专利名称：整体式蒸发源电极的制作方法
技术领域：
整体式蒸发源电极涉及真空金属蒸发镀膜工艺及其设备。
目前真空金属蒸发镀膜的蒸发源是采用分体式电极，它由电极、夹具、压板等多部组成，由于分体使得电极内、电极与蒸发舟之间电、热传导不良，经常至使电极烧坏，并使蒸发效果变差、镀层不均匀，出现黑边、白边、漏镀等质量问题。
本实用新型的目的是提供一种整体式电极，以彻底解决上述问题。
本实用新型的解决方案是T型圆柱体电极下端垂直钻有水冷孔，其边缘攻丝，上部横切U型蒸发舟槽。
以下结合附图给出说明
图1是本实用新型结构图。
其中1－蒸发舟槽，2－水冷孔，3－攻丝整体式电极选用2＃紫铜，经车钻、绞、攻丝、铣等工艺成型，加工好的整体式电极装上绝缘垫，密封圈，放入真空舱，接上电源、水冷管即可工作。
本实用新型制造、装配简单、选材广泛、价格低。导电性能优，散热效果佳，蒸发效果大为改善，保证了镀膜质量。
权利要求整体式蒸发源电极，其特征是T型镀圆柱电极下端垂直钻有水冷孔，其边缘攻丝，上部横切凵型蒸发舟槽。
专利摘要整体式蒸发源电极，涉及真空金属蒸发镀膜工艺及其设备。目前使用的分体式电极因其结构复杂，电热特征差很难在实际中应用。本实用新型提出的整体式电极为T形圆柱体，下部钻有水冷孔，上部横切有蒸发舟槽，一体化设计，满足了镀膜工艺要求，极大延长电极寿命，具有成本低、效果好等优点。
文档编号C23C14/24GK2122147SQ92203469
公开日1992年11月18日 申请日期1992年2月26日 优先权日1992年2月26日
发明者龚德明, 何峰 申请人:华新水泥厂