技术总结
本发明提供了一种抛光液供给装置，属于半导体技术领域。抛光液供给装置，包括：第一容器，用以盛放二氧化硅溶液；第二容器，用以盛放有机聚合物溶液；第三双层容器，用以盛放有机聚合物溶液与二氧化硅溶液的混合液；所述第三双层容器包括不透光的外层容器壁和透光的内层容器壁，所述外层容器壁和所述内层容器壁之间形成有空腔；所述第一容器的出液口、所述第二容器的出液口分别与所述第三双层容器的进液口连通，所述第一容器的出液口与所述第三双层容器的进液口之间设置有过滤器；所述内层容器壁朝向所述空腔一侧的外壁设置有红外传感器组件，用以检测所述内层容器壁的内壁是否存在颗粒物。本发明能够避免硅片表面被划伤。本发明能够避免硅片表面被划伤。本发明能够避免硅片表面被划伤。
技术研发人员：李昀泽
受保护的技术使用者：西安奕斯伟材料技术有限公司
技术研发日：2020.12.16
技术公布日：2021/4/17