一种自定位自动压紧进电组件装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于薄膜太阳能光伏电池技术领域，应用于PECVD沉积炉内进电组件定位压紧，特别涉及一种自定位自动压紧进电组件装置。
【背景技术】
[0002]目前，为使每个电极在沉积炉内镀膜工艺保持稳定性，需要等离子体增强型化学气相沉积装置的电极接触必须良好。因此要求每次在工件架进入沉积炉移动到位后，需要操作人员戴着高温手套对18根进电组件一一插进锁座、压紧锁座手柄；在工件架拉出沉积炉前又需要对18根进电组件进行手动拔出。
[0003]然而，由于生产过程中进出炉时的高温和时间的严格控制，操作人员的操作不规范，进电组件接头易松动和被拔掉、卡槽缺少缓冲部分而造成受力不均匀等原因，使进电组件的使用周期大大缩短，严重影响了进电组件的寿命。其次，由于现有镀金圆柱电极头在插拔进电组件的时候，容易把圆柱表面的一层镀金给刮伤，从而易氧化和反射。在每次出现反射，查看工件架电极头氧化磨损及松动情况和铜压板氧化情况都需要使用2mm内六角拧松锁座上的两个紧固螺丝，拆下锁座，这时就容易出现以下两个问题:1、内六角滑丝；2、锁座卡死。每次出现上述情况不仅费时而且费力，都需要使用注射器滴入润滑油，一个人使用鲤鱼钳来回晃动，一个人使用鲤鱼钳使劲往外拽，才能拆下锁座，给操作人员带来诸多不便。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种自定位自动压紧进电组件装置。
[0005]本实用新型还提供了一种自定位自动压紧进电组件装置的安装方法。
[0006]本实用新型的技术方案如下:
[0007]本一种自定位自动压紧进电组件装置，包括:
[0008]进电组件保护机构，其包括套设并固定于进电组件上的可在进电组件作业过程中对进电组件起到杜绝应力集中进而360度保护的喇叭口卡槽；
[0009]自动定位进电组件机构，其包括锥形六角紧固电极头、锥形电极母头、安装于电极杆上的屏蔽管和套设于屏蔽管上的可使进电组件自动定位同时方便查看锥形六角紧固电极头状况的定位喇叭口锁座，所述锥形电极母头由锥面自动定位连接所述锥形六角紧固电极头；
[0010]自动压紧进电组件机构，其为在PECVD工序中工件架进入沉积炉移动到位的同时使进电组件自动压紧、工艺结束出炉时工件架离开沉积炉限位的同时使进电组件自动松开的杠杆自动压紧机构。
[0011 ] 作为优化，所述喇叭口卡槽与进电组件的接触部分采用圆弧结构。
[0012]作为优化，所述喇叭口卡槽通过前固定块、后固定块、内六角螺栓I和螺母I固定。
[0013]作为优化，所述自动定位进电组件机构还包括安装于电极杆上的绝缘管，所述定位喇叭口锁座通过过盈配合安装于屏蔽管上。
[0014]作为优化，所述杠杆自动压紧机构包括套设于进电组件上并将压紧力传递给锥形电极母头的压紧弹簧、直接作用于压紧弹簧的弹簧压柄、活动销轴、活动销轴套和杠杆压杆，所述杠杆压杆前后两端垂直通过气焊焊接在活动销轴的活动销轴套上。
[0015]作为优化，还包括可调节横板和可调节基板，所述弹簧压柄通过内六角螺丝II和螺母II固定在可调节横板上，所述活动销轴连接可调节基板，可调节基板由内六角螺栓固定在沉积炉底板上。
[0016]上述一种自定位自动压紧进电组件装置的安装方法，包括以下步骤:
[0017]1)在非晶硅薄膜太阳能PECVD工件架电极杆上旋转锥形六角紧固电极头，并把非晶硅薄膜太阳能PECVD屏蔽管、绝缘管安装在电极杆上，注意把屏蔽管、绝缘管安装到位；
[0018]2)将定位喇叭口锁座通过过盈配合安装在屏蔽管上；
[0019]3)将压紧弹簧、喇叭口卡槽顺序套在进电组件上，然后把进电组件螺母套上，再把进电组件螺旋拧紧安装在沉积炉内，最后由前固定块、后固定块固定喇叭口卡槽，再使用内六角螺栓I和螺母I固定；
[0020]4)将焊接在活动轴销套上的杠杆压杆以及弹簧压柄、可调节基板通过活动销轴连接在一条轴线上，然后使用内六角螺栓固定可调节基板在沉积炉底板上，再把弹簧压柄通过内六角螺丝II和螺母II固定在焊接杠杆压杆的可调节横板上，最后把带有压紧弹簧的进电组件推进弹簧压柄槽口内；
[0021 ] 5)将PECVD工件架进入沉积炉移动到位的同时工件架槽钢对杠杆压杆的压力，通过弹簧压柄作用于压紧弹簧，再由压紧弹簧把压紧力传递给锥形电极母头，锥形电极母头在安装在屏蔽管的喇机口锁座内由于切向力作用自动向中轴线偏移定位，进而起到自定位自动压紧作用，从而实现了工件架进炉进电组件自动定位、自动压紧；
[0022]6)工艺结束出炉时，由于工件架离开沉积炉限位的同时使进电组件自动松开。
[0023]作为优化，针对个别电极头氧化松动磨损情况，在工艺前后直接通过内六角套筒进行拧紧或卸下更换。
[0024]作为优化，所述进电组件为18根。
[0025]本实用新型的有益效果是:
[0026]本实用新型，设计科学，在不影响原有功能的前提下，减少生产和维护所需人力物力，提高进电组件的使用寿命，减少生产成本。具体为:
[0027]1、通过设置喇叭口卡槽，可以在进电组件作业过程中对进电组件起到杜绝应力集中进而360。的保护作用；
[0028]2、通过设置喇叭口锁座，可以使进电组件自动定位同时方便查看电极头的状况及工件架清洗时起到防止电极进水；
[0029]3、通过设置锥型六角紧固电极头，可以获得更大的有效接触面积、较小的磨损、良好的抗氧化性、更方便的紧固方式；
[0030]4、通过设置自动压紧进电组件机构，可以自动压紧进电组件保证电极接触稳定性；
[0031]5、在PECVD工序，工件架进入沉积炉移动到位的同时使18根进电组件自动定位、自动压紧；工艺结束出炉时，工件架离开沉积炉限位的同时使18根进电组件自动松开；该装置在能够不影响目前工艺要求的情况下，保护电极接触的稳定性和进电组件物理特性，提高电极头和进电组件寿命，延长使用周期，大大提高设备稼动率，降低产品报废率，减少人体的劳动强度；可以大幅度的降低成本，对于大规模生产具有极大的推广价值。
【附图说明】
[0032]下面结合附图对本实用新型一种自定位自动压紧进电组件装置及其安装方法作进一步说明:
[0033]图1是本实用新型一种自定位自动压紧进电组件装置的结构示意图；
[0034]图2是图1中的喇叭口卡槽主视结构示意图；
[0035]图3是图1中的喇叭口卡槽俯视结构示意图；
[0036]图4是图1中的前固定块结构示意图；
[0037]图5是图1中的后固定块结构示意图；
[0038]图6是图1中的锥形六角紧固电极头主视结构示意图；
[0039]图7是图1中的锥形六角紧固电极头右视结构示意图；
[0040]图8是图1中的锥形电极母头主视结构示意图；
[0041]图9是图1中的锥形电极母头左视结构示意图；
[0042]图10是图1中的锥形六角紧固电极头和锥形电极母头配合结构示意图；
[0043]图11是图1中的喇叭口锁座主视结构示意图；
[0044]图12是图1中的喇叭口锁座右视结构示意图；
[0045]图13是图1中的自动压紧进电组件机构的主视结构示意图；
[0046]图14是图1中的自动压紧进电组件机构的仰视结构示意图。
[0047]图中:1为进电组件、2为进电组件保护机构、2.1为喇叭口卡槽、2.2为前固定块、2.3为后固定块、2.4为内六角螺栓1、2.5为螺母1、3为自动定位进电组件机构、3.1为屏蔽管、3.2为绝缘管、3.3为锥形六角紧固电极头、3.4为锥形电极母头、3.5为喇叭口锁座、4为自动压紧进电组件机构、4.1为压紧弹簧、4.2为弹簧压柄、4.3为可调节横板、4.4为内六角螺丝I1、4.5为螺母I1、4.6为活动销轴、4.7为活动销轴套、4.8为杠杆压杆、4.9为可调节基板、4.10为内六角螺栓。
【具体实施方式】
[0048]为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型进一步详细说明。
[0049]每个电极在沉积炉内镀膜工艺的稳定性，需要等离子体增强型化学气相沉积装置的电极接触必须良好。根据杠杆原理，本实用新型设计一种新型的自定位自动压紧进电组件装置，在不影响原有功能的前提下，减少生产和维护所需人力物力，提高进电组件的使用寿命，减少生产成本。另外，本自定位自动压紧进电组件装置可以使电极接触更好。
[0050]如图1至图14所示，本一种自定位自动压紧进电组件装置，包括