，第一内部通道大小可设定为使得气体以约500sccm至约650sccm的流率流过第一内部通道，并且第二内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道的流率的15 %内的流率流过每一第二内部通道。
[0058]虽然图8示出42个第二内部通道，但也预见到其他数量(从3至63)的第二内部通道。图8的第一内部通道和第二内部通道示为具有矩形截面，但也预见到了其他形状。
[0059]图9示出根据一个实施方式的周缘栗送构件900的透视图。类似图8所示的周缘栗送构件的周缘栗送构件的各个方面已在上文更详细地讨论。在这个实施方式中，第一内部通道806和第二内部通道814示为具有圆形截面，但也预见到了其他形状。第二内部通道各自大小可设定成使得当流体(例如，处理气体或流出气体)栗送出周缘栗送构件的第一外部通道820时，所述流体以均匀流率(例如，穿过任何第二内部通道的流率在穿过第一内部通道的流率+/-20%的内)流过第一内部通道和第二内部通道。即，当周缘栗送构件用于处理腔室(例如，处理腔室100、200和1300)时，流体如处理气体和流出气体可通过真空栗(如真空栗180)而栗送出第一外部通道。流体经由第一弯曲通道804(图8)到达第一外部通道820，并且流体经由第一内部通道和第二内部通道从处理腔室进入第一弯曲通道。第二内部通道大小可设定成使得流体以均匀流率(例如，任何第二内部通道中的流率在穿过第一内部通道的流率的+/-20 %内)流过第一内部通道和第二内部通道。例如，第一内部通道大小可设定为使得气体以约400sccm至约100sccm的流率流过第一内部通道，并且第二内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道的流率的20%内的流率流过每一第二内部通道。在第二实例中，第一内部通道大小可设定为使得气体以约480sccm至约760sccm的流率流过第一内部通道，并且第二内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道的流率的10%内的流率流过每一第二内部通道。在第三实例中，第一内部通道大小可设定为使得气体以约500sccm至约650sccm的流率流过第一内部通道，并且第二内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道的流率的15 %内的流率流过每一第二内部通道。虽然图9示出37个第二内部通道，但也预见到其他数量(从3至63)的第二内部通道。
[0060]图10示出根据一个实施方式的周缘栗送构件1000的透视图。类似图8的周缘栗送构件800的周缘栗送构件1000的各个方面已在上文更详细地讨论。周缘栗送构件1000可被用作图1所示衬里组件163的部分或所述部分的替换物。图10所示周缘栗送构件1000示为是由两个弯(例如，半圆形或“马蹄铁”形)件制成，但也应预见到，构件可由多个弯件制成或作为单个件，这类似于图8和图9所示周缘栗送构件800和900。图14示出安装有周缘栗送构件1000的处理腔室1400的一部分。环形主体可以具有:沿着所述环形主体内的弧的第一弯曲通道804和第二弯曲通道1002;—或多个壁1004，所述一或多个壁1004将第一弯曲通道与第二弯曲通道分开；多个第三内部通道1008，所述第三内部通道1008将第二弯曲通道连接至内表面的第三区域1010;以及第二外部通道1006，所述第二外部通道1006将第二弯曲通道连接至环形主体的外表面822。第三内部通道各自大小可设定成使得当流体(例如，处理气体或流出气体)栗送出周缘栗送构件的第一外部通道和第二外部通道时，所述流体以均匀流率流过第一内部通道、第二内部通道和第三内部通道。即，当周缘栗送构件1000用于处理腔室(例如，处理腔室100、200和1400)时，流体如处理气体和流出气体可通过一或多个真空栗(如真空栗180)栗送出第一外部通道和第二外部通道。第一外部通道和第二外部通道是通向处理腔室中的端口，所述端口是与排气管道连接(未示出)，所述排气管道继而与真空栗连接。流体分别经由第一弯曲通道和第二弯曲通道到达第一外部通道和第二外部通道。流体经由第一内部通道、第二内部通道和第三内部通道从处理腔室进入第一弯曲通道和第二弯曲通道。如上所述，第二内部通道大小可设定为使得流体以均匀流率流过第一内部通道和第二内部通道。第三内部通道的大小也可设定为使得流体以均匀流率流过第一内部通道和第三内部通道。因此，流体可以均匀流率流过第一内部通道、第二内部通道和第三内部通道。例如，第一内部通道和第二内部通道大小可设定为使得气体以约400sccm至约100sccm的均匀流率流过第一内部通道和第二内部通道，并且第三内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道和第二内部通道的流率的20%内的流率流过每一第三内部通道。在第二实例中，第一内部通道和第二内部通道大小可设定为使得气体以约480sccm至约760sCCm的均匀流率流过第一内部通道和第二内部通道，并且第三内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道和第二内部通道的流率的10%内的流率流过每一第三内部通道。在第三实例中，第一内部通道和第二内部通道大小可设定为使得气体以约500sccm至约650sccm的均匀流率流过第一内部通道和第二内部通道，并且第三内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道和第二内部通道的流率的15%内的流率流过每一第三内部通道。
[0061]虽然图10示出17个第二内部通道，但也预见到其他数量(从2至31)的第二内部通道。虽然图10示出22个第三内部通道，但也预见到其他数量(从3至31)的第三内部通道。第一内部通道、第二内部通道和第三内部通道在图10中示为具有矩形截面，但也预见到了其他形状。
[0062]图11示出根据一个实施方式的周缘栗送构件1100的透视图。类似图8、图9和图10的周缘栗送构件的周缘栗送构件1100的各个方面已在上文更详细地讨论。图11所示周缘栗送构件1100示为是由两个弯(例如，半圆形或“马蹄铁”形)件制成，但也应预见到，构件可由多个弯件制成或作为单个件，这类似于图8和图9所示周缘栗送构件800和900。在这个实施方式中，第一内部通道806、第二内部通道814和第三内部通道1008示为具有圆形截面，但也预见到了其他形状。如上所述，第二内部通道大小可设定为使得流体以均匀流率流过第一内部通道和第二内部通道。第三内部通道的大小也可设定为使得流体以均匀流率流过第一内部通道和第三内部通道。因此，流体可以均匀流率流过第一内部通道、第二内部通道和第三内部通道。例如，第一内部通道和第二内部通道大小可设定为使得气体以约400sccm至约100sccm的均匀流率流过第一内部通道和第二内部通道，并且第三内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道和第二内部通道的流率的20%内的流率流过每一第三内部通道。在第二实例中，第一内部通道和第二内部通道大小可设定为使得气体以约480sccm至约760sCCm的均匀流率流过第一内部通道和第二内部通道，并且第三内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道和第二内部通道的流率的15%内的流率流过每一第三内部通道。在第三实例中，第一内部通道和第二内部通道大小可设定为使得气体以约500sccm至约650sccm的均匀流率流过第一内部通道和第二内部通道，并且第三内部通道大小可设定为使得气体以在穿过第一内部通道和第二内部通道的流率的10%内的流率流过每一第三内部通道。
[0063]虽然图11示出15个第二内部通道，但也预见到其他数量(从2至31)的第二内部通道。虽然图11示出20个第三内部通道，但也预见到其他数量(从3至31)的第三内部通道。
[0064]图12示出根据一个实施方式的下部衬里1200的透视图。下部衬里1200可被用作图1所示衬里组件163的部分或所述部分的替换物。图13和图14示出处理腔室1300和1400的部分，每一处理腔室都安装有下部衬里1200。
[0065]下部衬里1200包括环形主体1202，并且可由石英或与腔室中的处理和各种处理气体相容的其他材料形成。环形主体具有上内表面1204和上外表面1206。当下部衬里被安装在具有周缘栗送构件800的处理腔室中时，如图13所示，下部衬里的上内表面可邻接周缘栗送构件。当下部衬里与周缘栗送构件800—起使用时，下部衬里可覆盖住第一内部通道和第二内部通道的下侧。下部衬里和周缘栗送构件可以一起形成处理腔室的衬里组件的内表面，其中第一内部通道和第二内部通道会允许流体离开处理容积。
[0066]当下部衬里被安装在具有周缘栗送构件800的处理腔室中时，如图13所示，下部衬里的上外表面可同样邻接周缘栗送构件，并且可覆盖住第一弯曲通道下侧。下部衬里和周缘栗送构件可以一起形成具有矩形截面的环形通道，所述环形通道包括了周缘栗送构件的第一弯曲通道。经由第一内部通道和第二内部通道离开处理容积的流体沿着环形通道流动，并且经由周缘栗送构件的第一外部通道而离开。
[0067]当下部衬里被安装在具有周缘栗送构件1000的处理腔室中时，如图14所示，下部衬里的上内表面可邻接周缘栗送构件，并且可覆盖住第一内部通道、第二内部通道和第三内部通道的下侧。下部衬里和周缘栗送构件可以一起形成处理腔室中的衬里组件的内表面，其中第一内部通道、第二内部通道和第三内部通道会允许流体离开处理容积。下部衬里的上内表面还