轴22连接，该转轴22上设有同步转动的蜗杆23，转轴22的两端均设有轴承24。
[0034]结合图4和图5所示，托盘4包括两个纵梁41及设于纵梁41之间的横梁42，每个纵梁41上均设于端面朝上的第一定位球71，横梁42上设有端面朝上的第二定位球72，并且，两个第一定位球71和第二定位球72处于三角位置(即非直线上)并能重复定位光学元件10 ；
[0035]具体地，参考图6所示，纵梁41横向延伸有一承接板61，该承接板61下端面设有一调节板62，该调节板62的下端面设有一水平托板63，第一定位球71则设于该水平托板上。结合图7所示，横梁42下端设有一调节板65，调节板65下端面设有一水平托板64，第二定位球72则设于该水平托板64上
[0036]结合图2所示，丝杆3的竖直地设置于托盘4的横梁42上，上端具有转动配合的旋转螺母31，旋转螺母31的外壁套设有一同步转动的蜗轮32，该蜗轮32上成型有与蜗杆23啮合传动的蜗齿。
[0037]结合图4所示，导向机构5对称地布置于托盘4的两侧。每个导向机构5包括滑轨51和滑块52，滑轨51竖直地设置于纵梁41上；滑块52设于连接板14上并与滑轨51滑动导向配合。
[0038]进一步，旋转螺母31设于一安装座33内，该安装座33上具有与丝杆3转动配合的轴承34，安装座33位于轴承34两端分别设有挡圈36，对应地，丝杆3的上端和下端均设有与挡圈36限位配合的限位螺母35。
[0039]结合图5所示，纵梁41向外延伸有一感应块44，对应地，连接板14的下端部设于一供感应块44触碰以促使电机2停止工作的限位开关91和限位开关92 (见图1所示)。
[0040]离子束抛光加工需要在真空环境进行，被加工的光学元件10首先被安装于传递室真空室的上件工位，通过真空室与工艺真空室的传递窗传递送至工艺真空室加工工位后，关闭传递窗的插阀门。光学元件提升定位装置启动，首先电机2启动旋转，通过联轴器21带动蜗杆23轴转动，通过键传动带动蜗杆23转动，蜗杆23转动带动涡轮转动，涡轮与旋转螺母31通过紧定螺钉联接在一起，因此，旋转螺母31与涡轮同步转动，旋转螺母31转动带动提升杆转动，由于旋转螺母31固定不动，提升杆在转动的同时将上下移动，提升杆9上下移动带动放置有光学元件10的托盘4上下运动，达到被加工的光学元件10提升、定位要求。
[0041]真空系统启动待工艺真空度等指标满足工艺要求，系统发出指令，离子束运动系统启动，进行离子束沉积修整加工。
[0042]此提升定位装置提起被加工的光学元件的竖直方向的重复定位精度达到0.003mm，同时由于光学元件10提升盘2的机构包含有三个定位球，三点定位球将被加工的光学元件10的平面重复定位误差为0.001mm。
【主权项】
1.一种真空室光学元件升降定位装置，其特征在于包括 架体，包括至少两块立板及设于立板上的顶板； 电机，设于前述顶板上并具有水平输出的动力输出端，该动力输出端上连接有一蜗杆， 托盘，包括至少两个纵梁及设于纵梁之间的横梁，每个纵梁上均设于端面朝上的第一定位球，前述横梁上也设有端面朝上的第二定位球，并且，前述的两个第一定位球和第二定位球处于非直线上并能重复定位光学元件； 丝杆，竖直地设置于前述托盘的横梁上，上端具有转动配合的旋转螺母，该旋转螺母外壁具有与前述蜗杆转动配合的蜗齿，所述顶板开设有供丝杆通过的通孔；以及 导向机构，对称地布置于前述托盘的两侧。2.根据权利要求1所述的真空室光学元件升降定位装置，其特征在于所述的顶板下端面向下延伸设置有连接板，所述的导向机构包括 滑轨，竖直地设置于所述的纵梁上；以及 滑块，设于前述的连接板上并与前述滑轨滑动导向配合。3.根据权利要求1所述的真空室光学元件升降定位装置，其特征在于所述的旋转螺母设于一安装座内，该安装座上具有与丝杆转动配合的轴承，所述安装座位于轴承两端分别设有挡圈，对应地，所述丝杆的上端和下端均设有与前述挡圈限位配合的限位螺母。4.根据权利要求1或3所述的真空室光学元件升降定位装置，其特征在于所述的纵梁向外延伸有一感应块，对应地，所述连接板的下端部设于一供前述感应块触碰以促使电机停止工作的限位开关。5.根据权利要求1所述的真空室光学元件升降定位装置，其特征在于所述纵梁横向延伸有一承接板，该承接板下端面设有一调节板，该调节板的下端面设有一水平托板，所述的第一定位球则设于该水平托板上。6.根据权利要求1所述的真空室光学元件升降定位装置，其特征在于所述电机输出端设有一联轴器，该联轴器与一转轴连接，该转轴上设有同步转动的蜗杆。7.根据权利要求1所述的真空室光学元件升降定位装置，其特征在于所述旋转螺母的外壁套设有一同步转动的蜗轮，该蜗轮上成型有所述的蜗齿。
【专利摘要】一种真空室光学元件升降定位装置，其特征在于包括架体、电机、托盘、丝杆及导向机构，架体包括至少两块立板及设于立板上的顶板；电机的动力输出端上连接有一蜗杆，托盘包括至少两个纵梁及设于纵梁之间的横梁，每个纵梁上均设于端面朝上的第一定位球，前述横梁上也设有端面朝上的第二定位球，并且，前述的两个第一定位球和第二定位球处于非直线上并能重复定位光学元件；丝杆竖直地设置于前述托盘的横梁上，上端具有转动配合的旋转螺母，该旋转螺母外壁具有与前述蜗杆转动配合的蜗齿。与现有技术相比，本发明的优点在于：整体结构简单、使用方便，控制精确并容易调整提升距离；具有精确的三点定位机构使得重复定位误差较小。
【IPC分类】B24B41/02, B24B13/005, B24B13/00
【公开号】CN105234772
【申请号】CN201510661587
【发明人】王大森, 聂凤明, 吴庆堂, 张广平, 郭成君, 裴宁, 纪淑花, 朱鸿磊
【申请人】中国兵器科学研究院宁波分院
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年10月14日