一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置的制造方法
【技术领域】
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[0001]本实用新型涉及一种冷却装置，尤其是一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却
目.0
【背景技术】
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[0002]单晶铜键合线从退火机被抽出后，由于自身温度较高，如果在空气中其表面容易被氧化，严重影响其质量。因此，在对单晶铜键合线进行降温的同时，还要防止单晶铜键合线被氧化。传统的冷却装置是采用循环方式，虽然能够冷却单晶铜键合线，但缺点是:循环过程中会不断产生冷却液的沉淀物和外界的灰尘等赃物，这些赃物会沾污单晶铜键合线表面而使单晶铜键合线的质量降低。
【发明内容】
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[0003]为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种降温速度快，能防止单晶铜键合线表面被氧化、沾污的单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，包括冷却管、进气管、回气管、冷却室、气泵、氮气补充罐和绕线箱，冷却管的一端与绕线箱相连通，另一端焊接在退火机的出线口处，退火机一端的冷却管与回气管的一端相连通，回气管的另一端与冷却室相连通。冷却管距离绕线箱较近的一端与进气管相连通，进气管的另一端与冷却室相连通，在进气管上设有气泵。冷却管、进气管、回气管、冷却室和气泵组成一个氮气循环系统。在冷却室的一侧设有与冷却室相连通的氮气补充罐，用以为氮气循环系统提供充足的氮气。
[0005]进一步的，所述绕线箱为方形，内部设有绕线装置，在前箱板上设有一个进线孔，通过进线孔使冷却管与绕线箱相连通，在左箱板上设有便于开关的密封门，在顶板上设有便于观察内部绕线装置的玻璃窗。
[0006]本实用新型的有益效果是，节约氮气，降低成本，冷却速度快，能防止单晶铜键合线表面被氧化、沾污，进一步提高单晶铜键合线的质量。
【附图说明】
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[0007]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0008]图1是本实用新型的结构示意图。
[0009]图中冷却管、2进气管、3回气管、4冷却室、5气泵、6氮气补充罐、7绕线箱。【具体实施方式】:
[0010]如图1所示，一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，包括冷却管(1)、进气管(2)、回气管(3)、冷却室(4)、气泵(5)、氮气补充罐(6)和绕线箱(7)，冷却管(I)的一端与绕线箱(7)相连通，另一端焊接在退火机的出线口处，退火机一端的冷却管⑴与回气管(3)的一端相连通，回气管(3)的另一端与冷却室(4)相连通。冷却管(I)距离绕线箱(7)较近的一端与进气管(2)相连通，进气管(2)的另一端与冷却室(4)相连通，在进气管(2)上设有气泵(5)。冷却管(1)、进气管(2)、回气管(3)、冷却室(4)和气泵(5)组成一个氮气循环系统。在冷却室(4)的一侧设有与冷却室(4)相连通的氮气补充罐(6)，用以为氮气循环系统提供充足的氮气。所述绕线箱(7)为方形，内部设有绕线装置，在前箱板上设有一个进线孔，通过进线孔使冷却管(I)与绕线箱(7)相连通，在左箱板上设有便于开关的密封门，在顶板上设有便于观察内部绕线装置的玻璃窗。
[0011]工作原理及操作方法:工作时，先向冷却管(1)、进气管(2)、回气管(3)、冷却室
(4)内充满氮气，作为冷却气体，氮气在冷却室(4)内冷却后经气泵(5)、进气管(2)进入冷却管(I)对拉出的单晶铜键合线进行冷却，带走单晶铜键合线的热量后经回气管(3)进入冷却室(4)再进行冷却，然后再被气泵(5)送入冷却管(I)，如此往复循环流动。在冷却的过程中，由较少一部分氮气经绕线箱(7)前面的进线孔进入绕线箱(7)，所损失的氮气由氮气补充罐(6)及时给予补充。在绕线箱(7)顶板上设有玻璃窗，便于观察内部绕线装置的运行情况，当绕线结束后，打开绕线箱(7)的密封门，取下线轴即可。
[0012]本实用新型的优点是:
[0013]1.冷却管⑴、进气管(2)、回气管⑶、冷却室(4)和气泵(5)组成一个氮气循环系统，使冷却气体在氮气循环系统中循环使用，节约氮气，降低生产成本。
[0014]2.单晶铜键合线完全在密闭的冷却管⑴中进行冷却，能防止单晶铜键合线表面被氧化、沾污，进一步提高单晶铜键合线的质量。
[0015]3.整个绕线过程在绕线箱(7)内完成，能防止单晶铜键合线表面被空气中的灰尘沾污，进一步提高单晶铜键合线的质量。
【主权项】
1.一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，其特征在于:包括冷却管、进气管、回气管、冷却室、气泵、氮气补充罐和绕线箱，冷却管的一端与绕线箱相连通，另一端焊接在退火机的出线口处，退火机一端的冷却管与回气管的一端相连通，回气管的另一端与冷却室相连通，冷却管距离绕线箱较近的一端与进气管相连通，进气管的另一端与冷却室相连通，在进气管上设有气泵，在冷却室的一侧设有与冷却室相连通的氮气补充罐。
2.根据权利要求1所述的单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，其特征在于:冷却管、进气管、回气管、冷却室和气泵组成一个氮气循环系统。
3.根据权利要求1所述的单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，其特征在于:所述绕线箱为方形，内部设有绕线装置，在前箱板上设有一个进线孔，通过进线孔使冷却管与绕线箱相连通，在左箱板上设有便于开关的密封门，在顶板上设有便于观察内部绕线装置的玻璃窗。
【专利摘要】本实用新型涉及一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，包括冷却管、进气管、回气管、冷却室、气泵、氮气补充罐和绕线箱，冷却管、进气管、回气管、冷却室和气泵组成一个氮气循环系统，使冷却气体在氮气循环系统中循环使用。在冷却室的一侧设有与冷却室相连通的氮气补充罐，用以为氮气循环系统提供充足的氮气。本实用新型的有益效果是，节约氮气，降低成本，冷却速度快，能防止单晶铜键合线表面被氧化、沾污，进一步提高单晶铜键合线的质量。
【IPC分类】C30B33-02, C22F1-08
【公开号】CN204529944
【申请号】CN201520205221
【发明人】田鹏, 李勇, 赵峰
【申请人】滕州晨晖电子集团有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年4月1日