一种硅片喷砂装置的制造方法_2

文档序号:9463121阅读:来源:国知局
砂过程中砂料不会污染环境,由此,密封板9应具有良好的密封效果,参=密封板9与滑槽11配合虽然可以起到一定的密封效果,但是为了使密封板9具有更好的密封效果,参见图4,所述箱体I上在位于取放窗口 6的两侧分别设有密封条22,该密封条22与箱体I可以为一体式结构,所述密封条22的轴线与立柱10的轴线平行,所述密封板9上开设有与密封条22配合的密封槽23 ;当然该密封条22也可以设置在密封板9上,密封条22的设置主要是用于使密封板9与箱体I之间形成迷宫式密封;
[0021]参见图2,所述上腔3的顶壁上还固定有照明灯13,所箱体I上还固定有控制照明灯13的照明开关14,该照明开关14应固定有箱体I的外壁上,以便于操作人员操作开关,该照明灯13可以由市电供电,该硅片喷砂装置还包括喷枪15,所述喷枪15位于上腔3内,所述下腔4内固定有喷砂器16,所述排砂口 5与喷砂器16之间通过排砂管17连接,所述喷砂器16通过喷砂管18与喷枪15连接,所述隔板2上开设有穿设喷砂管18的通孔,所述喷砂器16包括控制开关19,所述控制开关19位于上腔3内,所述控制开关19固定在隔板2上,所述喷砂器16由市电供电;
[0022]所述箱体I上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口 20,所述手持窗口20上固定有封闭手持窗口 20的手套21,所述手套21位于上腔3内。
[0023]具体实施时,操作人员先打开密封板9,通过取放窗口 6将产品放入上腔3内,然后再闭合密封板9,完成产品的放置,然后,操作人员通过手持窗口 20的手套21将手伸入上腔3内,打开控制开关19,喷砂器16工作,喷砂器16将砂料处理后经喷砂管18送至喷枪15,然后利用喷枪15对硅片进行喷砂处理,利用手套21操作人员还可以对位于上腔3内的产品进行相关的操作;喷砂过程中,没有保留在产品上的砂料经排砂口 5进入排砂管17,为了避免砂料在排砂口 5处泄漏,所述隔板2上在排砂口 5处设有伸入下腔4的凸环24,所述排砂管17固定在凸环24上,排砂管17先套设在凸环24上以后再进行固定,排砂管17将砂料送入喷砂器16内循环利用,减小了砂料的浪费。
[0024]当然,参见图1,为了便于操作密封板9,使得产品容易取出或放入,所述密封板9上固定有便于操作人员打开密封板9的把手25,所述把手25通过粘接方式固定在密封板9上。
[0025]长期使用后喷砂器16可能需要维护,由于喷砂器16位于下腔4内,为了便于喷砂器16的维护,所述箱体I上还开设有检修喷砂器16的检修口 26,所述箱体I上固定有封闭检修口 26的门体27,所述门体27转动连接在箱体I上,所述门体27上还应设置锁具以避免无关人员打开门体27。
[0026]以上仅为本发明的优选实施方式,旨在体现本发明的突出技术效果和优势,并非是对本发明的技术方案的限制。本领域技术人员应当了解的是,一切基于本发明技术内容所做出的修改、变化或者替代技术特征,皆应涵盖于本发明所附权利要求主张的技术范畴内。
【主权项】
1.一种硅片喷砂装置,其特征在于:包括箱体(I),所述箱体(I)内设有将箱体(I)分为上腔⑶和下腔⑷的隔板(2),所述隔板(2)上开设有排砂口(5),所述箱体⑴上开设有取放窗口(6),所述箱体(I)上还开设有观察窗口(7),所述取放窗口(6)和观察窗口(7)均与上腔(3)相通,所述箱体(I)上还固定有封闭观察窗口(7)的亚克力板(8),所述箱体(I)上设有封闭取放窗口(6)的密封板(9),所述箱体(I)上焊接有两根对密封板(9)进行定位的立柱(10),所述立柱(10)分别位于取放窗口(6)的两侧,所述立柱(10)上开设有供密封板(9)上、下滑动的滑槽(11),所述取放窗口(6)的下端固定有对密封板(9)进行限位的限位台(12),所述限位台(12)上开设有容纳密封板(9)的容纳槽,所述上腔(3)的顶壁上还固定有照明灯(13),所箱体(I)上还固定有控制照明灯(13)的照明开关(14),该硅片喷砂装置还包括喷枪(15),所述喷枪(15)位于上腔(3)内,所述下腔(4)内固定有喷砂器(16),所述排砂口(5)与喷砂器(16)之间通过排砂管(17)连接,所述喷砂器(16)通过喷砂管(18)与喷枪(15)连接,所述隔板(2)上开设有穿设喷砂管(18)的通孔,所述喷砂器(16)包括控制开关(19),所述控制开关(19)位于上腔(3)内,所述控制开关(19)固定在隔板(2)上,所述箱体(I)上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口(20),所述手持窗口(20)上固定有封闭手持窗口(20)的手套(21),所述手套(21)位于上腔(3)内。2.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂装置,其特征在于:所述箱体(I)上在位于取放窗口(6)的两侧分别设有密封条(22),所述密封条(22)的轴线与立柱(10)的轴线平行,所述密封板(9)上开设有与密封条(22)配合的密封槽(23)。3.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂装置,其特征在于:所述隔板(2)上在排砂口(5)处设有伸入下腔(4)的凸环(24),所述排砂管(17)固定在凸环(24)上。4.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂装置,其特征在于:所述密封板(9)上固定有便于操作人员打开密封板(9)的把手(25),所述把手(25)通过粘接方式固定在密封板(9)上。5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种硅片喷砂装置,其特征在于:所述箱体(I)上还开设有检修喷砂器(16)的检修口(26),所述箱体(I)上固定有封闭检修口(26)的门体(27),所述门体(27)转动连接在箱体(I)上。
【专利摘要】本发明涉及一种硅片喷砂装置,解决了现有技术中硅片喷砂处理过程中砂料回收率低、喷砂过程对环境污染严重的不足。本发明提供的一种硅片喷砂装置,在箱体内设置隔板,隔板将箱体分为上腔和下腔,喷枪、控制开关、照明灯均位于上腔内,下腔内固定有喷砂器,隔板上开设有排砂口,在下腔内设置有喷砂器,排砂口通过排砂管与喷砂器连接,喷砂器通过喷砂管与喷枪连接,喷砂器对砂料进行处理后经喷砂管送至喷枪,操作人员通过取放窗口将产品置于上腔内,然后利用喷枪对产品进行喷砂处理,喷砂过程中密封板将取放窗口密封,操作人员通过手持窗口将手伸入手套内对位于上腔内的产品进行相关操作。
【IPC分类】B24C9/00, B24C3/04
【公开号】CN105215859
【申请号】CN201510725915
【发明人】陈小力, 张家伟
【申请人】浙江辉弘光电能源有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2015年10月30日
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