一种电子束高精度镀膜设备的制作方法

1.本发明涉及镀膜技术领域，具体的说，涉及一种电子束高精度镀膜设备。


背景技术：

2.电子束蒸发是将镀膜材料放入水冷铜坩埚中，用高能密度的电子束轰击镀膜材料而使其蒸发的一种方法。蒸发源由电子发射源、电子加速电源、坩埚(通常是铜坩埚)磁场线圈、冷却水套等组成。在该装置中，被加热的物质放置于水冷的坩埚中，电子束只轰击其中很少的一部分物质，其余的大部分物质在坩埚的冷却作用下一直处于很低的温度，可以看作被击部分的坩埚。因此，电子束加热蒸发的方法可以避免镀膜材料和蒸发源材料之间的污染。
3.现有的电子束高精度镀膜设备结构单一，无法生产不同加工需求的金属氧化膜，使用范围狭小。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于克服上述传统技术的不足之处，提供一种电子束高精度镀膜设备，完成蒸发坩埚的圆周切换工作，并且使蒸发坩埚在转动过程中始终处于水平状态，在不影响电子束高精度镀膜的过程中，便于生产不同加工需求的金属氧化膜，使用范围大大提高。
5.本发明的目的是通过以下技术措施来达到的：一种电子束高精度镀膜设备，其特征在于：包括框体，所述框体侧面连接有充气组件，所述框体内固定连接有支架，所述支架连接有轮换支架，所述支架连接有蒸发坩埚组件，所述轮换支架包括安装轴，所述安装轴与支架转动连接，所述安装轴固定连接有转盘，所述转盘转动连接有多个安装块，多个所述安装块在转盘上呈环形分布设置，多个所述安装块上表面固定连接有蒸发坩埚，多个所述安装块转动连接有转动架，多个所述安装块远离蒸发坩埚的一端连接有用于坩埚冷却的冷却机构，所述转动架与支架转动连接，所述支架上转动连接有啮合传动机构，所述啮合传动机构用于安装轴转动，所述安装轴靠近支架的端部连接有进气组件，所述支架上固定连接有连接架，所述连接架上固定连接有滑轨，所述连接架固定连接有电极金属网，所述框体上表面连接有第一安装架，所述第一安装架连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的输出端固定连接有安装框，所述安装框转动连接有两个弧形板，所述弧形板下表面固定连接有第一密封垫，所述框体上表面连接有第二密封垫，所述第一密封垫与第二密封垫接触连接，所述第一安装架与安装框之间连接有齿轮啮合机构，所述弧形板内连接有用于膜输送的收放卷组件，所述框体内转动连接有转动轴，所述转动轴固定连接有电子束装置。
6.作为一种改进：所述啮合传动机构包括齿轮盘，所述齿轮盘与安装轴固定连接，所述齿轮盘外圈固定连接有轮齿，所述支架固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有驱动齿，所述驱动齿与轮齿之间啮合连接。
7.作为一种改进：所述进气组件包括安装套，所述安装套与支架固定连接，所述安装套上连接有进气口，所述安装轴端部连接有延伸辊，所述延伸辊连接有进气管，所述进气管靠近进气口的一端为l型进气管，所述进气管的一端与进气口连接，所述进气管另一端与蒸发坩埚连接。
8.作为一种改进：所述冷却机构包括活塞套，所述活塞套与安装块侧面固定连接，所述活塞套滑动连接有活塞柱，所述活塞柱一端连接有限位件，所述限位件远离活塞柱一端活动连接有滚轮，所述滚轮与滑轨滑动连接，所述活塞柱套接有弹簧，所述弹簧一端与限位件固定连接，所述弹簧另一端与活塞套固定连接，所述活塞套与蒸发坩埚之间连接有导管。
9.作为一种改进：所述齿轮啮合机构包括齿条，所述弧形板外侧固定连接有齿牙，所述齿条与齿牙啮合连接。
10.作为一种改进：所述充气组件包括固定板，所述固定板与框体侧面固定连接，所述固定板上表面固定连接有真空泵，所述真空泵输出端连接有连接管的一端，所述连接管的另一端与弧形板连接。
11.作为一种改进：所述收放卷组件包括第二安装架，所述第二安装架与安装框固定连接，所述第二安装架均与两个弧形板转动连接，所述第二安装架固定连接有镀膜辊，所述第二安装架上表面滑动连接有两个安装件，两个所述安装件转动连接有收放卷辊。
12.所述第二安装架固定连接有两个第二电动伸缩杆，两个所述第二电动伸缩杆输出端均与安装件固定连接，所述第二安装架连接有两个辅助辊。
13.作为一种改进：所述电极金属网和等离子体辅助镀膜系统电性连接，所述镀膜辊与等离子体辅助镀膜系统电性连接。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果如下：轮换支架使得安装块所在的蒸发坩埚始终保持水平状态做圆周运动，一方面，即完成了蒸发坩埚的圆周切换工作，另一方面，蒸发坩埚在转动过程中始终处于水平状态，即不影响电子束高精度镀膜过程，从而便于生产不同加工需求的金属氧化膜，使用范围大大提高。
15.当安装轴所在的转盘转动带动蒸发坩埚的进行圆周工作切换时，对应位置的进气管与进气口接通，便可实现对应不同位置的蒸发坩埚通入不同的气体，进一步提高了其使用范围。
16.冷却机构使得活塞柱压缩活塞套内部的冷却液，进而使得冷却液进入蒸发坩埚内部的冷却腔，此位置便可完成坩埚冷却处理，当此位置工作结束，转盘继续转动，此时的滚轮脱离滑轨，在弹簧的弹力作用下，活塞套内部负压，此时冷却液再次回到活塞套内部，便可实现冷却液的循环冷却使用。
17.在齿轮啮合机构的作用下，当第一电动伸缩杆向下伸缩运动时，即可实现的密封过程，同理，向上即可实现开合，通过两个弧形板的开合过程，一方面，实现了为框体提高真空密闭环境，另一方面，方便对完成镀膜后产品进行取拿，进一步提高了工作效率。
附图说明
18.图1为本发明的立体结构示意图。
19.图2为本发明的侧视结构示意图。
20.图3为本发明的c-c的剖面结构示意图。
21.图4为本发明的内部结构示意图。
22.图5为图4中齿轮盘的立体结构示意图。
23.图6为图4中转动架的立体结构示意图。
24.图7为图1中弧形板的内部结构示意图。
25.图8为图4的侧视结构示意图。
26.图9为图4的正视结构示意图。
27.图10为本发明的a处放大结构示意图。
28.图11为本发明的b处放大结构示意图。
29.图中：1、框体；2、真空泵；3、固定板；4、弧形板；5、齿条；6、第一安装架；7、第一电动伸缩杆；8、齿牙；9、第一密封垫；10、连接管；11、第二密封垫；12、安装框；13、电极金属网；14、连接架；15、滑轨；16、支架；17、转动架；18、蒸发坩埚；19、安装块；21、安装轴；22、转盘；24、齿轮盘；25、轮齿；26、驱动齿；27、电机；28、限位件；29、滚轮；30、弹簧；31、活塞柱；32、活塞套；33、导管；34、第二安装架；35、收放卷辊；36、辅助辊；37、第二电动伸缩杆；38、安装件；39、转动轴；40、电子束装置；41、镀膜辊；42、延伸辊；43、安装套；44、进气管；45、进气口。
具体实施方式
30.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
31.实施例：如附图1至11所示，一种电子束高精度镀膜设备，包括框体1，所述框体1侧面连接有充气组件，所述框体1内固定连接有支架16，所述支架16连接有轮换支架，所述支架16连接有蒸发坩埚组件，所述轮换支架包括安装轴21，所述安装轴21与支架16转动连接，所述安装轴21固定连接有转盘22，所述转盘22转动连接有多个安装块19，多个所述安装块19在转盘22上呈环形分布设置，多个所述安装块19上表面固定连接有蒸发坩埚18，多个所述安装块19转动连接有转动架17，多个所述安装块19远离蒸发坩埚18的一端连接有用于坩埚冷却的冷却机构，所述转动架17与支架16转动连接，所述支架16上转动连接有啮合传动机构，所述啮合传动机构用于安装轴21转动，所述安装轴21靠近支架16的端部连接有进气组件，所述支架16上固定连接有连接架14，所述连接架14上固定连接有滑轨15，所述连接架14固定连接有电极金属网13，所述框体1上表面连接有第一安装架6，所述第一安装架6连接有第一电动伸缩杆7，所述第一电动伸缩杆7的输出端固定连接有安装框12，所述安装框12转动连接有两个弧形板4，所述弧形板4下表面固定连接有第一密封垫9，所述框体1上表面连接有第二密封垫11，所述第一密封垫9与第二密封垫11接触连接，所述第一安装架6与安装框12之间连接有齿轮啮合机构，所述弧形板4内连接有用于膜输送的收放卷组件，所述框体1内转动连接有转动轴39，所述转动轴39固定连接有电子束装置40。
32.轮换支架用于放置切换不同种类的蒸发坩埚组件，实现与不同靶材使用，通过该轮换支架的结构设计，即在安装轴21带动转盘22转动时，配合安装块19与转盘22转动连接，以及支架16另一侧设置的可转动的转动架17，转动架17通过与安装块19所在的端部转动连
接，即在转盘22转动时，使得安装块19所在的蒸发坩埚18始终保持水平状态做圆周运动，一方面，完成了蒸发坩埚18的圆周切换工作，另一方面，蒸发坩埚18在转动过程中始终处于水平状态，即不影响电子束高精度镀膜过程，从而便于生产不同加工需求的金属氧化膜，使用范围大大提高。
33.所述啮合传动机构包括齿轮盘24，所述齿轮盘24与安装轴21固定连接，所述齿轮盘24外圈固定连接有轮齿25，所述支架16固定连接有电机27，所述电机27输出端固定连接有驱动齿26，所述驱动齿26与轮齿25之间啮合连接。
34.所述进气组件包括安装套43，所述安装套43与支架16固定连接，所述安装套43上连接有进气口45，所述安装轴21端部连接有延伸辊42，所述延伸辊42连接有进气管44，所述进气管44靠近进气口45的一端为l型进气管，所述进气管44的一端与进气口45连接，所述进气管44另一端与蒸发坩埚18连接。进气组件用于供给满足生产所需的各种气体，当安装轴21所在的转盘22转动带动蒸发坩埚18的进行圆周工作切换时，对应位置的进气管44与进气口45接通，便可实现对应不同位置的蒸发坩埚18通入不同的气体。
35.所述冷却机构包括活塞套32，所述活塞套32与安装块19侧面固定连接，所述活塞套32滑动连接有活塞柱31，所述活塞柱31一端连接有限位件28，所述限位件28远离活塞柱31一端活动连接有滚轮29，所述滚轮29与滑轨15滑动连接，所述活塞柱31套接有弹簧30，所述弹簧30一端与限位件28固定连接，所述弹簧30另一端与活塞套32固定连接，所述活塞套32与蒸发坩埚18之间连接有导管33。当转盘22顺时针转动时，使得安装块19所在的蒸发坩埚18始终保持水平状态做圆周运动，即当活塞柱31所在的滚轮29与滑轨15接触时，一方面，滚轮29在滑轨15所在的槽内水平滚动，另一方面，活塞柱31相对于活塞套32向下运动并压缩弹簧30，此时便可使得活塞柱31压缩活塞套32内部的冷却液，进而使得冷却液进入蒸发坩埚18内部的冷却腔，此位置便可完成坩埚冷却处理，当此位置工作结束，转盘22继续转动，此时的滚轮29脱离滑轨15，在弹簧30的弹力作用下，活塞套32内部负压，此时冷却液再次回到活塞套32内部，便可实现冷却液的循环冷却使用。
36.所述齿轮啮合机构包括齿条5，所述弧形板4外侧固定连接有齿牙8，所述齿条5与齿牙8啮合连接。在齿轮啮合机构的作用下，当第一电动伸缩杆7向下伸缩运动时，即可实现弧形板4的密封过程，同理，向上即可实现开合，通过两个弧形板4的开合过程，一方面，实现了为框体1提高真空密闭环境，另一方面，方便对完成镀膜后产品进行取拿，进一步提高了工作效率。
37.所述充气组件包括固定板3，所述固定板3与框体1侧面固定连接，所述固定板3上表面固定连接有真空泵2，所述真空泵2输出端连接有连接管10的一端，所述连接管10的另一端与弧形板4连接。通过设置的充气组件，当固定板3所在的真空泵2工作时，此时弧形板4对框体1形成真空密封，配合连接管10的连接作用，便可对框体1内部抽真空。
38.所述收放卷组件包括第二安装架34，所述第二安装架34与安装框12固定连接，所述第二安装架34均与两个弧形板4转动连接，所述第二安装架34固定连接有镀膜辊41，所述第二安装架34上表面滑动连接有两个安装件38，两个所述安装件38转动连接有收放卷辊35。通过设置的收放卷组件，膜通过右侧的收放卷辊35引出，经过右侧的辅助辊36并经过镀膜辊41的下表面，并穿过左侧的辅助辊36之后与收放卷辊35固定连接，两个收放卷辊35用于膜的收放卷，实现镀膜过程。
39.所述第二安装架34固定连接有两个第二电动伸缩杆37，两个所述第二电动伸缩杆37输出端均与安装件38固定连接，所述第二安装架34连接有两个辅助辊36。
40.所述电极金属网13和等离子体辅助镀膜系统电性连接，所述镀膜辊41与等离子体辅助镀膜系统电性连接。此时蒸发蒸气能在电场的作用下加速在镀膜辊41上快速沉积成膜。
41.框体1内部还设置有可转动的转动轴39，转动轴39上设置有电子束装置40，用于对蒸发坩埚18内的镀膜金属加热，转动轴39驱动方式可以是电机。
42.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
43.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。