技术总结
本实用新型涉及光伏发电技术领域，特别涉及一种硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备。本实用新型提供一种硒分配管，包括管本体以及设置在所述管本体内的分隔体，所述分隔体将所述管本体分隔成至少两个腔室，每个所述腔室均设置有进气口和出气口。本实用新型提供的硒分配管中的分隔体将管本体分隔成多个相互独立的腔室，则能够避免进入管本体内的由不同硒蒸发源蒸发出的硒蒸汽在管本体内相互干扰，便于控制蒸发源功率和蒸发量，进而方便对工艺调整，提高产能。
技术研发人员：张艳超
受保护的技术使用者：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
技术研发日：2018.09.14
技术公布日：2019.06.18