的垂直距离实质上保持恒定。因此，通过保持所述垂直距离实质上为恒定的方式，基板101通过第一固定元件122与第二固定单元123稳固地保持，藉此使基板101的膨胀减到最小、或甚至避免基板101的膨胀。因此改善了涂膜材料层的质量，且防止了基板101的破
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[0050]第一固定元件122自定义接触位置的边缘接触表面121延伸第一长度LI，第一长度LI实质上平行于第一基板表面102。第二固定元件123自接触位置延伸第二长度L2，第二长度L2实质上平行于第二基板表面103。第一长度LI及第二长度L2中较短的长度，也就是图2中所示的范例的LI，提供了与固定力140结合的动量。
[0051]换句话说，当动量141因施加至基板101的应力(例如是力)而产生时，由第一长度LI及第二长度L2中较短的长度与固定力140所定义的动量抵消掉所述的动量141。为了避免第一固定元件122与第二固定元件123之间的间隙增大(也就是说，为了使第一固定元件122与第二固定元件123之间的垂直距离保持恒定)，需要选择足够大的固定力140的大小。
[0052]在选择固定力140的大小时，要考虑到第一及第二长度LI及L2 (特别是之中较短的长度)与典型的动量141 (例如是在沉积工艺中所产生的动量)。根据某些实施例，要考虑到例如是在沉积工艺中所产生的动量141的上限值。
[0053]以第8.5代的基板(2500毫米X 2200毫米)、3毫米的第一长度L1、0.3毫米的基板厚度、以及最小的层厚度作为范例，应围绕着基板的侧边施加168牛顿?毫米(N._!)的动量、或56牛顿(N)的总固定力，以防止膨胀。根据可与本文所描述的其它实施例结合的典型的实施例，基板周边的每单位长度的固定单元的中和动量(counter-momentum)应至少为10牛顿.毫米/米(N.mm/m)，例如是15N.mm/m或更高。典型的范例可以20N.mm/m、30N.mm/m、或甚至40N.mm/m作为下限值，以减少或避免弯曲。因此，必须考虑到:应力以及从而弯曲基板的力可取决于基板厚度、基板尺寸、沉积的层的层厚度、以及沉积的层的其它的特性(例如是层堆叠中的层的材料匹配(material matching)及类似的性质)。
[0054]固定力140可依照基板的类型(材料、厚度、面积尺寸等)、待沉积至基板101上的层的数量、待沉积的材料的种类、待沉积的层的厚度、工艺腔室的种类、工艺时间等等之中的至少一个而有不同的选择。
[0055]根据某些实施例，例如图1A、图1B及图1C中所示，一或多个固定单元120提供每基板边缘单位长度(I米)例如是1N.mm或更高的动量。边缘长度的单位可以是基板的边缘的长度，例如是实质上为矩形基板的一侧的长度。如此一来，可使动量(中和动量)相对于基板周边的长度进行标准化，使得动量的数值可以每I米的基板周边长度标准化。
[0056]关于图1A、图1B及图1C，用于基板101的各侧的固定单元120的数量可依据施加至基板101的总固定力(也就是说每基板边缘单位长度的动量)来决定。此外，根据某些实施例，可选择遍布于基板侧边的固定单元120的分布，以使基板101膨胀的减缩幅度达到最大值。
[0057]根据某些实施例，第二固定元件123是固定的，也就是说实质上为不可移动的，而第一固定元件122实质上于垂直基板表面102、103是可移动的。力元件130利用第一及第二固定元件122、123的至少一个向基板101提供了固定力140。
[0058]根据本文所描述的某些实施例，一或多个力元件130提供固定力140至可移动的第一固定元件122，以使基板101抵压至固定的第二固定元件123的第二表面125。
[0059]或者，第一固定元件122及第二固定元件123两者相对于彼此都是可移动的。在此情形下，一或多个力元件130可提供固定力140至第一固定元件122及第二固定元件123两者。举例来说，在0.7毫米的第8.5代玻璃上的2000纳米的铜层能够产生500N.mm/m的动量(对基板周边长度进行标准化的动量)。如此一来，具有例如是56个的多个固定位置，便需要提供28牛顿的力元件。
[0060]根据某些可与本文所描述的其它实施例结合的实施例，力元件130包括至少一个弹簧元件。然而，本发明并不限制于弹簧元件，可使用其它适合产生固定力的元件。范例包括但不限制于杠杆、压缩弹簧、压电装置及气动装置。
[0061]根据某些可与本文所描述的其它实施例结合的实施例，边缘接触表面121与第一固定元件122或第二固定元件123 —体成形。
[0062]图3绘示根据本文所描述的实施例的固定单元的另一范例。
[0063]如上所述，根据实施例，为了防止基板101的弯曲或膨胀，基板101以包括一或多个固定单元120的固定组件进行固定。
[0064]根据某些可与本文所描述的其它实施例结合的实施例，固定组件包括两个固定单元120a及120b。固定单元120a及120b两者皆附加至框架160。
[0065]第一固定单元120a包括第一固定元件122a及第二固定元件123a。第二固定单元120b包括第一固定元件122b及第二固定元件123b。如图2所示，在组合状态下，基板101分别插入于第一固定单元120a第一固定元件122a与第二固定元件123a之间，以及第二固定单元120b的第一固定元件122b与第二固定元件123b之间。
[0066]根据某些可与本文所描述的其它实施例结合的实施例，边缘接触表面121由至少一个阻挡元件126所提供。各个固定单元120a、120b可包括一或多个阻挡元件126。根据某些实施例，此至少一个阻挡元件126固定地被附加至相应固定单元120a、120b的第一固定元件122a、122b。根据其它实施例，至少一个阻挡元件126与相应固定单元120的第一固定元件122a、122b 一体成形，也就是说阻挡元件126与第一固定元件形成为一个单一部件。
[0067]根据某些可与本文所描述的其它实施例结合的实施例，第一固定元件122a、122b被固定在位置上。第二固定元件123a、123b在垂直方向上是可移动的，也就是说在实质上垂直于第一固定元件122a、122b的第一表面124(或第一基板表面102)的方向、及/或第二固定元件123a、123b的第二表面125 (或第二基板表面103)的方向上是可移动的。
[0068]各个固定单元120a及120b包括力元件130，用以利用第一及第二固定元件122a、122b及123a、123b的至少一个向基板101提供固定力140。在图3中，仅绘示出第二固定单元120b的力元件130，然虽未绘示出，另一力元件提供用于第一固定单元120a。
[0069]根据某些可与本文所描述的其它实施例结合的实施例，力元件130是弹簧元件。如图3所示，力元件130可为压力弹簧。然而，本发明并不限制于弹簧元件，可使用其它适合用以产生固定力的元件。范例包括但不限制于杠杆、压缩弹簧、压电装置及气动装置。
[0070]压力弹簧130连接至第一固定元件122a、122b与第二固定元件123a、123b两者。根据某些可与本文所描述的其它实施例结合的实施例，第一固定元件122a、122b被固定在位置上，而第二固定元件123a、123b在实质为垂直的方向上是可移动的，如前所述的内容。压力弹簧130将可移动的第一固定元件122a、122b朝向固定的第二固定元件123a、123b拉动。
[0071]在图3中，第一固定单元120a示出基板101存在于(插入于)第一固定元件122a与第二固定元件123a之间的状态。当压力弹簧130通过施加固定力140将第一固定元件122a朝向第二固定元件123a拉动时，第一固定元件122的第一表面124接触第一基板表面102，且第二固定元件123的第二表面125接触第二基板表面103。
[0072]结果使基板101稳固地保持在第一固定元件122a与第二固定元件123a之间。当基板101受到如图2中所示的动量141时，例如在沉积工艺期间因施加至基板101的应力而受到动量141时，透过固定力140的应用，将最小化、或甚至避免基板101的膨胀。特别地，如上文所解释，选择固定力140，使所述固定力可抵消于沉积工艺期间所产生的典型动量。然而，弯曲或膨胀也可能因基板本身的重量、或因基板本身之中的应力所导致，这些原因在基板的加热时可能会额外地被影响。因此，本发明的实施例也可用于中和此些弯曲机制。
[0073]图3中，第二固定单元120b示出基板101并未存在于(插入于)第一固定元件122b与第二固定元件123b之间的状态。当压力弹簧130通过施加固定力140将第一固定元件122b朝向第二固定元件123b拉动时，第一固定元件122b的第一表面124与第二固定元件123b的第二表面125之间的垂直距离相较于存在基板101的情况是缩减的。当并不存在基板时，第一固定元件122b的第一表面124与第二固定元件123b的第二表面125甚至可接触彼此。
[0074]除了本文所描述的实施例的优势外，图3所示的设计提供了进一步关于可挠性及/或搬运方面的改善。如图3所示，根据本文所描述的实施例的载具可包括定位销(pin)。定位销连接至第二固定单元。弹簧元件或另一用以提供力至第一固定元件及/或第二固定元件的装置被提供在定位销上、或平行于定位销。如图3所示，可在螺纹或另一可调节元件上调节的螺帽133，一般而言可提供作为弹簧或力元件的阻挡物。因此，可容易地调整所提供的用以减少基板弯曲或膨胀的力。
[0075]再者，在图3中所示的范例里，可容易地致动定位销131。举例来说，定位销设置为当载具相对一表面而移动时，例如是相对搬运系统的平面或甚至是设施的地面而移动时，使得固定单元设置在用于基板(例如是玻璃基板)插入的开口位置。载具远