一种免喷漆真空电镀工艺的制作方法_3

文档序号:8376299阅读:来源:国知局
[0033]其中蒸发室,裂解室和沉积室的三个室体是相通的。
[0034]实施例1:塑料汽车LOGO的真空电镀膜第一塑料工件制备:将清洁的塑料工件装入真空设备中,抽真空到lX10_2pa,充入氩气100SCCM及氧气100SCCM,辉光电压3000V,时间2分钟;
第二塑料工件制备:
所述第二塑料工件制备的步骤为,
Al、将第一塑料工件放入加有聚对二甲苯材料的CVD镀膜机的蒸发室内,当蒸发室内的真空度到达0.Spa时,将真空镀膜室内的聚对二甲苯升温至120 V进行气化升化,速率15A/s ;
A2、升化挥发的气体聚对二甲苯进入裂解室,温度控制在685°C,进行裂解催化,速率lOA/s,得到经高温裂解的单体聚对二甲苯;
A3、所述单体聚对二甲苯进入沉积室,温度控制在室温20°C,进行低温沉积,速率9A/s,沉积时间2小时,膜厚达6.4 μ m ;得到第二塑料工件;
所述蒸发室,裂解室和沉积室的三个室体是相通的。
[0035]第三塑料工件制备:
B1、将第二塑料工件在物理气相沉积设备中进行辉光清洗,氩气150sCCm,偏压2500V,时间4min ;优选地,氩气300sccm,偏压3000V,时间5min ;
B2、再进行溅射沉积铬合金,条件为氩气50SCCm,偏压100V,时间lmin,铬靶电流60A ;B3、再进行溅射反应沉积氮化铬合金,氮气50sCCm,时间lmin,铬靶电流60A ;得到第三塑料工件。膜厚达0.2um。
[0036]第四塑料工件制备:
Cl、将第一塑料工件放入加有四氟聚对二甲苯材料的CVD镀膜机的蒸发室内,当蒸发室内的真空度到达0.8pa时,将真空镀膜室内的四氟聚对二甲苯升温至140°C进行气化升化,速率15A/s ;
C2、升化挥发的气体四氟聚对二甲苯进入裂解室,温度控制在685°C,进行裂解催化,速率lOA/s,得到经高温裂解的单体四氟聚对二甲苯;
C3、所述单体四氟聚对二甲苯进入沉积室,温度控制在室温20°C,进行低温沉积,速率9A/s,沉积时间I小时,膜厚达3.2μπι;得到第四塑料工件;结构示意图见图1。其中a为第一透明有机膜,b为金属装饰膜,c为第二透明有机膜。
[0037]其中蒸发室,裂解室和沉积室的三个室体是相通的。
[0038]最终获得表面具有银白色金属外观的塑料汽车LOGO。具有高耐蚀防腐作用。
[0039]实施例2:塑料相框的真空电镀膜
第一塑料工件制备:将清洁的塑料工件装入真空设备中,抽真空到lX10_2pa,充入氩气100SCCM及氧气100SCCM,辉光电压3000V,时间2分钟;
第二塑料工件制备:
所述第二塑料工件制备的步骤为,
Al、将第一塑料工件放入加有聚对二甲苯材料的CVD镀膜机的蒸发室内,当蒸发室内的真空度到达1.2pa时,将真空镀膜室内的聚对二甲苯升温至180 V进行气化升化,速率25A/s ;
A2、升化挥发的气体聚对二甲苯进入裂解室,温度控制在705°C,进行裂解催化,速率13A/s,得到经高温裂解的单体聚对二甲苯; A3、所述单体聚对二甲苯进入沉积室,温度控制在室温25°C,进行低温沉积,速率12A/s,沉积时间2.5小时,膜厚达10.8ym;
得到第二塑料工件;
所述蒸发室,裂解室和沉积室的三个室体是相通的。
[0040]第三塑料工件制备:
B1、将第二塑料工件在物理气相沉积设备中进行辉光清洗,氩气250sCCm,偏压3500V,时间6min ;
B2、再进行溅射沉积钛合金,条件为氩气150SCCm,偏压150V,时间5min,钛靶电流
20A ;
B3、再进行溅射反应沉积氮化钛或氮化铬合金,氮气150sCCm,时间5min,钛靶电流20A ;得到第三塑料工件。膜厚达0.2um。
[0041]第四塑料工件制备:
Cl、将第一塑料工件放入加有四氟聚对二甲苯材料的CVD镀膜机的蒸发室内,当蒸发室内的真空度到达1.2pa时,将真空镀膜室内的四氟聚对二甲苯升温至180°C进行气化升化,速率25A/s ;
C2、升化挥发的气体四氟聚对二甲苯进入裂解室,温度控制在705°C,进行裂解催化,速率13A/s,得到经高温裂解的单体四氟聚对二甲苯;
C3、所述单体聚四氟聚对二甲苯进入沉积室,温度控制在室温25°C,进行低温沉积,速率12A/s,沉积时间2.5小时,膜厚达10.8μπι;得到第四塑料工件;结构示意图见图1。其中a为第一透明有机膜,b为金属装饰膜,c为第二透明有机膜。
[0042]其中蒸发室,裂解室和沉积室的三个室体是相通的。
[0043]最终获得表面具有黄金色金属外观的塑料相框。具有高耐蚀防腐作用。
[0044]实施例3:汽车把手的真空电镀膜
第一塑料工件制备:将清洁的塑料工件装入真空设备中,抽真空到lX10_2pa,充入氩气100SCCM及氧气100SCCM,辉光电压3000V,时间2分钟;
第二塑料工件制备:
所述第二塑料工件制备的步骤为,
Al、将第一塑料工件放入加有聚对二甲苯材料的CVD镀膜机的蒸发室内,当蒸发室内的真空度到达1.0 pa时,将真空镀膜室内的聚对二甲苯升温至140°C进行气化升化,速率20A/s ;
A2、升化挥发的气体聚对二甲苯进入裂解室,温度控制在690°C,进行裂解催化,速率12A/s,得到经高温裂解的单体聚对二甲苯;
A3、所述单体聚对二甲苯进入沉积室,温度控制在室温21°C,进行低温沉积,速率1A/s,沉积时间1.5小时,膜厚达5.4 μ m,得到第二塑料工件;
所述蒸发室,裂解室和沉积室的三个室体是相通的。
[0045]第三塑料工件制备:
B1、将第二塑料工件在物理气相沉积设备中进行辉光清洗,氩气200sCCm,偏压3000V,时间5min ;
B2、再进行溅射沉积铬合金,条件为氩气lOOsccm,偏压120V,时间3min,铬靶电流 40A ;
B3、再进行溅射反应沉积氮化铬合金,氮气lOOsccm,时间3min,铬靶电流40A ;得到第三塑料工件。膜厚达0.3um。
[0046]第四塑料工件制备:
Cl、将第一塑料工件放入加有八氟聚对二甲苯材料的CVD镀膜机的蒸发室内,当蒸发室内的真空度到达1.0pa时,将真空镀膜室内的八氟聚对二甲苯升温至150°C进行气化升化,速率20A/s ;
C2、升化挥发的气体八氟聚对二甲苯进入裂解室,温度控制在695°C,进行裂解催化,速率llA/s,得到经高温裂解的单体八氟聚对二甲苯;
C3、所述单体八氟聚对二甲苯进入沉积室,温度控制在室温21°C,进行低温沉积,速率lOA/s,沉积时间2小时,膜厚达7.2 μ m ;得到第四塑料工件;结构示意图见图1。其中a为第一透明有机膜,b为金属装饰膜,c为第二透明有机膜。
[0047]其中蒸发室,裂解室和沉积室的三个室体是相通的。
[0048]最终获得表面具有银白色金属外观的汽车把手。具有高耐蚀防腐作用。
[0049]尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例,可以理解的是,上述实施例是示例性的,不能理解为对本发明的限制,本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
【主权项】
1.一种免喷漆的真空电镀工艺,其特征在于,步骤为, 第一塑料工件制备:将清洁的塑料工件装入真空设备中抽真空并进行等离子辉光,得到第一塑料工件; 第二塑料工件制备:第一塑料工件进行化学气相沉积聚对二甲苯,使塑料工件的内、夕卜表面形成第一透明有机膜,得到第二塑料工件; 第三塑料工件制备:第二塑料工件进行物理气相沉积金属膜,在化学气相沉积层外表面形成金属装饰膜,得到第三塑料工件; 第四塑料工件制备:第三塑料工件进行化学气相沉积聚氟对二甲苯,在第三塑料工件的内、外表面形成第二透明有机膜,得到第四塑料工件。
2.权利要求1所述免喷漆的真空电镀工艺,其特征在于
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