一种蒸镀坩埚以及oled材料的蒸镀装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及OLED显示技术领域，尤其是OLED显示器件制备工艺中的一种蒸镀坩 埚以及包含该蒸镀坩埚的OLED材料的蒸镀装置。
【背景技术】
[0002] OLED(Organic Light Emitting Display，有机电致发光显示器件）作为新一代的 固态自发光显示技术，相较于液晶显示具有超薄、响应度高、对比度高、功耗低等优势，近几 年产业化速度突飞猛进。
[0003] 请参阅图1，为现有的一种OLED显示器件的结构示意图，其包括：基板100、形成于 基板100上的OLED器件200及与基板100贴合设置的封装盖板300,所述OLED器件200包 括形成于基板100上的阳极201、形成于阳极201上的有机功能层202以及形成于有机功 能层202上的阴极203,阳极201与阴极203激发有机功能层202以实现显示。其中，OLED 器件的有机功能层202, 一般由三个功能层构成，分别为空穴传输功能层（Hole Transport Layer，HTL)、发光功能层（Emissive Layer，EML)、电子传输功能层（Electron Transport Layer，ETL)。每个功能层可以是一层，或者一层以上，例如空穴传输功能层，有时可以细分 为空穴注入层和空穴传输层；电子传输功能层，可以细分为电子传输层和电子注入层，但其 功能相近，故统称为空穴传输功能层和电子传输功能层。
[0004] 目前，制备OLED显示器件主流的方式是真空加热镀膜，即在真空腔体内使用坩埚 加热OLED材料。请参阅图2,现有的用于OLED材料蒸镀的坩埚包括坩埚本体10及盖设于 坩埚本体10开口端的坩埚盖子20,坩埚盖子20中设置有蒸镀孔21。其中坩埚本体10用 于容纳OLED材料30,对OLED材料30加热，使其在一定温度下升华或者熔融汽化成蒸汽，透 过蒸镀孔21沉积在基板上。
[0005] 在OLED材料的蒸镀过程中，由于蒸镀出的有机物为蓬松结构，很容易在坩埚盖子 20的蒸镀孔21部位集结，直至将蒸镀孔21完全堵住。但由于OLED显示器件制作工艺的特 殊性，需要在持续的真空环境下，连续完成有机物的蒸镀，而一旦蒸镀孔21被堵，将使OLED 材料无法蒸发，使蒸镀工艺无法继续进行，严重影响生产、实验进度。这种情况下，目前的做 法只能把OLED材料降温至室温，再打开蒸镀设备腔体，处理完塞孔的蒸发源后，再关上蒸 镀设备腔体，然后才能开始再次加热有机材料继续蒸镀工艺，通常这一流程需要耗费几十 小时，对生产计划有严重的影响，影响产品质量。
【发明内容】
[0006] 有鉴于此，本发明提供了一种蒸镀坩埚，该蒸镀坩埚在蒸镀孔堵塞时，可自动疏通 堵塞的蒸镀孔。
[0007] 为了达到上述目的，本发明采用了如下技术方案：
[0008] 一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体以及加热装置，所述坩埚本体用于容纳蒸镀材料，所 述加热装置用于对所述蒸镀材料进行加热，所述坩埚本体开口端设置有一坩埚盖子，所述 坩埚盖子中设置有蒸镀孔；其中，所述坩埚本体中设置有一两端均为开口的中空结构件，所 述中空结构件的一端穿过所述坩埚本体的底部并与坩埚本体的底部固定连接，另一端位于 所述坩埚盖子下方并且正对于所述蒸镀孔；所述中空结构件中设置有一杆状件，所述杆状 件在一动力装置的驱动下可在所述中空结构件中自由移动，并且，所述杆状件在所述动力 装置的驱动下，至少部分可移动至所述蒸镀孔中。
[0009] 其中，所述中空结构件凸起于所述坩埚本体底部的高度小于所述坩埚本体的高 度，并且大于所述坩埚本体所容纳的蒸镀材料的最大高度。
[0010] 其中，所述中空结构件凸起于所述坩埚本体底部的高度为所述坩埚本体的高度的 I以上。 4
[0011] 其中，所述中空结构件的材料与所述坩埚本体的材料相同，所述中空结构件与所 述坩埚本体为一体成型。
[0012] 其中，所述加热装置包括电源以及环绕于所述坩埚本体外周的电热丝，所述电热 丝与所述电源电性连接。
[0013] 其中，所述杆状件由电热材料制备形成，所述杆状件与所述电源电性连接。
[0014] 其中，所述动力装置为伺服电机。
[0015] 本发明还提供了一种OLED材料的蒸镀装置，该装置包括工作平台以及多个蒸镀 坩埚，所述工作平台的中央具有工作通孔，所述多个蒸镀坩埚设置于所述工作通孔中，其 中，所述蒸镀坩埚为如上所述的蒸镀坩埚。
[0016] 相比于现有技术，本发明实施例提供的蒸镀坩埚中，在坩埚本体中增加了中空结 构件，并在中空结构件中设置可自由移动杆状件，在蒸镀孔发生堵塞时，可控制杆状件伸入 到蒸镀孔中进行疏通，大大节省了疏通时间，提高了工作效率。另外，在疏通的过程中，不需 要打开蒸镀设备腔体，可以保障产品的品质。进一步地，在一些优选的实施例中，杆状件由 电热材料制备形成，连接电源后可以从坩埚本体中心对蒸镀材料进行加热，结合设置于坩 埚本体外周的电热丝同时进行加热，有效解决了坩埚内材料边缘温度高而中心温度低的缺 点，即解决了坩埚横向温差的问题。
【附图说明】
[0017] 图1是现有的一种OLED显示器件的结构示意图。
[0018] 图2是现有的一种蒸镀坩埚的结构示意图。
[0019] 图3是本发明实施例提供的蒸镀坩埚的结构示意图。
[0020] 图4a_4c是如图3所示的蒸镀坩埚对蒸镀孔进行疏通的过程图示。
[0021] 图5是本发明实施例提供的OLED材料的蒸镀装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0022] 下面将结合附图以及具体实施例，对本发明实施例中的技术方案进行详细地描 述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实例，而不是全部实施例。基于本发明中的 实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例， 都属于本发明保护范围。
[0023] 在此，还需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本发明，在附图中仅仅 示出了与根据本发明的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本发明关系不大 的其他细节。
[0024] 图3是本发明实施例提供的蒸镀坩埚的结构示意图（图中位于坩埚本体10内部 的结构采用了透视的效果图示）。参阅图3,该蒸镀坩埚2包括坩埚本体10以及加热装置 40,所述坩埚本体10用于容纳蒸镀材料30,所述加热装置40用于对所述蒸镀材料30进行 加热，所述坩埚本体10的开口端设置有一坩埚盖子20,所述坩埚盖子20中设置有蒸镀孔 21〇
[0025] 其中，如图3所示的，所述坩埚本体10中设置有一两端均为开口的中空结构件50， 所述中空结构件50的一端穿过所述坩埚本体10的底部并与坩埚本体10的底部固定连接， 另一端位于所述坩埚盖子20下方并且正对于所述蒸镀孔21。所述中空结构件50中设置 有一杆状件60,所述杆状件60在一动力装置70的驱动下可在所述中空结构件50中自由 移动，并且，所述杆状件60在所述动力装置70的驱动下，至少部分可移动至所述蒸镀孔21 中。其中，所述动力装置70可以选择为伺服电机。
[0026] 其中，所述加热装置40包括电源41以及环绕于所述坩埚本体10外周的电热丝 42,所述电热丝42与所述电源41电性连接。由电热丝42产生热量对蒸镀材料30加热，使 蒸镀材料30升华或者熔融汽化成蒸汽，