1.一种用于长外包壳管的立式磁控溅射镀膜装置,其特征在于,包括壳体,该壳体具有顶部开口的圆柱形腔体(10),且腔体(10)的高度不小于4m;其中,
腔体(10)内的底部设置有转动装置,其与设置在壳体外的传动装置连接,转动装置上设置有用于放置工件的工件架;腔体(10)内壁上沿其轴向安装有若干对靶座底盘(20),每对靶座底盘(20)均包括呈180°相对布置的两个靶座底盘(20),每个靶座底盘(20)上均分布有多个靶座(210),每个靶座(210)上均用于安装靶材,每对靶座底盘(20)旁边均设置有用于更换靶材的腔门(110),靶座(210)上设置有遮挡板(220),以遮挡靶材;壳体顶部设置有气体进出装置和高压空气出气口;工作时,靶材通过座电极连接外电路负极,工件架通过座电极连接外电路正极。
2.根据权利要求1所述的一种用于长外包壳管的立式磁控溅射镀膜装置,其特征在于,壳体包括由外至内依次设置的起坚硬保护作用的外层金属层,其绝缘作用的中间陶瓷层和起封闭磁力线、阻隔富能粒子的内层金属层。
3.根据权利要求1所述的一种用于长外包壳管的立式磁控溅射镀膜装置,其特征在于,靶座底盘(20)所在的腔体(10)母线关于工件架中心轴呈二次或者四次或者六次对称分布。
4.根据权利要求1所述的一种用于长外包壳管的立式磁控溅射镀膜装置,其特征在于,每个靶座底盘(20)上均设置有6个对称分布的靶座(210)。
5.根据权利要求1所述的一种用于长外包壳管的立式磁控溅射镀膜装置,其特征在于,靶材为纯金属靶、合金靶或陶瓷靶。
6.根据权利要求1所述的一种用于长外包壳管的立式磁控溅射镀膜装置,其特征在于,转动装置包括转轴(30),转轴(30)的一端穿过壳体与传动转置连接,另一端连接有行星转盘(310),工件架设置在行星转盘(310)上。
7.根据权利要求6所述的一种用于长外包壳管的立式磁控溅射镀膜装置,其特征在于,工件架包括工件托盘(320)和立柱(330),若干工件托盘(320)分别与行星转盘(310)上对应的行星轮连接,每个工件托盘(320)上均设置有一个立柱(330),工作时,工件套装在对应的立柱(330)上,行星转盘(310)转动时,工件架带动上面安装的工件绕工件架中心轴公转,转轴(30)上的工件托盘(320)带动其上面安装的工件绕工件架中心轴公转的同时,也绕行星转轴自转。
8.根据权利要求6所述的一种用于长外包壳管的立式磁控溅射镀膜装置,其特征在于,传动装置包括自转电机和联轴器,自转电机的输出轴通过联轴器与转动装置的转轴连接。