超声波多通道自反应化学镀膜仪器的制造方法_3

文档序号:10009305阅读:来源:国知局
膜以及钝化膜,提高化学镀膜的效果,提高镀膜的均匀性。
[0063] 作为本实施例的示意,也可以但不限于设计水栗,采用水栗来促进水槽2内的液 体的循环性,而确保水槽2各处液体的温度均匀,提高转盘32上各样品杯4的实验均一性。
[0064] 作为本实施例的示意,在本实施例的水槽2内还设置一电加热器9,该电加热器9 可以但不限于为电磁炉或者其他的电器,该电加热器9在实验过程中根据水温随时加热水 槽2,使水槽2的水实质保持一定的热度,且始终保持在一定的温度范围内,提高化学镀膜 的效率以及提高化学镀膜效率。
[0065] 相对于已有技术的机械研磨抛光技术,本实施例为无研磨超声抛光技术,能显著 降低零件的表面粗糙度,提高表面硬度,改善表面物理性能,即使抛光脆性材料也不产生裂 纹塑性生成切肩,它是是一种高效、精密的表面光整工艺,也是一种表面强化工艺。
[0066] 实验数据分析:
[0067] 采用图1的化学镀膜仪器2台,每台分别放置有8个样品杯4,每个样品杯4内分 别灌注有溶液(本实验采用的溶液为:PoCI42-HCI溶液,本实验例以此为示意,当然也可以 采用其他的含有Po的盐酸型溶液),在各个样品杯4内分别固定有镀膜基片5 (本实验以镜 面的银片基片为例,当然也可以镜面的选用铜片或者镍片),对镀膜基片5的顶面进行单面 化学镀膜,分别将各样品杯4浸泡在温度一致的水槽2中(本实验水槽2内液体的温度均 为80摄氏度),使各样品杯4内化学镀膜反应进行。
[0068] 在实验时,启动一水槽2中的产生波发生器,而使另一水槽2中的超声波发生器处 于未启动状态,化学镀完成后,同时取出各转盘32,分别对各转盘32中的镀膜基片5的镀膜 质量进行分析,得到表一、二所示实验数据。
[0069] 其中将未启动超声波发生器的转盘32上的镀膜基片5即为样品1、样品2、样品 3、样品4、样品5、样品6,样品7、样品8。另一启动了超声波发生器的镀膜基片5即为样品 1 '、样品2 '、样品3 '、样品4 '、样品5 '、样品6 ',样品7 '、样品8 '。
[0070] 实验数据表一:
[0071] 表一未超声条件下镀膜基片表面的粗糙度Ra (单位:μ m)
[0072]
[0073] 实验数据:
[0074] 表二超声条件下镀膜基片表面的粗糙度Ra (单位:μ m)
[0076] 比对表一、二可见,采用超声波化学镀,可以大大提高化学镀膜的均匀性以及光滑 度,其粗磨粗糙度可以降低超过50 %,能意想不到的提高镀膜效果。
[0077] 以上所述的实施方式,并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施 方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等,均应包含在该技术方案的保护范 围之内。
【主权项】
1. 一种超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是,包括: 托架,包括立柱以及设置在所述立柱顶部的横臂; 水槽,位于所述立柱的底部; 超声波发生器,设置在所述水槽内, 杯架,包括纵向螺杆、转盘,所述纵向螺杆安装在所述托架的横臂上,所述转盘连接在 所述纵向螺杆的底部,在所述转盘上设置有至少两个上下贯穿的杯座, 至少两个样品杯,各所述样品杯可分别置于各所述杯座上,各所述样品杯包括杯体、覆 盖在所述杯体顶部开口的上盖以及密封安装在所述杯体底部开口的密封下盖, 当所述样品杯置于所述杯座上时,所述杯体的下部从所述杯座下伸出且露出在所述转 盘的下方,调节所述纵向螺杆可使所述杯体的下部伸入所述水槽内,在所述密封下盖的顶 部密封覆盖有一镀膜基片,所述镀膜基片的顶面与装在所述样品杯内的溶液接触,所述镀 膜基片紧固在所述密封下盖与所述杯体之间。2. 根据权利要求1所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 所述杯体的顶部开口外周设置有水平向外凸起的凸棱,所述杯体凸棱凸出在所述杯座 的顶部将所述杯体悬挂在所述杯座内,所述杯体的下部从所述杯座下伸出且露出在所述转 盘的下方。3. 根据权利要求1所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 在所述密封下盖的顶部设置有一向下凹进的凹台,所述镀膜基片限位于所述凹台的顶 面,当所述密封下盖密封连接在所述杯体的底部时,所述镀膜基片的底面密封覆盖在所述 凹台的顶面,所述镀膜基片紧固在所述密封下盖与所述杯体的底部开口之间,所述镀膜基 片的顶面露出在所述样品杯内腔内。4. 根据权利要求3所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 在所述杯体的底部设置有一向所述杯体的内腔凹进的凹位,在所述凹位的中心还设置 有与所述杯体的内腔连通的通孔,所述通孔的宽度小于所述凹位的宽度,当所述密封下盖 密封连接在所述杯体的底部时,所述镀膜基片的顶部外沿与所述通孔的底部密封连接,所 述密封下盖紧固在所述凹位内,所述密封下盖的外壁与所述凹位的内壁密封连接,所述镀 膜基片的顶面位于所述通孔的底部。5. 根据权利要求4所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 所述密封下盖的所述凹位的宽度由下往上方向逐渐变宽。6. 根据权利要求5所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 所述密封下盖的所述凹位的内沿呈圆弧状。7. 根据权利要求1至6之任一所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 在各所述样品杯中还分别设置有搅拌部件,所述搅拌部件位于所述密封下盖的上方, 可在所述样品杯内运动。8. 根据权利要求7所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 所述搅拌部件为:磁性搅拌部件, 在所述水槽的底部还设置有磁性部件,当所述磁性部件相对于所述磁性搅拌部件运动 时,所述磁性搅拌部件在所述样品杯内运动。9. 根据权利要求8所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 所述搅拌部件为:悬挂在所述上盖下方的磁性吊球。10. 根据权利要求9所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 在所述上盖上设置有一通孔,在所述通孔内贯穿有一吊绳,所述磁性吊球连接在所述 吊绳的底端,在所述吊绳的顶部固定有一悬挂块,所述悬挂块覆盖在所述通孔的顶部。11. 根据权利要求8所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 所述磁性物质可在所述水槽内运动。12. 根据权利要求11所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 在所述水槽内还设置有第一搅拌机; 所述第一搅拌机上设置有可水平旋转的转臂,所述磁性物质固定在所述转臂上。13. 根据权利要求8所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 所述转盘可沿所述螺杆水平旋转。14. 根据权利要求1至6之任一所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 在所述水槽内还设置有第二搅拌机,所述第二搅拌机用于搅拌所述水槽内的液体。15. 根据权利要求1至6之任一所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 在所述水槽内还设置有水栗,所述水栗用于栗东所述水槽内的液体。16. 根据权利要求1至6之任一所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 还包括:电加热器,设置在所述水槽的底部,用于加热所述水槽内的液体。17. 根据权利要求1至6之任一所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 所述转盘的中心与所述纵向螺杆相连接。18. 根据权利要求1至6之任一所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 在所述转盘上设置有8个所述杯座,各所述杯座相对于所述纵向螺杆中心对称。19. 根据权利要求1至6之任一所述的超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其特征是, 在所述横臂上还固定有电机,所述电机的转轴水平伸出,且通过第一螺纹帽与旋接在 所述螺杆的第二螺纹帽配合,所述转轴可在所述电机的驱动下带动所述第二螺纹帽沿着所 述螺杆旋转,以调节所述螺杆升降。
【专利摘要】一种超声波多通道自反应化学镀膜仪器,其包括:托架,包括立柱以及设置在立柱顶部的横臂;水槽,位于立柱的底部;超声波发生器,设置在水槽内,杯架,包括纵向螺杆、转盘,纵向螺杆安装在托架的横臂上,转盘连接在纵向螺杆的底部,在转盘上设置有至少两个上下贯穿的杯座,至少两个样品杯,各样品杯可分别置于各杯座上,各样品杯包括杯体、覆盖在杯体顶部开口的上盖以及密封安装在杯体底部开口的密封下盖,当样品杯置于杯座上时,杯体的下部从杯座下伸出且露出在转盘的下方,调节纵向螺杆可使杯体的下部伸入水槽内,在密封下盖的顶部密封覆盖有一镀膜基片,镀膜基片的顶面与装在样品杯内的溶液接触,镀膜基片紧固在密封下盖与杯体之间。
【IPC分类】C23C18/00
【公开号】CN204918762
【申请号】CN201520243466
【发明人】周鹏
【申请人】周鹏, 广州宾申科学仪器有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年4月21日
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