Z1方向下降，使搬送垫23的抽吸保持面24与板状工件W的上表面Wa接触。然后，利用抽吸源25使抽吸力作用于抽吸保持面24，从而利用搬送垫23的抽吸保持面24抽吸保持板状工件W的上表面Wa。这样，搬出构件20对抽吸保持在卡盘工作台1上的板状工件W进行抽吸保持。在该时刻，抽吸阀8打开，卡盘工作台2也抽吸保持板状工件W。
[0036](2)外周上浮工序
[0037]如上述那样，在利用卡盘工作台2和搬出构件20从上下表面抽吸板状工件的状态下，如图3所示，仅使板状工件W的外周部Wc从卡盘工作台1的抽吸区域3上浮。具体而言，一边保持着打开抽吸阀8的状态利用抽吸区域3抽吸保持板状工件W的下表面Wb的中央部分，一边打开第1供给阀11使清洗液供给源10和多孔板2经由清洗液供给线9连通。
[0038]由此，清洗液14沿着清洗液供给线9流入多孔板2的侧面，并且，清洗液14从抽吸区域3的外周部分喷出。由于搬送垫23形成为比板状工件W小的直径，因此，喷出的清洗液14从下方将板状工件W的外周部Wc上推，仅使外周部Wc从抽吸区域3上浮。此时，由于来自抽吸源7的抽吸力，使得侵入多孔板2的内部的磨削肩与清洗液14 一起从多孔板2排出，附着于板状工件W的外周的磨削肩借助于喷出的清洗液14被排出至外侧。这样的外周上浮工序也可以在上述的板状工件保持工序之前实施。
[0039](3)板状工件上浮工序
[0040]接下来，如图4所示，使板状工件W的整体从卡盘工作台1的抽吸区域3上浮。具体而言，保持着打开第1供给阀11的状态关闭抽吸阀8来切断抽吸区域3中的对板状工件W的抽吸。与此同时，打开第2供给阀12，使供给至抽吸区域3的清洗液的供给量例如成为5L/min 以上。
[0041]当流入多孔板2的侧面的清洗液的供给量例如成为5L/min以上时，清洗液14从多孔板2的抽吸区域3的外周部分朝向中央流动。利用该清洗液14从下方将板状工件W上推，使板状工件W的整体从抽吸区域3上浮。另外，如果在向抽吸区域3供给清洗液的供给路径中设置升压构件来提高清洗液的供给压力，则能够使清洗液遍及整个抽吸区域3，从而能够可靠地使板状工件W上浮。进行控制以使该升压构件在板状工件W的磨削过程中等卡盘工作台1旋转时不动作。
[0042](4)搬出工序
[0043]在板状工件W的整体从抽吸区域3上浮之后，如图5所示，马达32使滚珠丝杠31转动，由此使搬出构件20与升降部34 —起沿Z2方向上升，并使搬送垫23所抽吸保持的板状工件W从卡盘工作台1分离，将板状工件W搬出。然后，将搬出的板状工件W搬送至期望的搬送目的地。
[0044]这样，在板状工件的搬出方法的第1例中，一边利用卡盘工作台1抽吸保持板状工件W —边使清洗液14从多孔板2的抽吸区域3的外周部分喷出，仅使板状工件W的外周部Wc上浮，然后，再实施板状工件上浮工序，使板状工件W的整体从抽吸区域3上浮，因此不存在这样的情况:板状工件W的外周部Wc如吸盘那样贴附在抽吸区域3上从而使得板状工件W弯曲并破裂。
[0045]另外，由于从抽吸区域3的外周部分喷出清洗液14使喷出板状工件W的外周部Wc先上浮，因此，能够利用清洗液14预先将浸入多孔板2内部的磨削肩排出，从而能够防止在将板状工件W从卡盘工作台2搬出时磨削肩附着于板状工件W的下表面Wb上。
[0046]2、板状工件的搬出方法的第2例
[0047]作为将板状工件W从卡盘工作台1搬出的构件，如图6所示，也可以使用对板状工件W的外周部Wc进行边缘夹持的搬出构件40。搬出构件40具备:臂部41 ;板43，其经由连结部42与臂部41的一端连接；开闭机构44，其配设在板43的外周侧，并能够沿板43的径向移动；以及外周保持部45，其对板状工件W的外周部Wc进行边缘夹持。外周保持部45与开闭机构44连接。开闭机构44根据板状工件W的尺寸而沿板43的径向移动，由此，能够对应于板状工件W的尺寸从外周侧保持板状工件。另外，图6所示的磨削装置中，由于除搬出构件40外的结构与图1相同，因此，对与图1相同地构成的部位标记相同的标号，并省略其说明。
[0048]接下来，对使用搬出构件40将板状工件W从卡盘工作台1搬出的方法进行说明。并且，与板状工件的搬出方法的第1例相同，磨削后的板状工件W被抽吸保持在卡盘工作台1上。
[0049](1)外周上浮工序
[0050]如图7所示，仅使板状工件W的外周部Wc从卡盘工作台1的抽吸区域3上浮。即，一边利用抽吸区域3抽吸保持板状工件W的下表面Wb的中央部分，一边打开第1供给阀11使清洗液14经由清洗液供给线9从多孔板2的侧面侧流入其内部。由此，清洗液14从多孔板2的抽吸区域3的外周部分喷出，从下方将板状工件W的外周部Wc上推，仅使板状工件W的外周部Wc从抽吸区域3上浮。在板状工件的搬出方法的第2例中，为了使板状工件W的外周部Wc成为容易进行边缘夹持的状态，因此，在后述的板状工件保持工序之前实施外周上浮工序。
[0051](2)板状工件保持工序
[0052]接下来，如图8所示，利用搬出构件40对抽吸保持在卡盘工作台1上的板状工件W的外周部Wc进行边缘夹持。具体而言，借助开闭机构44预先使外周保持部45位于比板状工件W的外周部Wc靠外侧的位置，马达32使滚珠丝杠31转动而使搬出构件40与升降部34 —起沿Z1方向下降，并以围绕板状工件W的外周部Wc的方式对外周保持部45进行定位。
[0053]接下来，借助开闭机构44使外周保持部45朝向板状工件W移动，对从抽吸区域3的外周部分上浮的板状工件W的外周部Wc进行边缘夹持。
[0054](3)板状工件上浮工序
[0055]接下来，如图9所示，使板状工件W的整体从卡盘工作台1的抽吸区域3上浮。保持打开第1供给阀11的状态，关闭抽吸阀8来切断抽吸区域3中的对板状工件W的抽吸。与此同时，打开第2供给阀12。如果流入多孔板2的侧面的清洗液的供给量例如成为5L/min以上，则清洗液14从多孔板2的抽吸区域3的外周部分朝向中央流动。利用该清洗液14从下方将板状工件W上推，使板状工件W的整体从抽吸区域3上浮。另外，如果在向抽吸区域3供给清洗液的供给路径中设置升压构件来提高清洗液的供给压力，则能够使清洗液遍及整个抽吸区域3，从而能够可靠地使板状工件W上浮。进行控制以使该升压构件在板状工件W的磨削过程中等卡盘工作台1旋转时不动作。
[0056](4)搬出工序
[0057]在板状工件W的整体从抽吸区域3上浮后，如图10所示，利用搬出构件40将板状工件W从卡盘工作台1搬出。马达32使滚珠丝杠31转动而使搬出构件40与升降部34 —起沿Z2方向上升，使通过外周保持部45进行着边缘夹持的板状工件W从卡盘工作台1分离，并将该工件搬出。然后，将搬出的板状工件W搬送至期望的搬送目的地。
[0058]这样，在板状工件的搬出方法的第2例中，由于在通过清洗液14仅使板状工件W的外周部Wc上浮并借助搬出构件40的外周保持部45对板状工件W的外周部Wc进行边缘夹持之后，依次实施板状工件上浮工序和搬出工序，因此，板状工件W不会弯曲而破裂，并且，在将板状工件W从卡盘工作台1搬出时，磨削肩也不会附着于板状工件W的下表面Wb上。
[0059]在板状工件的搬出方法的第1例和板状工件的搬出方法的第2例中，为了使板状工件W上浮，没有使用空气，而是使清洗液14从抽吸区域3的外周侧朝向中央部行进，因此，难以发生板状工件W的外周部Wc的破裂，并且，能够防止板状工件W在卡盘工作台1的抽吸区域3上振动。
【主权项】
1.一种板状工件的搬出方法，其是在磨削装置中利用搬出构件将实施了磨削加工的板状工件从卡盘工作台搬出的搬出方法，所述磨削装置具备:所述卡盘工作台，其抽吸保持板状工件；磨削构件，其对该卡盘工作台所抽吸保持的板状工件进行磨削加工；以及所述搬出构件，其保持被该磨削构件进行了磨削的板状工件并将板状工件从该卡盘工作台搬出，其中， 该卡盘工作台具备:多孔板，其具有抽吸保持板状工件的抽吸区域；框体，其使该抽吸区域敞开并围绕该多孔板的侧面和下表面；抽吸线，其形成于该框体的底面的中央部分，使该多孔板与抽吸源连通；以及清洗液供给线，其形成于该框体的底面的外周部分处或该框体的内侧面上，使该多孔板与清洗液供给源连通，使清洗液从该抽吸区域的外周部分喷出， 所述板状工件的搬出方法包括: 外周上浮工序，一边利用该抽吸线使该多孔板与该抽吸源连通以通过该抽吸区域抽吸保持板状工件，一边将清洗液供给至该清洗液供给线，使清洗液从该抽吸区域的外周部分喷出，仅使板状工件的外周部从该抽吸区域上浮； 板状工件保持工序，利用该搬出构件来保持板状工件；以及 搬出工序，在该板状工件保持工序和该外周上浮工序后，切断该抽吸区域中的对板状工件的抽吸，使整个板状工件从该卡盘工作台分离，并将板状工件从该卡盘工作台搬出。
【专利摘要】本发明提供板状工件的搬出方法，其在将板状工件从卡盘工作台搬出时使磨削屑不会附着于板状工件的下表面上。通过实施下述工序：外周上浮工序，一边利用抽吸线使多孔板与抽吸源连通以通过抽吸区域抽吸保持板状工件，一边将清洗液供给至清洗液供给线，使清洗液从抽吸区域的外周部分喷出，仅使板状工件的外周部从抽吸区域上浮；板状工件保持工序，利用搬出构件保持板状工件；以及搬出工序，使整个板状工件从卡盘工作台分离，并将板状工件从卡盘工作台搬出，由此，能够防止板状工件的外周部如吸盘那样贴附在抽吸区域上从而使得板状工件弯曲而破裂，并且能够防止在将板状工件从卡盘工作台搬出时磨削屑附着于板状工件的下表面。
【IPC分类】B24B41/00, B24B41/06
【公开号】CN105313008
【申请号】CN201510337277
【发明人】山端一郎, 浦山孝世
【申请人】株式会社迪思科
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2015年6月17日