渗碳装置的制造方法_2

文档序号:9768907阅读:来源:国知局
态设置。而且,从空气源导出的空气通过主管17、分支管18、供给配管16、接受部件15而从接受部件15的开口 15c沿着加热器9的长度方向上升。
[0035]此时,如图2所示,从接受部件15的开口15c流出的空气沿着加热器9的长度方向上升,由此进入保护管10与加热器9的管的间隙,保持原样地沿着加热器9的长度方向上升。
[0036]此外,从供给配管16流入接受部件15内的空气与肋板15b碰撞,由此沿肋板15b的长度方向即水平方向扩散,从多个开口 15c的各个流出并上升。
[0037]另外,在炉体2,还设置有主要用于对其处理室3内的绝热层4内面和保护管10的外周面进行燃尽处理的空气供给管(未图示)。
[0038]另外,在炉体2,在其顶棚部2a设置有一个或多个用于供给乙炔类气体等渗碳气体(碳化氢类气体)的渗碳气体供给管(未图示)。渗碳气体供给管,其前端开口于处理室3内,并且后端连接至渗碳气体供给源(未图示)。渗碳气体供给源将既定流量的渗碳气体吐出至渗碳气体供给管。由此,由渗碳气体供给源将经流量设定的渗碳气体供给至处理室3内。
[0039]另外,在炉体2,设置有用于将处理室3内的气体(渗碳气体或渗碳气体热分解后的热分解气体等)排出至处理室3外的排气管(未图示)。在该排气管,连接有排气栗(未图示),通过该排气栗的工作而将处理室3内的气体排出至炉体2外。
[0040]另外,在炉体2,在其顶棚部2a配置有搅拌叶片19。搅拌叶片19由电动机(未图示)旋转驱动,从而搅拌处理室3内的气体。此外,关于该搅拌叶片19,也能够省略其设置。
[0041 ]另外,在炉体2,多个热电偶20在处理室3内离散配置为包围被处理物W。这样的热电偶20检测与被处理物W的表面温度同等的处理室3内的气氛温度,将检测结果输出至控制部(未图示)。
[0042]在通过这样的渗碳装置I进行渗碳处理时,首先,将被处理物W以承载于托盘8的状态从搬入室(未图示)搬入炉体2内的处理室3内。然后,如果将被处理物W安置于炉床5上的既定位置,则使排气栗工作而将处理室3内的空气排出至外部,将处理室3内的气氛(被处理物W的周围气氛)减压至既定的真空状态(压力状态)。
[0043]另外,与减压并行或在减压后,对加热器9通电而将处理室3内加热,加热被处理物W。此时,基于热电偶20的检测结果而加热处理室3内即被处理物W的表面温度,由此,在温度一定的压力环境下花费一定时间使被处理物W的表面温度徐徐地升温且达到渗碳温度。
[0044]然后,如果使被处理物W的表面温度达到渗碳温度并稳定在该渗碳温度下,则将既定流量的渗碳气体连续地导入处理室3内。另一方面,也使排气栗工作,从而将处理室3内的气体从排气管排出至外部。
[0045]通过并行地进行这样的渗碳气体的导入、排气栗的排气,从而处理室3内的真空度(压力)被维持为既定压力(渗碳压力)。即,连续导入处理室3内的渗碳气体的导入量和来自排气管的气体的排出量平衡,由此,处理室3内的压力被维持为期望的渗碳压力。
[0046]然后,渗碳压力的维持状态持续既定的时间(渗碳时间),由此,渗碳气体热分解而产生的碳原子(C)从被处理物W的表面徐徐地浸入被处理物W内。结果,在被处理物W的表面附近,形成有既定深度(渗碳深度)的渗碳层。
[0047]如果进行这样的渗碳处理,则渗碳气体除了在高温减压下分解成碳和氢以外,有时候还引起聚合反应而生成聚合物。另外,分解后的碳有时候也煤化。而且,这样的聚合物和煤虽然在加热器9侧大都附着于外插于此的保护管10的外周面,但是一部分从保护管10的下端侧开口等进入而附着于加热器9的外周面。
[0048]如果这样地在预先设定的时间内进行了渗碳处理,则停止渗碳气体的供给,进一步也停止加热器9的加热。然后,排气栗的减压也停止,将被处理物W从处理室3内以承载于托盘8的状态搬出。随后,将新的被处理物W搬入处理室3内,重复上述的操作,由此,对新的被处理物W也进行渗碳处理。
[0049]重复对于被处理物W的渗碳处理的次数,如果上述的聚合物和煤大都附着并堆积于加热器9表面或处理室3内,则进行燃尽。此时,在本实施方式中,特别地设置有朝向加热器9供给空气的气体供给机构,因而经由接受部件15使空气从加热器9的下侧朝向上侧流动。因此,能够对竖立配置于保护管10内的加热器9容易且有效地进行燃尽处理,并且,能够与处理室3内的燃尽分开实施对于该加热器9的燃尽。
[0050]S卩,在本实施方式的渗碳装置I中,能够将从主管17导入的空气经由分支管18、供给配管16而供给至接受部件15,从该接受部件15沿着各加热器9的外周面在保护管10内上升。于是,沿着加热器9上升的空气从位于接受部件15的开口 15c的正上方的保护管10与加热器9的间隙进入,保持原样地上升而从上部保护管接受部12侧流出,排出至炉体2的外部。[0051 ]这样地流入保护管10内的空气由加热器9的余热等加热,由此,通过形成上升气流而可靠地流动于保护管10内,与加热器9的外周面接触,从而将附着于加热器9的外周面的上述的聚合物或煤可靠地燃尽。
[0052]因而,依据本实施方式的渗碳装置I,将加热器9容纳于与炉体2内的处理室3分离的保护管10内,从而能够将除去加热器9的污垢的燃尽与处理室3内的燃尽分开实施。因此,能够有助于操作率提尚。
[0053]另外,气体供给机构具备配置于保护管10的下部开口的下方并接受保护管10的下端的接受部件15和将燃尽用的气体供给至接受部件15内的供给配管16。因此,能够通过接受部件15使由供给配管16供给的空气朝向多个加热器9流动。因而,能够在配置有各种构成部件而空间不太富余的炉体2的底部效率比较良好地配置气体供给机构。
[0054]另外,将多个加热器9沿水平方向排列配置而形成加热器列11,针对加热器列11而配置一个接受部件15的筒状体15a。因此,如前所述,能够效率比较良好地在炉体2的底部配置气体供给机构。
[0055]另外,由于设置有多个(2列)加热器列11,因而能够将处理室3内均匀地加热而良好地进行渗碳处理。
[0056]另外,在接受部件15的筒状体15a内沿着其长度方向设置肋板15b,由肋板15b支撑加热器9的下端。因此,能够使从供给配管16流入接受部件15内的空气与肋板15b碰撞,从而沿肋板15b的长度方向(水平方向)扩散,从多个开口 15c的各个流出而朝向加热器9上升。由此,能够通过简易的构成来良好地进行多个加热器9的燃尽处理。
[0057]此外,本公开的渗碳装置不限定于上述实施方式,在不脱离本公开的主旨的范围内,能够进行各种变更。
[0058]例如,关于炉体2的构成和处理室3的构成、用于搬送被处理物W的机构,不限定于上述实施方式,能够采用各种构成。
[0059]另外,关于加热器9的数量和配置(排列),也不限定于上述实施方式,能够采用各种方式。
[0060]而且,关于将空气(燃尽用的气体)供给至加热器9的下端部的气体供给机构,也不限定于上述实施方式,能够采用各种方式。
[0061]产业上的可利用性
依据本公开所涉及的渗碳装置,通过将加热器容纳于与炉体内的加热处理室分离的保护管内,从而能够将除去加热器的污垢的燃尽与加热处理室内的燃尽分开实施,能够有助于操作率提高。
[0062]符号说明
1渗碳装置
2炉体
9加热器
10保护管
11加热器列
15接受部件 15a筒状体 15b肋板
16供给配管
17主管
18分支管
W 被处理物。
【主权项】
1.一种渗碳装置,是具有将被处理物加热处理而进行渗碳处理的炉体的渗碳装置, 在所述炉体内,沿铅垂方向竖立设置有用于将所述被处理物加热处理的加热器, 在所述加热器的下端部,设置有朝向该加热器供给燃尽用的气体的气体供给机构, 所述加热器插通于沿铅垂方向竖立设置的保护管内, 所述气体供给机构将燃尽用的气体供给至所述保护管与所述加热器之间。2.根据权利要求1所述的渗碳装置,其特征在于,所述气体供给机构具备:接受部件,其配置于所述保护管的下部开口的下方,接受所述保护管的下端;和供给配管,其将燃尽用的气体供给至该接受部件内。3.根据权利要求2所述的渗碳装置,其特征在于, 所述加热器沿水平方向排列配置有多个而形成加热器列, 所述接受部件具有沿水平方向延伸的筒状的筒状体,针对所述加热器列而配置有一个该筒状体。
【专利摘要】本发明是具有将被处理物(W)加热处理而进行渗碳处理的炉体(2)的渗碳装置(1)。在炉体(2)内,沿铅垂方向竖立设置有用于将被处理物(W)加热处理的加热器(9)。在加热器(9)的下端部,设置有朝向加热器(9)供给燃尽用的气体的气体供给机构。加热器(9)插通于沿铅垂方向竖立设置的保护管(10)内,气体供给机构将燃尽用的气体供给至保护管(10)与加热器(9)之间。
【IPC分类】C21D1/06, C23C8/22, F27D11/02
【公开号】CN105531392
【申请号】CN201580001064
【发明人】胜俣和彦, 三塚正敏, 坂本治, 永田乔裕
【申请人】株式会社Ihi, Ihi机械系统股份有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2015年7月1日
【公告号】WO2016013360A1
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