导管204对准的气体输送管线224可经由安装板220耦接至凸缘212。安装板220可由一或多个紧固件222(如螺栓或螺钉)穿过凸缘212而固定到耦接构件214。凸缘212可通过多个间隔件216(例如，O形环)与耦接构件214分开，并且凸缘212可通过多个密封间隔件218(例如，O形环)与安装板220分开。间隔件216和密封间隔件218可包含聚合物材料(如顺性材料或弹性材料)，并且可操作来防止凸缘212、耦接构件214和安装板220之间物理接触。
[0046]在一个实施方式中，凸缘212可由石英材料形成，并且耦接构件214、安装板220和紧固件222由金属材料(如不锈钢、铝、或它们的合金)形成。耦接构件214的唇缘226可延伸到凸缘212的顶表面上方。由此，耦接构件214的截面轮廓可为U形。气体输送管线224从凸缘212延伸到气源(未示出)。气源可经由气体注入组件202向处理区域156输送各种处理气体以及其他气体。例如，可由气源提供III族、IV族和V族前驱物和它们的组合。
[0047]导管204耦接在第二分隔件302与凸缘212之间。导管包括第一导管构件206、第二导管构件210和在第一导管构件206与第二导管构件210之间的间隔件208。第一导管构件206是与孔410对准，使得第一导管构件206延伸远离孔410。在一个实施方式中，第一导管构件206可从孔410在竖直方向上或替代地以一角度延伸。第一导管构件206可通过石英焊接或其他粘结方法(如扩散粘结)来耦接至第二分隔件302。孔410可为圆形形状，并且可垂直于导管204所占据的平面，在所述平面处，孔410延伸穿过第二分隔件302。然而，孔410可为除了圆形外的形状，如椭圆形或正方形。此外，应预见到，孔410可在除了垂直于导管204所占据的平面外的取向上成角度地穿过第二分隔件302。在一个实施方式中，导管204可朝基板108(未示出)延伸超过第二分隔件302而进入处理区域156中。
[0048]第一导管构件206和第二导管构件210可各自包含石英材料，所述石英材料是透光的，然而，应预见到，第一导管构件206和第二导管构件210也可由辐射阻挡材料(如墨晶或气泡石英)形成。间隔件208可以通过石英焊接或类似粘结方法来耦接于第一导管构件206和第二导管构件210之间。间隔件208可为包含至少部分透明石英材料(如气泡石英)的热障。透明程度比第一导管构件206和第二导管构件210的透光石英更大的部分透明石英材料减少或防止了光能传播穿过导管204。由此，在间隔件208是热障的实施方式中，防止进入第一导管构件206的光传播超过间隔件208而到达第二导管构件210和凸缘212。间隔件208设置在第一导管构件206和第二导管构件210之间，位于反射板250上方。在一个实施方式中，间隔件208可被省略，并且在这种实施方式中，仅仅透明石英的第一导管构件206和第二导管构件210形成导管204。
[0049]第一通道402和第二通道404是形成于反射板250中。虽然在所描绘的实施方式中存在两个通道，但也预见到其他数量的通道。第一通道402和第二通道404是形成于反射板250背向处理区域156的表面401中的V形或U形凹槽。第一冷却导管406可设置在第一通道402内，并且第二冷却导管408可设置在第二通道404内。冷却导管406和408可为管形形状，并且可以分别沿循第一通道402和第二通道404的路径。在一个实施方式中，通道402和404的深度可以大于冷却导管406和408的直径。在这种情况下，冷却导管406和408在设置于通道402和404内时位于反射板250的表面401的下方。
[0050]图4B示出根据一个实施方式的气体注入组件202的横截面图。在这个实施方式中，顺性构件420设置在凸缘212与耦接构件214之间。顺性构件420由弹性材料或硫化橡胶形成，并且起到防止凸缘212与耦接构件214之间物理接触的作用。顺性构件420可为单个材料片材，或可被喷涂到凸缘212或耦接构件214上。顺性构件420的部分可为埋头的，其中紧固件222或导管204延伸穿过顺性构件420以确保顺性构件420与凸缘212或耦接构件214之间连续接触。
[0051 ]在上述实施方式中，25个孔410穿过内部区域306形成，在所述内部区域中，导管204被耦接至第二分隔件302。应预见到，更大数量或更少数量的孔410和导管204可利用来更精细地调谐处理气体穿过第二分隔件302的输送。在一个实施方式中，第一导管构件206、间隔件208以及第二导管构件210具有类似的内径和外径。例如，内径在约5mm与约15mm之间，如约I Omm。外径在约I Omm与约2 Omm之间，如约16mm。由此，导管2 O 4壁的厚度在约I mm与约3mm之间，如约2mm。
[0052]图5示出第二分隔件302、导管204和凸缘502的透视图。每一凸缘502可与相邻凸缘分开。例如，每一凸缘可以范围为从0.5mm至25mm的距离来与相邻凸缘分开。由此，每一导管204可耦接至不同凸缘502。虽然描绘的是25个导管204和凸缘502，但也预见到可以利用任何数量的管道，并且凸缘数量可与管道数量匹配。
[0053]如所描绘，每一凸缘502可包括第一多个孔504中的一个和第二多个孔506中的四个，但其他孔布置也是有可能的。在一个实施方式中，凸缘502可以具有四边形的形状，例如，正方形样或矩形的。在其他实施方式中，凸缘可以具有其他形状，例如，圆形。如上所述，每一凸缘502保持与相邻凸缘间隔开。因此，针对每一凸缘502造成的热影响仅仅影响单独凸缘，并且针对相邻凸缘而造成的影响被减小或消除。例如，经由导管204传输至凸缘502的辐射能量可以与其余凸缘不同的方式加热一个凸缘。由于凸缘502在空间上彼此隔离，因此热效应可消除、减小或局部化至单个凸缘。
[0054]图6示出第二分隔件302的透视图。如上所述，第二分隔件的外部区域304可由不透明材料形成，而内部区域306可由透光材料形成。另外如上所述，内部区域306的上表面的部分可涂布有反射涂层(例如，镀金或镀银)。在所示实施方式中，25个孔410穿过内部区域306形成，在所述内部区域中，导管204被连接至第二分隔件302(参见图5)。应预见到，更大数量或更少数量的孔410和导管204可利用来更精细地调谐处理气体穿过第二分隔件302的输送。虽然所示孔410布置在两个同心圆圈中，但也预见到了其他布置(例如，螺旋、多个螺旋形臂以及距非螺旋形图案的中心的多个距离)。在一个实施方式中，每一孔410的直径在约I Omm与20mm之间，如约16mm。
[0055]图7示出图5的第二分隔件302和气体注入组件202的俯视图。如前所述，气体注入组件202的间距和布置可配置成减缓整体凸缘不期望的散热问题。将每一气体注入组件与相邻气体注入组件分开的空间708可延伸介于约I Omm与约30mm之间的距离，如介于约15mm与约25mm之间，例如约21.5mm。应当注意，图7所示气体注入组件202的布置是一个实例，并且也预见到其他布置。
[0056]图8示出根据一个实施方式的周缘栗送构件800的仰视透视图。周缘栗送构件800可被用作图1所示衬里组件163的部分或所述部分的替换物。图13示出安装有周缘栗送构件800的处理腔室1300的一部分。
[0057]在图8所示实施方式中，周缘栗送构件包括环形主体802，并且可由石英或与腔室中的处理和各种处理气体相容的其他材料形成。环形主体可以具有:沿着所述环形主体内的弧的第一弯曲通道804;第一内部通道806，所述第一内部通道806将所述第一弯曲通道的第一区域808连接至所述环形主体的内表面812的第一区域;多个第二内部通道814，所述第二内部通道814将所述第一弯曲通道的第二区域816连接至所述内表面的第二区域818;以及第一外部通道820，所述第一外部通道820将所述第一弯曲通道的所述第一区域连接至所述环形主体的外表面822。第二内部通道各自大小可设定成使得当流体(例如，处理气体或流出气体)栗送出周缘栗送构件的第一外部通道时，所述流体以均匀流率流过第一内部通道和第二内部通道。即，当周缘栗送构件用于处理腔室(例如，处理腔室100、200和1300)时，流体如处理气体和流出气体可通过真空栗(如真空栗180)而栗送出第一外部通道。流体经由第一弯曲通道到达第一外部通道，并且流体经由第一内部通道和第二内部通道从处理腔室进入第一弯曲通道。第二内部通道大小可设定成使得流体以均匀流率(例如，任何第二内部通道中的流率在穿过第一内部通道的流率的+/-20%内)流过第一内部通道和第二内部通道。例如，第一内部通道大小可设定为使得气体以约400标准立方厘米/分钟(sccm)至约lOOOsccm的流率流过第一内部通道，并且第二内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道的流率的20 %内的流率流过每一第二内部通道。在第二实例中，第一内部通道大小可设定为使得气体以约480sccm至约760sccm的流率流过第一内部通道，并且第二内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道的流率的10%内的流率流过每一第二内部通道。在第三实例中