一步地，所述分隔体包括与所述管本体转动连接的转动隔板。

进一步地，所述分隔体包括沿垂直于所述管本体的延伸方向滑设在所述管本体上的滑动隔板。

进一步地，当所述分隔体将所述管本体分隔成两个腔室时，所述分隔体位于所述管本体的中心。

本实用新型提供一种薄膜蒸镀设备，包括本实用新型提供的硒分配管以及与所述硒分配管中的所述腔室连通的硒蒸发源。

进一步地，所述腔室的数量为两个，所述硒蒸发源的数量为两个，两个所述腔室与两个所述硒蒸发源一一流体连通。

本实用新型提供一种光伏芯片制造设备，包括本实用新型提供的薄膜蒸镀设备。

相对于相关技术，本实用新型提供的硒分配管中的分隔体将管本体分隔成多个相互独立的腔室，则能够避免进入管本体内的由不同硒蒸发源蒸发出的硒蒸汽在管本体内相互干扰，从而保障每个硒蒸发源处的硒蒸汽均为其实际蒸发量，大大方便对硒蒸发源实际蒸发量的掌握，便于掌握硒蒸发源功率和蒸发量的控制规律，进而方便对工艺调整，提高产能。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是根据本实用新型一实施例的硒分配管的结构示意图；

图2是根据本实用新型另一实施例的硒分配管的结构示意图；

图3是根据本实用新型又一实施例的硒分配管的结构示意图；

图4是根据本实用新型实施例的薄膜蒸镀设备的结构示意图。

图中：10－管本体；20－分隔体；11－腔室；12－进气口；13－出气口；21－固定隔板；22－转动隔板；23－滑动隔板；100－硒分配管；200－硒蒸发源。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图1是根据本实用新型一实施例的硒分配管的结构示意图；图2是根据本实用新型另一实施例的硒分配管的结构示意图；图3是根据本实用新型又一实施例的硒分配管的结构示意图。

如图1至图3所示，本实用新型提供一种硒分配管，包括管本体10以及设置在管本体10内的分隔体20，分隔体20将管本体10分隔成至少两个腔室11，每个腔室11均设置有进气口12和出气口13。

本实施例中，分隔体20将管本体10内部分隔开来，形成相互独立的腔室11，每个腔室11相应设置有硒蒸发源，硒蒸汽由硒蒸发源通过腔室11上的进气口12流入腔室11，再由出气口13流出腔室11，沉积到待镀零件上。则采用该硒分配管对硒蒸汽进行分配过程中，能够避免进入管本体10内的硒蒸汽在管本体10自身内部窜流，从而避免硒蒸汽由一个硒蒸发源流至另一个硒蒸发源，这就能够保障每个腔室11内的硒蒸汽量为与之连通的硒蒸发源的实际蒸发量，对一个腔室11内的硒蒸汽量进行测量，即可获得与之相应的硒蒸发源的实际蒸发量，大大方便对硒蒸发源实际蒸发量的掌握，便于掌握硒蒸发源功率和蒸发量的控制规律，节省工艺调节时间，提高产能。

其中，管本体10的截面形状可以为多种，如：三角形、四边形、圆形或者异形等。

管本体10的形状可以为多种，例如：一字形、Y字形、T字形或者十字形等等。

管本体10的材质可以为多种，例如：玻璃、橡胶、木材或者金属等。

管本体10可以为一整个管，也可以由多个管段相互连接而成，相互连接的两个管段可以通过卡接、胶接或者螺纹连接等方式连接。

分隔体20将管本体10分隔成的腔室11数量可以为两个、三个或者四个等等，可以根据具体情况进行设置，如：当管本体10呈一字型时，分隔体20可以包括一个分隔件将管本体10分隔成两个腔室11。

又如：分隔体20可以包括两个沿管本体10的延伸方向间隔设置的两个分隔件，两个分隔件将管本体10分隔成三个腔室11，其中位于中间的腔室11设置硒蒸汽出口，可以此类推。

再如：当管本体10呈Y字形时，分隔体20可将管本体10分割成两个腔室11；当管本体10呈T字形时，分隔体20将管本体10分割成三个腔室11；当管本体10呈十字形时，分隔体20可将管本体10分隔成四个腔室11等等。

分隔体20的结构形式可以为多种，如图1所示，在本实用新型一个实施例中，分隔体20包括与管本体10的内壁固定连接的固定隔板21。该结构简单，易加工制造。

其中，固定隔板21的设置方式可以为多种，例如，管本体10包括两个管段，将固定隔板21通过胶接、卡接或者螺纹连接等方式固定在一个管段内，然后再将该管段与另一个管段连接，以实现固定隔板21固定在管本体10内；或者，固定隔板21采用弹性材料，在管本体10的内壁用于安装固定隔板21的位置设置环形凹槽，将固定隔板21由管本体10的一端推入，直至固定隔板21卡入卡槽内固定等。

固定隔板21的材质可以为玻璃、橡胶、木材或者金属等。较佳地，采用与管本体10相同的材质，使硒分配管的材料同一，方便加工。

分隔体20还可以包括分隔膜。

分隔体20还可以包括气囊或者包裹有液体的柔性囊体等。

分隔体20还可以包括隔离流体，此时，在管本体10上设置流体出入口。本实施例中，当需要对不同硒蒸发源蒸发的硒蒸汽进行隔离时，通过流体出入口向管本体10内通入隔离流体，以将管本体10分隔成不同腔室11，不同腔室11内的硒蒸汽将隔离流体夹设在中间，能够阻止隔离流体出管本体10；当不需要对硒蒸汽进行分配时，可以通过流体出入口将隔离流体排出。方便使用者根据需要选择性的将管本体10分隔成多个腔室11。

其中，隔离流体可以为惰性气体等气体，还可以为油液或者胶溶液等液体，或者气体和液体的组合。

如图2所示，在本实用新型另一个实施例中，所述分隔体20包括与所述管本体10转动连接的转动隔板22。

本实施例中，转动隔板22转动至将管本体10的通孔完全隔断，转动隔板22将管本体10分隔成多个腔室11，转动隔板22处于闭合状态。

可以根据具体使用情况来设置转动隔板22的开合或者打开程度，如，当需要将管本体10分隔开来，将转动隔板22转动至闭合状态；当多个硒蒸发源中的一个工作就可满足需要，而又需要硒蒸汽从管本体10的不同出口流出，则可以将转动隔板22打开使多个腔室11相互连通。从而提供更多选择，提高了硒分配管的灵活性。

在上述实施例基础之上，进一步地，分隔体20还包括与转动隔板22传动连接的转动驱动件。

本实施例中，采用驱动件如伺服电机等对转动隔板22进行驱动，具体地，转动隔板22通过转轴与管本体10转动连接，转轴伸出管本体10外，电机与转轴的伸出管本体10的一端传动连接从而实现对转动隔板22的自动化控制，避免手动操作，方便使用。当然为了保障管本体10的气密性，可在转轴处设置密封圈等密封结构。

转动隔板22的具体设置可以根据管本体10的具体结构进行设置，如，管本体10为矩形，转动隔板22转动连接在管本体10的顶壁或者侧壁上即可；当管本体10为圆形时，在管本体10的用于安装转动隔板22处设置凸起，使该处截面的通孔为矩形，从而方便转动隔板22将管本体10分隔。

如图3所示，在本实用新型又一个实施例中，分隔体20包括沿垂直于管本体10的延伸方向滑设在管本体10上的滑动隔板23。

本实施例中，滑动隔板23滑动至将管本体10的通孔完全隔断，滑动隔板23将管本体10分隔成多个腔室11，滑动隔板23处于闭合状态。

可以根据具体使用情况来控制滑动隔板23的位置，如，当需要将管本体10分隔开来，将滑动隔板23滑动至闭合状态；当多个硒蒸发源中的一个工作就可满足需要，而又需要硒蒸汽从管本体10的不同出口流出，则可以将滑动隔板23打开使多个腔室11相互连通。从而提供更多选择，提高了硒分配管的灵活性。

在上述实施例基础之上，进一步地，分隔体20还包括与滑动隔板23传动连接的滑动驱动件。

本实施例中，驱动件的结构形式可以为多种，例如，电动伸缩杆、丝杠组件或者电机、齿轮以及齿条的组合使用等。具体地，驱动件设置在管本体10外，与滑动隔板23传动连接，驱动滑动隔板23沿处置与管本体10的延伸方向往复运动，从而实现对滑动隔板23的自动化控制，避免手动操作，方便使用。

滑动隔板23的具体设置可以根据管本体10的具体结构进行设置，如，管本体10为矩形时，管本体10的上壁设置开口，滑动隔板23在开口内滑动，滑动隔板23的侧壁能够与管本体10的内壁抵接；当管本体10为圆形时，在管本体10的用于安装滑动隔板23处设置挡板，使该处截面的通孔为矩形，从而方便滑动隔板23将光本体分隔。

分隔体20包括多个呈长条状的叶片、多个连杆、传动杆和动力源；多个连杆平行间隔地铰接在管本体10的内壁上，每个连杆的一端固定连接有一个叶片，另一端与传动杆铰接，叶片的长度方向与传动杆的长度方向垂直；动力源设置在管本体10的内壁上，其动力输出轴与传动杆铰接，以带动传动杆沿传动杆的长度方向往复移动；通过动力源带动传动杆往复运动，从而带动连杆转动，进而带动叶片转动，形成电动百叶窗结构，以隔断或者连通管本体10上的通孔。

当分隔体20将管本体10分隔成两个腔室11时，分隔体20可以位于管本体10的任意位置，例如靠近管本体10一端的位置，较佳地，分隔体20位于管本体10的中心，使管本体10的结构规整。

图4是根据本实用新型实施例的薄膜蒸镀设备的结构示意图。如图4所示，本实用新型提供一种薄膜蒸镀设备，包括本实用新型提供的硒分配管100以及与硒分配管100中的腔室11连通的硒蒸发源200。

其中，硒分配管100的数量可以为一个、两个、三个或者四个等等。

由于每个硒分配管100包括至少两个腔室11，一个腔室11与一个硒蒸发源200流体连通，则硒蒸发源200的数量大于硒分配管100的数量。

具体地，每个腔室11的数量为两个，硒蒸发源200的数量为两个，两个腔室11与两个硒蒸发源200一一流体连通。

本实施例中，一个硒蒸发源200与一个腔室11连通，多个腔室11之间相互隔离，则每个硒蒸发源200蒸发的硒蒸汽全部进入与之连通的腔室11，每个腔室11的硒蒸汽量为与之相应的硒蒸发源的实际蒸发量。

可以在硒蒸发源200或者腔室11内设置气体流量传感器等检测元件对硒蒸汽的量进行检测，由于多个腔室11相互独立，则能够避免进入管本体10内的由不同硒蒸发源蒸发出的硒蒸汽在管本体10内相互干扰，从而保障每个硒蒸发源处的硒蒸汽均为其实际蒸发量。

这就方便对硒蒸发源200工作情况的掌握，例如，当所有的硒蒸发源200的功率相同，但实际蒸发量不同时，可以快速及时找到哪一个或几个的硒蒸发源200的蒸发量较少；或者能够及时发现哪一个硒蒸发源200不能正常工作，从而做出及时维修或者调整，提高产能，无需多次调整工艺找到出现问题的硒蒸发源200，从而节省工艺调整时间。

还方便掌握硒蒸发源200的功率如坩埚的加热功率与硒蒸发源200的实际蒸发量之间的规律，从而能够实现得出最佳工艺参数，在保障满足硒蒸汽的需求量的同时，避免设定的硒蒸发源200的功率过大导致浪费能源；还能够根据工艺需要对各个硒蒸发源200进行功率调整而不会相互影响；还能够通过调整各个硒蒸发源200的功率来调整硒蒸发源200的实际蒸发量，从而使各个硒蒸发源200的蒸发量平衡一致，能够使从硒分配管100各个出口流出的硒蒸汽量是一致的，进而保证对光伏芯片蒸镀的均匀性。

本实用新型提供一种光伏芯片制造设备，包括本实用新型提供的薄膜蒸镀设备。

本实施例中，硒分配管100中的多个腔室11相互独立，则可以通过调整每个硒蒸发源200的功率以调整硒蒸发源200的蒸发量，从而使每个硒蒸发源200之间的蒸发量平衡一直，从而使由分配管出来的对光伏芯片进行蒸镀的硒蒸汽量平衡一致，则保障了对光伏芯片蒸镀的均匀性，从而保障了光伏芯片的品质；而且还可以及时发现哪一个硒蒸发源200出现问题导致硒蒸汽蒸发量减少，从而提高产能。本实施例提供的光伏芯片制造设备产能高，产品品质好。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。