发出信号。这样PVD腔室中无需设置上下两个观察窗，只需要一个观察窗即可观察，然后结合各传感器是否发出信号判断BLADE或DISK是否到达安全位置。
[0034]本发明相对于现有技术最大的改进在于采用漫反射传感器代替对射传感器，采用漫发射器能够降低成本，并且在腔室车库上仅设置一个观察窗，这样不仅方便操作，而且使得整个腔室更加美观。
[0035]实施例一
[0036]参见图3和图4，所述观察窗100设置在所述PVD腔室的腔室车库的下方。
[0037]较佳的，作为一种可实施方式，所述传感器的数量为四个，分别为旋转手臂外沿传感器600、旋转手臂内沿传感器700、遮挡盘内沿传感器500和遮挡盘外沿传感器400 ;所述旋转手臂外沿传感器600、旋转手臂内沿传感器700、遮挡盘内沿传感器500和遮挡盘外沿传感器400均设置在所述观察窗100的可视范围内。本实施例中，当检测所述遮挡盘200是否到达安全位置时，所述遮挡盘外沿传感器400在所述PVD腔室遮挡盘检测装置中作为限位使用；当检测所述旋转手臂300是否到达安全位置时，所述旋转手臂外沿传感器600作为限位使用。
[0038]使用时，遮挡盘电机将遮挡盘200通过旋转手臂300旋转至腔室车库，如图3及图4所示，旋转手臂外沿传感器600、旋转手臂内沿传感器700及遮挡盘内沿传感器500这三个漫反射传感器通过设置在下方的观察窗100检测到遮挡盘200是否到达安全位置，遮挡盘外沿传感器400作为限位使用，当旋转手臂外沿传感器600、旋转手臂内沿传感器700及遮挡盘内沿传感器500发出信号，而遮挡盘外沿传感器400不发出信号时，遮挡盘200到达安全位置，腔室可进行沉积工艺。当进行预烧、清洗和涂覆工艺时，遮挡盘电机通过旋转手臂300将遮挡盘200旋转至腔室内，基座升降电机上升将遮挡盘200顶起，旋转手臂回转至车库内，旋转手臂内沿传感器700检测旋转手臂是否到达安全位置，旋转手臂内沿传感器700作为限位使用，当旋转手臂内沿传感器700发出信号，而旋转手臂内沿传感器700不发出信号时，旋转手臂到达安全位置，顶针升降电机才允许上升。
[0039]本实施例需要预先设定好旋转手臂外沿传感器、旋转手臂内沿传感器、遮挡盘外沿传感器和遮挡盘内沿传感器的检测距离。
[0040]实施例二
[0041]参见图5和图6，本实施例中，所述观察窗100设置在所述PVD腔室的腔室车库的侧面。
[0042]较佳的，作为一种可实施方式，所述传感器的数量为三个，分别为旋转手臂外沿传感器600、旋转手臂内沿传感器700和遮挡盘内沿传感器500 ;所述旋转手臂外沿传感器600和遮挡盘内沿传感器500设置在所述观察窗100的可视范围内。本实施例中，所述旋转手臂内沿传感器700在所述PVD腔室遮挡盘检测装置中作为限位使用。所述旋转手臂内沿传感器700设置在所述观察窗的可视范围外。
[0043]本实施例中，在腔室车库侧面有观察窗100，遮挡盘电机将遮挡盘200通过旋转手臂300旋转至腔室车库，旋转手臂外沿传感器600及遮挡盘内沿传感器500通过观察窗100检测到遮挡盘200是否到达安全位置，旋转手臂内沿传感器700作为限位使用，当旋转手臂外沿传感器600及遮挡盘内沿传感器500发出信号，而旋转手臂内沿传感器700不发出信号时，遮挡盘200到达安全位置，腔室可进行沉积工艺。当进行预烧、清洗和涂覆工艺时，遮挡盘电机通过旋转手臂300将遮挡盘旋转至腔室内，基座升降电机上升将遮挡盘200顶起，旋转手臂300回转至车库内，旋转手臂外沿传感器600及遮挡盘内沿传感器500检测旋转手臂300是否到达安全位置，旋转手臂内沿传感器700作为限位使用，当旋转手臂外沿传感器600发出信号，而旋转手臂内沿传感器700不发出信号时，旋转手臂300到达安全位置，顶针升降电机才允许上升。
[0044]本实施例需要预先分别设定好旋转手臂外沿传感器、旋转手臂内沿传感器及遮挡盘内沿传感器的检测距离，当遮挡盘进入车库，到达遮挡盘内沿传感器及旋转手臂外沿传感器的检测范围内时，此时传感器发出信号，表明遮挡盘及旋转手臂都已到达安全位置，电机停止旋转，旋转手臂内沿传感器作为限位传感器，其检测范围内没有检测物体，因此没有信号发出，表明遮挡盘及旋转手臂没有超过限位。
[0045]较佳的，作为一种可实施方式，所述PVD腔室遮挡盘检测装置还包括外罩800，所述外罩800罩设在所述旋转手臂外沿传感器600和所述遮挡盘内沿传感器500的外围，所述外罩800与所述腔室车库一体成型。
[0046]本发明还提供一种PVD腔室，包括实施例一和实施例二所述的PVD腔室遮挡盘检测装置。
[0047]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以权利要求为准。
【主权项】
1.一种PVD腔室遮挡盘检测装置，包括传感器和观察窗，其特征在于，所述观察窗为一个，所述传感器均为漫反射传感器。
2.根据权利要求1所述的PVD腔室遮挡盘检测装置，其特征在于，所述观察窗设置在所述PVD腔室的腔室车库的下方。
3.根据权利要求2所述的PVD腔室遮挡盘检测装置，其特征在于，所述传感器的数量为四个，分别为旋转手臂外沿传感器、旋转手臂内沿传感器、遮挡盘内沿传感器和遮挡盘外沿传感器； 所述旋转手臂外沿传感器、旋转手臂内沿传感器、遮挡盘内沿传感器和遮挡盘外沿传感器均设置在所述观察窗的可视范围内。
4.根据权利要求3所述的PVD腔室遮挡盘检测装置，其特征在于，当检测所述遮挡盘是否到达安全位置时，所述遮挡盘外沿传感器在所述PVD腔室遮挡盘检测装置中作为限位使用； 当检测所述旋转手臂是否到达安全位置时，所述旋转手臂外沿传感器作为限位使用。
5.根据权利要求1所述的PVD腔室遮挡盘检测装置，其特征在于，所述观察窗设置在所述PVD腔室的腔室车库的侧面。
6.根据权利要求5所述的PVD腔室遮挡盘检测装置，其特征在于，所述传感器的数量为三个，分别为旋转手臂外沿传感器、旋转手臂内沿传感器和遮挡盘内沿传感器； 所述旋转手臂外沿传感器和遮挡盘内沿传感器设置在所述观察窗的可视范围内。
7.根据权利要求6所述的PVD腔室遮挡盘检测装置，其特征在于，所述旋转手臂内沿传感器在所述PVD腔室遮挡盘检测装置中作为限位使用。
8.根据权利要求7所述的PVD腔室遮挡盘检测装置，其特征在于，所述旋转手臂内沿传感器设置在所述观察窗的可视范围外。
9.根据权利要求5至8任意一项所述的PVD腔室遮挡盘检测装置，其特征在于，所述PVD腔室遮挡盘检测装置还包括外罩，所述外罩罩设在所述旋转手臂外沿传感器和所述遮挡盘内沿传感器的外围，所述外罩与所述腔室车库一体成型。
10.一种PVD腔室，其特征在于，包括权利要求1至9任意一项所述的PVD腔室遮挡盘检测装置。
【专利摘要】本发明提供一种PVD腔室遮挡盘检测装置和PVD腔室，包括传感器和观察窗，所述观察窗为一个，所述传感器均为漫反射传感器。本发明的PVD腔室遮挡盘检测装置仅采用一个观察窗，降低了设备造价，并且设备外型简单美观，再者本发明采用了漫反射激光传感器来检测遮挡盘位置，降低了设备成本。
【IPC分类】C23C14-54, C23C14-22
【公开号】CN104746034
【申请号】CN201310751929
【发明人】沈围, 叶华, 徐悦
【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年12月31日