片15的定位件规格不同的其他第二遮罩片的定位件可以在扩展槽142允许的范围内调整插入位置，从而，蒸镀机的载台14可以加载不同规格的遮罩片进行生产，提高了载台14对不同规格遮罩片的通用性。
[0041]在本实用新型中，中心定位孔141和扩展槽142可以设置在载台基体140朝向第一遮罩片15或第二遮罩一侧，更具体的，自载台基体140朝向第一遮罩片15或第二遮罩一侧的外表面内凹形成。中心定位孔141和扩展槽142可以是通孔，也可以是盲孔。
[0042]在本实用新型提供的又一实施例中，扩展槽142至少包括第一子槽和与第一子槽交叉的第二子槽。中心定位孔141位于第一子槽与第二子槽交叉的部分。这样，由于中心定位孔141与第一子槽共线，中心定位孔141与第二子槽共线，可以解决工艺生产中对第一遮罩片15和第二遮罩片之间具有共线的要求。
[0043]在本申请提供的又一实施例中，扩展槽142在载台基体140的投影呈十字型、一字型或王字型。这样，扩展槽142相互正交的延伸方向使得第一遮罩片15和第二遮罩片之间具有相同的横坐标或纵坐标，可以解决工艺生产中对第一遮罩片15和第二遮罩片之间具有共同横坐标或纵坐标的要求。
[0044]在本申请提供的又一实施例中，扩展槽142用于与第一遮罩片15的定位件151、第二遮罩片的定位件配接，所述扩展槽142的槽宽与遮罩片的定位件宽度相当。这样，对于具有相同定位件宽度的第二遮罩片，定位件可以直接插入扩展槽142进行限位，便利第二遮罩片的限位。
[0045]在本申请中，还提供一种蒸镀机的蒸镀遮罩系统，包括:
[0046]载台基体140，用于对遮挡非蒸镀区域的遮罩片进行限位，所述载台基体140设有中心定位孔141，用以对第一遮罩片15限位;所述载台基体140还设有自中心定位孔141沿载台基体140表面方向延展的扩展槽142，用以对与第一遮罩片15规格不同的第二遮罩片限位；
[0047]遮罩片，包括第一遮罩片15和第二遮罩片，所述第一遮罩片15和第二遮罩片均设有可以插入中心定位孔141并在扩展槽142内滑动的定位件151;
[0048]推进装置，用于安装第一遮罩片15或第二遮罩片，推动第一遮罩片15或第二遮罩片至载台基体140的预设位置并锁定第一遮罩片15或第二遮罩片在载台基体140的所述预设位置。
[0049]载台基体140的结构如上所述，此处不再赘述。
[0050]遮罩片，可以包括与载台14配合专用的第一遮罩片15，和扩展使用的、与专用的第一遮罩片15规格不同的第二遮罩片。
[0051 ]第一遮罩片15设有插入中心定位孔141的定位件151。定位件151可以是定位销、定位柱等。定位销或定位柱的直径与中心定位孔141的直径相当。第一遮罩片15的定位件151插入中心定位孔141后，待镀工件表面上的非蒸镀部位被第一遮罩片15所遮挡。
[0052]第二遮罩片设有插入中心定位孔141的定位件151，并且进一步地，可以在扩展槽142内滑动直至滑动到预设位置。同样的，这里的定位件151可以是定位销、定位柱等。
[0053]推进装置，可以包括步进电机和夹持机构。夹持机构可以夹持第一遮罩片15或第二遮罩片。夹持机构由步进电机驱动。步进电机驱动夹持机构运动，并带动第一遮罩片15或第二遮罩片相对载台基体140运动。
[0054]推进装置可以推动安装的第一遮罩片15或第二遮罩片至载台基体140的预设位置并锁定第一遮罩片15或第二遮罩片在载台基体140的预设位置。
[0055]在实际使用过程中，当用户选用专用的第一遮罩片15时，直接将第一遮罩片15的定位件151插入中心定位孔141即可。而当用户需要使用第二遮罩片等与第一遮罩片15规格不同的遮罩片时，将第二遮罩片安装在推进装置，并且将第二遮罩片的定位件151插入中心定位孔141，然后沿扩展槽142滑动至预设位置并锁定。这样，蒸镀机的载台14可以加载不同规格的遮罩片，提高了载台14对不同规格遮罩片的通用性。
[0056]以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。
【主权项】
1.一种蒸镀机的载台，用于对遮挡非蒸镀区域的第一遮罩片、第二遮罩片进行限位，其特征在于，包括: 载台基体； 所述载台基体设有中心定位孔，用以对第一遮罩片限位； 所述载台基体还设有自中心定位孔沿载台基体表面方向延展的扩展槽，用以对与第一遮罩片规格不同的第二遮罩片限位。2.如权利要求1所述的蒸镀机的载台，其特征在于，所述扩展槽至少包括第一子槽及与第一子槽交叉的第二子槽，所述中心定位孔位于第一子槽与第二子槽交叉的部分。3.如权利要求1所述的蒸镀机的载台，其特征在于，所述扩展槽在载台基体表面的投影呈十字型、一字型或王字型。4.如权利要求1所述的蒸镀机的载台，其特征在于，所述扩展槽用于与第一遮罩片的定位件、第二遮罩片的定位件配接，所述扩展槽的槽宽与所述遮罩片的定位件宽度相当。5.一种蒸镀机的蒸镀遮罩系统，其特征在于，包括: 载台基体，用于对遮挡非蒸镀区域的遮罩片进行限位； 遮罩片，包括第一遮罩片和第二遮罩片； 所述载台基体设有中心定位孔，用以对第一遮罩片限位;所述载台基体还设有自中心定位孔沿载台基体表面方向延展的扩展槽，用以对与第一遮罩片规格不同的第二遮罩片限位； 所述第一遮罩片和第二遮罩片均设有可以插入中心定位孔并在扩展槽内滑动的定位件； 推进装置，用于安装第一遮罩片或第二遮罩片，推动第一遮罩片或第二遮罩片至载台基体的预设位置并锁定第一遮罩片或第二遮罩片在载台基体的所述预设位置。6.如权利要求5所述的蒸镀机的蒸镀遮罩系统，其特征在于，所述扩展槽至少包括第一子槽和与第一子槽交叉的第二子槽，所述中心定位孔位于第一子槽与第二子槽交叉的部分。7.如权利要求5所述的蒸镀机的蒸镀遮罩系统，其特征在于，所述扩展槽在载台基体的投影呈十字型、一字型或王字型。8.如权利要求5所述的蒸镀机的蒸镀遮罩系统，其特征在于，所述扩展槽用于与第一遮罩片的定位件、第二遮罩片的定位件配接，所述扩展槽的槽宽与遮罩片的定位件宽度相当。
【专利摘要】本实用新型公开了一种蒸镀机的载台，用于对遮挡基片的非蒸镀的部位的遮罩片进行限位，包括：载台基体；所述载台基体设有中心定位孔，用以对第一遮罩片限位；所述载台基体还设有自中心定位孔沿载台基体表面方向延展的扩展槽，用以对与第一遮罩片规格不同的第二遮罩片限位。在本实用新型提供的实施例中，载台基体设有的中心定位孔可以供专用的第一遮罩片的定位件插入，而与专用的第一遮罩片的定位件规格不同的其他第二遮罩片的定位件可以在扩展槽允许的范围内调整插入位置，从而，蒸镀机的载台可以加载不同的遮罩片进行生产，提高了载台对不同规格遮罩片的通用性。
【IPC分类】C23C14/04, C23C14/24
【公开号】CN205223337
【申请号】CN201521070735
【发明人】王亚, 王水俊, 范波涛
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年12月21日