一种抛光机压头挡板构件的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于单晶硅抛光片生产技术领域，主要涉及一种抛光机压头挡板构件。
【背景技术】
[0002]单晶硅抛光片是IC行业的基础材料，而抛光机是生产硅抛光片的必要设备。目前在市场上，SPEEDFAM公司生产的一种SPAW50型带有4个压头的抛光机在国内IC行业拥有较大保有量。SPAW50抛光机的压头挡板是抛光机上重要部件，其固定在压头的四周，在抛光过程中主要起到定位、固定陶瓷盘的作用。压头挡板的状态对于生产单晶硅抛光片的品质具有极其重要的影响。在抛光生产过程中，要求压头下降时能够保证陶瓷盘准确的压在压头下面，抛光机大盘和压头转动时利用压头挡板固定住陶瓷盘与压头一起转动，且保证压头和陶瓷盘的同心度，实现对硅片的抛光。但在生产使用中发现，现有SPAW50粗抛机所使用的压头挡板存在着以下问题:因抛光机中心轮和导轮对陶瓷盘定位的偏差，不能保证陶瓷盘刚好在压头正下方，因此为保证压头下压后陶瓷盘在压头挡板范围内，压头挡板下端超出压头的部分内侧面有一向外的台阶设计，使压头挡板有效直径变大，超过陶瓷盘直径，使抛光过程中陶瓷盘容易相对压头滑动。压头挡板不能对陶瓷盘二次定位，不能修正陶瓷盘位置偏差，且抛光机压头为万向设计，会出现压头压下后和陶瓷盘不同心，使抛光过程中陶瓷盘受力、转动不均匀。
【实用新型内容】
[0003]为解决上述问题，本实用新型提供了一种抛光机压头挡板构件，可以准确定位陶瓷盘，保证抛光过程中陶瓷盘和压头同心，且不会产生和压头的相对滑动，提高了产品质量。
[0004]本实用新型所采用的技术方案是:一种抛光机压头挡板构件，包括多个挡板，多个挡板的内侧面通过固定件沿压头外圆周面上贴合设置，所述内侧面中对陶瓷盘进行固定的表面由平整面和下端的圆弧面组成，平整面与圆弧面的连接处为圆滑过渡。
[0005]本实用新型所述的相邻的挡板之间设有间隙。
[0006]本实用新型的有益效果是:
[0007]1、压头挡板通过螺丝孔固定在压头外周上，压头挡板超出压头下边缘的内侧面部分用于固定陶瓷盘，可以准确定位陶瓷盘，保证抛光过程中陶瓷盘和压头同心，且不会产生和压头的相对滑动，提高了产品质量。
[0008]2、挡板与挡板之间存在间隙，改变的原有的无间隙结构，在不影响对陶瓷盘的固定情况下，挡板圆弧面可以快速定位陶瓷盘，减少挡板与陶瓷盘边缘之间的磨损。
[0009]【附图说明】:
[0010]图1是本实用新型的结构示意图；
[0011]图2是本实用新型的单个挡板的俯视结构示意图；
[0012]图3是图2的A-A面剖视结构示意图；
[0013]图4是本实用新型的压紧陶瓷盘之前的结构示意图；
[0014]图5是本实用新型的压紧陶瓷盘之后的结构示意图；
[0015]图6是本实用新型的单个挡板的立体结构示意图；
[0016]图7是本实用新型的安装结构剖视图；
[0017]图8是原挡板的安装结构剖视图；
[0018]图9是原挡板的结构示意图；
[0019]图中:1、内侧面，2、压头，3、螺栓，4、陶瓷盘，5、挡板。
[0020]【具体实施方式】:
[0021]下面结合附图给出本实用新型的实施方式如下:
[0022]如图所示，本实用新型所述的一种抛光机压头挡板构件，为一直径与压头直径一样弧形挡板，由6个相同的挡板通过螺丝孔固定在压头外周上，挡板与挡板之间具有间隙，挡板面积减少，同样也减少了对陶瓷盘对接时的对照面积，挡板内侧面上端部分对压头的外圆周面进行压紧，挡板超出压头下边缘的内侧面部分用于固定陶瓷盘，主要由无台阶设计和弧度设计构成，对陶瓷盘进行固定的挡板的平整面拼成的固定面积与陶瓷盘完全匹配，对陶瓷盘进行定位的挡板的圆弧面拼成的面积略大于陶瓷盘的表面积，压头下压过程中定位陶瓷盘时，弧形设计的内侧面先接触陶瓷盘，使陶瓷盘沿弧面向中心滑动，直至陶瓷盘和压头同心，随着压头的继续下压，无台阶设计内侧面接触并固定死陶瓷盘，使抛光过程中陶瓷盘不会产生和压头的相对滑动。
【主权项】
1.一种抛光机压头挡板构件，包括多个挡板(5)，多个挡板(5)的内侧面(I)通过固定件沿压头(2)外圆周面上贴合设置，其特征在于:所述内侧面(I)中对陶瓷盘(4)进行固定的表面由平整面(101)和下端的圆弧面(102)组成，平整面(101)与圆弧面(102)的连接处为圆滑过渡。2.如权利要求1所述的一种抛光机压头挡板构件，其特征在于:所述的相邻的挡板(5)之间设有间隙。
【专利摘要】一种抛光机压头挡板构件，包括多个挡板，多个挡板的内侧面通过固定件沿压头外圆周面上贴合设置，所述内侧面中对陶瓷盘进行固定的表面由平整面和下端的圆弧面组成，平整面与圆弧面的连接处为圆滑过渡。可以准确定位陶瓷盘，保证抛光过程中陶瓷盘和压头同心，且不会产生和压头的相对滑动，提高了产品质量。
【IPC分类】B24B41/00
【公开号】CN204893697
【申请号】CN201520608391
【发明人】赵文龙, 李宏儒, 胡晓亮, 高烨, 卓元, 陈卫群, 田志峰
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年8月13日