技术特征:
技术总结
本发明提供一种蚀刻设备,包括载物台与两个以上喷淋单元,载物台用以放置基板;喷淋单元设于所述载物台上方,用以向所述基板喷淋刻蚀液;每一喷淋单元包括第一喷嘴与第二喷嘴,第一喷嘴朝向所述基板方向,第一喷嘴中心轴线与竖直方向形成第一夹角;以及第二喷嘴朝向所述基板方向,第二喷嘴中心轴线与竖直方向形成第二夹角。通过调节喷淋单元中的每一喷嘴的方向,使得金属层侧壁下部的腐蚀程度更深,从而调节面板成品中taper角的角度,使得taper角的角度不会过小,进而提高面板的良率。
技术研发人员:刘三泓
受保护的技术使用者:深圳市华星光电技术有限公司
技术研发日:2019.04.04
技术公布日:2019.08.09