一种配置热丝的真空镀膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种配置热丝的真空镀膜装置。


背景技术：

2.真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，例如，真空镀铝、真空镀铬等，为了提高真空镀膜效果，就需要一种配置热丝的真空镀膜装置。
3.现有装置在机体内将热丝设置于立式电弧离子镀设备真空室壁两列靶材中间部位来提高真空镀膜效果。
4.但是现有装置在进行工作时对工件的固定不够稳固，在转动时容易发生运动。


技术实现要素：

5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种配置热丝的真空镀膜装置，解决了现有装置在进行工作时对工件的固定不够稳固，在转动时容易发生转动的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种配置热丝的真空镀膜装置，包括机体，所述机体的内壁两侧均安装有热丝，所述机体的内壁底部固接有环形板，所述环形板的顶部凹槽两侧均滑动卡接有卡块，两个所述卡块的顶部固接有底板，所述底板的顶部两侧均通过轴承转动相连有直杆，所述直杆的一侧通孔活动相连有曲杆，所述曲杆的顶部通过轴承转动相连有螺杆，所述螺杆的外壁下方螺纹相连有套筒，所述套筒的两侧均通过销轴转动相连有斜杆，两个所述斜杆的底部均通过销轴转动相连有滑套，两个所述滑套的外壁分别与曲杆的外壁下方滑动卡接，两个所述滑套的底部固接有弯板，所述螺杆的顶部安装有把手。
7.优选的，所述机体的顶部安装有除尘风机。
8.优选的，两个所述滑套以套筒的中心为基准呈左右对称分布。
9.优选的，所述曲杆的一端固接有滑块，所述滑块的外壁与直杆的内壁滑动卡接，所述滑块的正面凹槽和直杆的正面通孔均螺纹相连有螺栓，所述直杆的正面等距加工有多个与螺栓相匹配的通孔。
10.优选的，所述机体的底部固接有底座，所述底座的顶部固接有圆壳，所述圆壳的顶部与机体的底部固定连接，所述圆壳的内壁底部固接有电机，所述电机的输出端外壁通过轴承与机体的底部转动相连，所述电机的输出端与底板的底部固定连接，所述直杆的外壁下方固接有第一槽轮，所述第一槽轮外壁通过皮带活动相连有第二槽轮，所述第二槽轮的内壁固接有马达，所述马达的底部与底板的顶部固定连接，所述马达的一侧通过导线电性相连有蓄电池，所述蓄电池的底部与底板的顶部固定连接，所述机体的正面安装有门体。
11.有益效果
12.本实用新型提供了一种配置热丝的真空镀膜装置。具备以下有益效果：该配置热丝的真空镀膜装置通过螺杆、斜杆和曲杆之间的配合，实现了工件的快速固定，防止工件在
加工时出现晃动的情况，解决了现有装置在进行工作时对工件的固定不够稳固的问题，在转动时不容易发生运动。
13.通过底板、直杆和马达之间的配合，实现了固定件之间距离的改变，可根据工件的大小来改变两个曲杆之间的距离，可适应大部分工件的加工，提高了装置的适用性。
附图说明
14.图1为本实用新型结构示意图；
15.图2为图1外观示意图；
16.图3为图1中螺杆、斜杆和曲杆的结构示意图；
17.图4为图1中底板、机体和马达的结构示意图。
18.图中：1、机体，2、热丝，3、环形板，4、卡块，5、底板，6、直杆，7、滑块，8、曲杆，9、滑套，10、弯板，11、斜杆，12、套筒，13、螺杆，14、把手，15、螺栓，16、圆壳，17、电机，18、马达，19、蓄电池，20、第二槽轮，21、第一槽轮，22、底座，23、门体，24、除尘风机。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.通过本领域人员，将本案中的零部件依次进行连接，具体连接以及操作顺序，应参考下述工作原理，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程。
21.实施例一：由图1-3可知，一种配置热丝的真空镀膜装置，包括机体1，机体1的内壁两侧均安装有热丝2，机体1内部设有一些工作所必须的靶材和其他部件由于发明点不在此处不做具体限定，机体1的内壁底部固接有环形板3，环形板3的顶部凹槽两侧均滑动卡接有卡块4，卡块4可在环形板3的内部运动，两个卡块4的顶部固接有底板5，底板5的顶部两侧均通过轴承转动相连有直杆 6，直杆6可通过轴承转动，直杆6的一侧通孔活动相连有曲杆8，曲杆8的顶部通过轴承转动相连有螺杆13，螺杆13的外壁下方螺纹相连有套筒12，套筒 12的两侧均通过销轴转动相连有斜杆11，斜杆11可通过销轴转动，两个斜杆 11的底部均通过销轴转动相连有滑套9，两个滑套9的外壁分别与曲杆8的外壁下方滑动卡接，两个滑套9可在曲杆8上直线运动，同时对套筒12进行限位，两个滑套9的底部固接有弯板10，螺杆13的顶部安装有把手14；
22.在具体实施过程中，值得特别指出的是，通过螺杆13、斜杆11和曲杆8之间的配合，实现了工件的快速固定，防止工件在加工时出现晃动的情况，解决了现有装置在进行工作时对工件的固定不够稳固的问题，在转动时不容易发生运动；
23.进一步的，机体1的顶部安装有除尘风机3，除尘风机3的型号不做限定；
24.在具体实施过程中，值得特别指出的是，除尘风机3可将机体1内部的灰尘进行吸收，保证内部的无尘环境；
25.进一步的，两个滑套9以套筒12的中心为基准呈左右对称分布；
26.在具体实施过程中，值得特别指出的是，两个滑套9以套筒12的中心为基准呈左右
对称分布可保证两个滑套9在运动时相对距离相等；
27.具体的，在使用该配置热丝的真空镀膜装置时，使用者可将工件放置在两个弯板10之间，然后转动把手14，把手14在转动时可带动螺杆13转动，螺杆 13在转动时可带动套筒12运动，套筒12在运动时通过斜杆11间接带动两个弯板10相互靠近进行固定。
28.实施例二：由图1-4可知，曲杆8的一端固接有滑块7，滑块7的外壁与直杆6的内壁滑动卡接，滑块7可在直杆6的内部运动，滑块7的正面凹槽和直杆6的正面通孔均螺纹相连有螺栓15，直杆6的正面等距加工有多个与螺栓15 相匹配的通孔将螺栓15固定在直杆6不同的通孔内，实现了曲杆8相对位置的改变，可用于固定不同尺寸的工件；
29.在具体实施过程中，值得特别指出的是，通过底板5、直杆6和马达18之间的配合，实现了固定件之间距离的改变，可根据工件的大小来改变两个曲杆8 之间的距离，可适应大部分工件的加工，提高了装置的适用性；
30.进一步的，机体1的底部固接有底座22，底座22的顶部固接有圆壳16，圆壳16的顶部与机体1的底部固定连接，圆壳16的内壁底部固接有电机17，电机17为伺服电机，电机17的输出端外壁通过轴承与机体1的底部转动相连，电机17的输出端与底板5的底部固定连接，直杆6的外壁下方固接有第一槽轮 21，第一槽轮21外壁通过皮带活动相连有第二槽轮20，第二槽轮20的内壁固接有马达18，马达18的型号为bm-2，马达18的底部与底板5的顶部固定连接，马达18的一侧通过导线电性相连有蓄电池19，蓄电池19为马达18供电，蓄电池19的底部与底板5的顶部固定连接，机体1的正面安装有门体23；
31.在具体实施过程中，值得特别指出的是，该装置实现了工件的多方位转动，避免镀膜不均匀的情况出现，提高了加工效果；
32.具体的，在上述实施例一的基础上，使用者可将电机17启动，电机17带动底板5转动，同时启动马达18，马达18通过第一槽轮21、第二槽轮20和皮带带动两个直杆6转动，提高了镀膜效果，同时使用者可将螺栓15取出并拉动曲杆8将滑块7运动到不同的位置进行固定，实现了曲杆8位置的改变，可适应不同型号的工件。
33.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。
34.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
35.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。